英特尔正向系统级代工转型，Intel 18A制程已进入风险试产并计划2025年内量产，Intel 14A制程已与客户展开合作。 [7]中芯国际2025年第四季度营业收入178.13亿元，同比增长11.9%，产能利用率95.7%，2025年资本开支81亿美元，并预计2026年收入增速高于同业平均。 [1]华虹集团2025年三季度总体产能利用...

  压力控制系统通过气压方式对抛光头进行压力控制，其主要功能有：① 对晶圆和保持环进行压力加载；② 对抛光头抽负压以夹持晶圆；③ 检测各腔室是否漏气。 多区抛光头的压力控制原理如图3所示。抛光头气路的主要元件有气源、减压阀、电气比例阀、真空发生器、真空调压阀、两位三通阀、两位两通阀以及压力传感器等。抛光头共有五个压力腔室(Z1～Z5)，每个腔...

  增感剂的作用：少量添加即可使光二聚反应在波长更长的可见光范围内进行。例如聚乙烯醇肉桂酸酯的感光区域原本在240~350 nm，加入少量三线态光敏剂5-硝基苊后，感官区域扩展到了240~450 nm。光敏剂对聚乙烯醇肉桂酸酯的增感机理与普通光化学的三线态光敏反应完全相同，可用右图激发图线描述，光敏剂首先吸收光而变为激发单线态（SSn）然后进...

  在CMP过程中抛光头主要起以下作用：①对晶圆施加压力；② 带动晶圆旋转并传递转矩；③ 保证晶圆与抛光垫始终贴合良好，不掉片、碎片。此外，在**CMP装备中抛光头比较好能在不借助外界条件的情况下依靠自身结构夹持晶圆，以提高生产效率。 [3]分区压力抛光头是衡量CMP装备技术水平高低的重要因素。其**思想来自Preston模型，根据该模型。根...

  进入2026年，行业涨价趋势延续，全球**晶圆代工企业之一的晶合集成（Nexchip）于2026年3月透露其部分产品的代工价格已有所上调；另一家**代工企业世界先进（VIS）宣布计划自2026年4月起调整代工价格。与此同时，包括恩智浦、英飞凌、德州仪器在内的多家老牌芯片大厂也于2026年初宣布了涨价计划 [22]。2025年第四季度，全球...

  1954年，由柯达公司的明斯克(L. M. Minsk)等人研究成功的光敏剂增感的聚乙烯醇肉桂酸酯成为***个光固化性能的光刻胶 [39]，牌号KPR。先用于印刷工业，后用于电子工业。 [1]1958年，柯达公司发展出了叠氮-橡胶系的负性光刻胶 [42]，牌号为KMER和KTFR。1960年，出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 [42...

  载流子浓度多数半导体器件为少数载流子器件，如硅太阳能电池。本文后续提到的载流子参数均为少数载流子参数。半导体在热平衡状态下，空穴和电子浓度相等，此时为稳态；当受到外部激励（光、电、热等能量激励）时，半导体处于非平衡状态，电子和空穴均增加，形成过剩载流子。载流子寿命（lifetime），是指过剩载流子平均存在时间，载流子浓度满足指数衰减规律...

  2.紫外压印光刻胶：使用透明的模板，将预先制作好的带有微图形特征的硬模版压入常温下液态光刻胶中，用紫外光将光刻胶固化后抬起模板，从而将模板上的微特征转移到光刻胶上。按照光引发反应机理，可分为自由基聚合和阳离子聚合两大体系 [42]。光刻胶材料主要有甲基丙烯酸酯体系、有机硅改性的丙烯酸或甲基丙烯酸酯体系、乙烯基醚体系、环氧树脂体系等。 [3...

  4.聚对羟基苯乙烯及共聚物：聚对羟基苯乙烯（polyhydroxystyrene, PHS or PHOST）衍生物类体系有两大优点：（1）不会出现酸扩散现象，所以不会对光刻的分辨率、线边缘粗糙度以及灵敏度产生影响；（2）聚对羟基苯乙烯受EUV辐照后，二次电子产率比其他聚合物都要高，含有多苯环结构能够保证它在图形转移过程中具有较高抗蚀性。...

  光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业 [6]。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求。 [2]1826年，法国人涅普斯（J. N. Niepce）较早发现了具有感光性的天然沥青，使用低黏度质量沥青涂覆玻璃板，预干后，置于相机暗盒内，开启曝光窗，经光学镜头...

  Fabless模式Fabless（无晶圆厂）模式是指企业*专注于集成电路的研发、设计和销售，而将晶圆制造、封装和测试等生产环节外包给专业的Foundry和OSAT厂商 [2] [7] [11]。例如，康希通信采用Fabless经营模式 [5]。演变与趋势Foundry模式正在演进，晶圆代工厂不再只是晶圆供应商，正转型为基础设施提供商。晶圆...

  增感剂的作用：少量添加即可使光二聚反应在波长更长的可见光范围内进行。例如聚乙烯醇肉桂酸酯的感光区域原本在240~350 nm，加入少量三线态光敏剂5-硝基苊后，感官区域扩展到了240~450 nm。光敏剂对聚乙烯醇肉桂酸酯的增感机理与普通光化学的三线态光敏反应完全相同，可用右图激发图线描述，光敏剂首先吸收光而变为激发单线态（SSn）然后进...