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1997年,Intel公司成立了包括AMD、Motorola、Micron、Infineon和IBM的EUV LLC,并与由LBNL、LLNL和SNL组成的国家技术实验室(VNL)...
以KrF激光为光源的248 nm光刻,已可以生产256 M至1 G的随机存储器,其比较好分辨率可达0.15 μm,但对于小于0.15 μm的更精细图形加工,248 nm光刻胶已无能...