1997年，Intel公司成立了包括AMD、Motorola、Micron、Infineon和IBM的EUV LLC，并与由LBNL、LLNL和SNL组成的国家技术实验室（VNL）签订了极紫外光刻联合研发协议（CRADA）。1998年，日本开始极紫外光刻研究工作，并于2002年6月成立极紫外光刻系统研究协会（EUVA） [44]。1962...

  在全球晶圆代工产能不足的情况下，车用半导体受产能排挤影响***。2021年美国德州寒潮导致三星、恩智浦、英飞凌等公司晶圆厂停产 [14]。中国大陆晶圆代工产业正在经历从“追赶”到“并跑”的关键转型期。虽然在**的2纳米、3纳米制程上仍有差距，但在成熟制程、特色工艺、化合物半导体等领域，中国企业正在缩小差距甚至实现局部** [12]。202...

  Foundry模式Foundry（晶圆代工厂）是专注于为其他公司（主要是Fabless公司）提供晶圆制造服务的专业工厂，不负责芯片设计 [2] [7] [10]。**企业有台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）、联华电子（UMC）、华虹集团、格罗方德（GlobalFoundries）等 [2]。晶圆代工厂正从单纯的晶圆产出向“设计基础设...

  1942年，英国Eisler发明印刷电路板 [39]，重铬酸盐感光材料作为光敏抗蚀剂用于制造印刷线路板。重铬酸在紫外光作用下还原成三价铬离子，三价铬离子可和水溶性聚合物中的羰基、胺基、羟基等作用形成不溶的配位络合物。 [10]1943年，美国杜邦公司提交了世界***份有关光引发剂的发明专利，尽管这种二硫代氨基甲酸酯化合物感光活性较低，后来...

  2.肉桂酸酯类的光刻胶：这类光刻胶在紫外光的照射下，肉桂酸上的不饱和键会打开，产生自由基，形成交联结构。主要品种有聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯光刻胶和肉桂叉二酯光刻胶等。第一种胶是**早被用于光刻胶制备的光敏高分子化合物，对二氧化硅、铝、氧化铬等材料都有良好的附着力。耐氢氟酸、磷酸腐蚀；第二种胶在曝光下几乎不受氧的影响，无...

  1890年。德国人格林（Green）和格罗斯（Gross）等人将重氮化的混合物制成感光材料。取得了***个重氮感光材料的**。不久，德国的卡勒（Kalle）公司推出了重氮印相纸，从而使重氮感光材料商品化，并逐渐代替了铁印相技术。1921年，美国人毕勃（M. C. Beeb）等人将碘仿与芳香胺混合在一起，用紫外光照射得到染料像，称它为自由基...

  该材料还可集成单晶钙钛矿，用于制备超快近红外光电探测器 [7]。全球12英寸晶圆厂设备投资2025-2027年累计达3740亿美元，预计2026年全球量产晶圆厂数量增至230座，中国大陆产能将达240万片/月 [9]。半导体硅片制造需经过氧化、薄膜沉积、光刻、刻蚀等**工艺流程，循环重复数十次以构建复杂电路 [11]。自2025年末至20...

  X射线光刻胶X射线对物质的化学作用类似电子束，X射线曝光时，X射线本身并不能直接引起光刻胶的反应，它的能量是消耗的光电子放射过程而产生低能电子束上。正是这些低能电子使光刻胶的分子离化，并激励产生化学反应，使光刻胶分子间的结合键解离，或键合成高分子，在某些显影液中变成易溶或不溶。X射线光刻胶和电子束光刻胶没有本质的区别 [40]，因此所有的...

  纯度（Purity）指光刻胶必须在微粒含量、钠和微量金属杂质及水含量方面达到严格的标准要求 [40]。集成电路工艺对光刻胶的纯度要求是非常严格的，尤其是金属离子的含量。如由g线光刻胶发展到i线光刻胶材料时，金属Na、Fe和K离子的含量由10-7降低到了10-8 [4]。黏附性黏附性（Adherence）是表征光刻胶黏着于衬底的强度。主要衡...

  针触法顾名思义是通过触针与被检材料的接触来进行检测，是制造业中比较早的表面检测方法。被测表面的形状轮廓信息是通过触针传递给传感器的，所以触针的大小和形状就显得尤其重要。按照针触法的检测原理，针尖的半径趋近于 0才有可能检测到被测物真实的轮廓。但是触针的针尖越细，被测表面产生的压力也会越大，触针容易受到磨损，划伤被测物表面。对于镀膜表层和软...

  目前国外**的300mm晶圆抛光头采用气压方式加载，具有分区压力、真空吸附、浮动保持环及自适应等功能，十分复杂。随着特征尺寸不断减小和晶圆直径不断增加，对CMP表面质量的要求也越来越高，传统的单区压力抛光头已无法满足要求。如果抛光头能够将晶圆分成多个区域进行加载，通过改变施加压力的大小就可以控制不同区域的材料去除率。当前国际上**300 ...

  针触法顾名思义是通过触针与被检材料的接触来进行检测，是制造业中比较早的表面检测方法。被测表面的形状轮廓信息是通过触针传递给传感器的，所以触针的大小和形状就显得尤其重要。按照针触法的检测原理，针尖的半径趋近于 0才有可能检测到被测物真实的轮廓。但是触针的针尖越细，被测表面产生的压力也会越大，触针容易受到磨损，划伤被测物表面。对于镀膜表层和软...