（4）酚醛树脂体系：线性酚醛树脂**早是应用在近紫外曝光中，但由于具有较好的耐热性和抗干法刻蚀，也成为优良的电子束光刻材料。其中正性光刻胶矩阵聚合物主要有酚醛树脂、部分被保护的对羟基苯乙烯和对羟基苯乙烯的共聚物，以及乙烯基醚共聚物。在电子束照射下，感光剂产酸使阻溶剂发生化学变化由阻溶变为可溶或促溶，或者光产酸剂发生的酸直接催化矩阵树脂发生...

  增感剂的作用：少量添加即可使光二聚反应在波长更长的可见光范围内进行。例如聚乙烯醇肉桂酸酯的感光区域原本在240~350 nm，加入少量三线态光敏剂5-硝基苊后，感官区域扩展到了240~450 nm。光敏剂对聚乙烯醇肉桂酸酯的增感机理与普通光化学的三线态光敏反应完全相同，可用右图激发图线描述，光敏剂首先吸收光而变为激发单线态（SSn）然后进...

  尽管晶圆代工产业势头强劲，但存储器行业产值增长更为迅猛，预计2026年产值将达到晶圆代工的2倍以上。两者走势分化的原因包括：存储器产品高度标准化，市场细分程度低；晶圆代工大部分产能仍被成熟制程占据，稀释了高增长先进制程的影响；晶圆代工定价波动性相对较低；存储器产品光刻工序更少，资本支出转化为产出的效率更高 [4] [12]。8英寸晶圆产线...

  扩散系数扩散系数（Diffusion coefficient，D）是表征在单位时间单位面积上，载流子通过界面快慢的物理量。扩散系数和载流子寿命共同决定载流子扩散长度（Diffusion length），扩散长度是评价材料性能的典型参数，载流子扩散长度越长材料质量越好；对于太阳能电池来说，载流子扩散长度越长载流子分离和收集效率越好、光电转化...

  增感剂的作用：少量添加即可使光二聚反应在波长更长的可见光范围内进行。例如聚乙烯醇肉桂酸酯的感光区域原本在240~350 nm，加入少量三线态光敏剂5-硝基苊后，感官区域扩展到了240~450 nm。光敏剂对聚乙烯醇肉桂酸酯的增感机理与普通光化学的三线态光敏反应完全相同，可用右图激发图线描述，光敏剂首先吸收光而变为激发单线态（SSn）然后进...

  2026年3月，三星电子计划在美国得克萨斯州泰勒半导体园区建立第二座芯片厂，该项目已进入监管准备初期阶段，泰勒市议会已批准延长相关工程合同。第二工厂占地约25.1万平方米，规模与正在建设的***工厂相同。三星在泰勒购入1268英亩土地，计划打造**多可容纳10座晶圆厂的半导体产业集群，总投资计划从**初的170亿美元扩大至370亿美元，其...

  前面提到抛光头很重要的一个功能是夹持晶圆，实现晶圆在装卸工位与抛光工位之间的快速、可靠传输。在CMP技术的发展历程中出现过机械夹持、石蜡粘接、真空吸盘等多种夹持方式，但以上方式在效率、可靠性、洁净度等方面已无法满足**CMP装备的要求。 多区抛光头采用真空吸附方法夹持晶圆，基本原理如图2所示。首先对多区气囊施加正压，将气囊与晶圆之间的空气...

  英特尔正向系统级代工转型，Intel 18A制程已进入风险试产并计划2025年内量产，Intel 14A制程已与客户展开合作。 [7]中芯国际2025年第四季度营业收入178.13亿元，同比增长11.9%，产能利用率95.7%，2025年资本开支81亿美元，并预计2026年收入增速高于同业平均。 [1]华虹集团2025年三季度总体产能利用...

  表面复合速率载流子既在材料体内发生复合也在表面发生复合。表面复合寿命或表面复合速率（Surface recombination velocity，s）是描述载流子在表面复合快慢的物理量。表面复合寿命越大说明表面复合速率越低，反之，表面复合速率越高。表面粗糙度、表面悬挂键等表面物理性质和状态是影响表面复合速率的关键。表面复合速率是表征材料的...

  纯度（Purity）指光刻胶必须在微粒含量、钠和微量金属杂质及水含量方面达到严格的标准要求 [40]。集成电路工艺对光刻胶的纯度要求是非常严格的，尤其是金属离子的含量。如由g线光刻胶发展到i线光刻胶材料时，金属Na、Fe和K离子的含量由10-7降低到了10-8 [4]。黏附性黏附性（Adherence）是表征光刻胶黏着于衬底的强度。主要衡...

  2021年3月19日，日本车用半导体巨头瑞萨电子(Renesas)的那珂工厂发生火灾，导致该厂N3大楼的12英寸产线停产。火灾加剧了当时全球汽车芯片短缺的状况 [14]。2024年5月，三星电子位于韩国京畿道龟兴市的晶圆厂发生辐射泄露事故，导致两名员工因手指部位出现辐射暴露症状而紧急送医 [13]。三星电子历史上还发生过其他安全事故，例如...

  （3）有机硅及碳材料体系：在聚合物结构中引入具有低吸收的元素，如硅、硼等，得到有机一无机杂化聚合物光致抗蚀剂，不*可以减少高吸收的氧元素的含量以提高透明性，而且还可增强体系的抗蚀刻性。例如在光刻胶中掺杂富勒烯可以提高光刻胶的抗蚀性 [27]；聚氢硅烷体系的光刻胶经电子束曝光后，体系中Si-H键断裂，形成自由基，因此，曝光区的聚氢硅烷会交联...