纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

一般还内置有温度计进行实时的温度校准。汽车中的IMUIMU的应用IMU大多用在需要进行运动控制的设备，如汽车和机器人上，也被用于需要用姿态进行精密位移推算的场合，如潜艇、飞机、导弹和航天器的惯性导航设备等。与其他导航系统相比，惯导系统同时具有信息***、完全自主、高度隐蔽、信息实时与连续，且...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...

光刻主要有以下几个步骤。 首先是准备基质：在涂布光阻剂之前，硅片一般要进行处理，需要经过脱水烘培蒸发掉硅片表面的水分，并涂上用来增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物。 涂布光阻剂(photo resist)：将硅片放在一个平整的金属托盘上，托盘内有小孔与真空管相连，硅片就被吸在托盘上，这样硅片就可以...

  航向陀螺仪（directiONalgyroscope）就是利用陀螺特性测量飞机航向的飞行仪表，测量飞机转弯时航向角的变化。由于陀螺自转轴不能自动**经线，因此测量航向需要对自转轴进行校正，并使其稳定在经线方向上，航向指标指示的角就是航向角。   航向陀螺仪的组成   航向陀螺仪主要有陀螺电机、万...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

。MicroelectromechanicalSystems，这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展，是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器，在体积、价格、产能上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至**的需求。上世纪80年代末，随着集成电路工业的迅速发展...

  航向陀螺仪（directiONalgyroscope）就是利用陀螺特性测量飞机航向的飞行仪表，测量飞机转弯时航向角的变化。由于陀螺自转轴不能自动**经线，因此测量航向需要对自转轴进行校正，并使其稳定在经线方向上，航向指标指示的角就是航向角。   航向陀螺仪的组成   航向陀螺仪主要有陀螺电机、万...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

。MicroelectromechanicalSystems，这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展，是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器，在体积、价格、产能上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至**的需求。上世纪80年代末，随着集成电路工业的迅速发展...

。MicroelectromechanicalSystems，这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展，是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器，在体积、价格、产能上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至**的需求。上世纪80年代末，随着集成电路工业的迅速发展...