纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分***，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成电路）、FPD（Flat Panel Display，平板显示器）、PCB（Pr...

生命研究 　　微流控器件芯片。微流控芯片是只有手机记忆卡大小的人体***微缩模型，可以使研究人员用前所未有的方式检验生物机制和行为、检验过程、控制过程，能够为医学研究和***制造带来彻底变革。 　　DNA分析和测序。Illumina、赛默飞等公司基因测序仪也使用了微流控技术来流动细胞。 　　当然除了...

PI的制造工艺 消泡后的聚酰胺酸溶液，由不锈钢溶液储罐经管路压入前机头上的流涎嘴储槽中。钢带以图所示方向匀速运行，将储槽中的溶液经流涎嘴前刮板带走，而形成厚度均匀的液膜，然后进入烘干道干燥。 洁净干燥的空气由鼓风机送入加热器预热到一定温度后进入上、下烘干道。热风流动方向与钢带运行方向相反，以便使液膜...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合便携...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...