微流控芯片（Microfluidic Chip）是一种将生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测和废液回收等基本操作单元集成到一块微米尺度的生化芯片上，从而自动完成分析全过程。这种方式可以很好地取代传统生化实验室中的一整套流程，提高了效率的同时避免了人为操作的影响，因此又被称为片上实验室...

作为一种新兴的科学技术，微流控器件研究已经涉及化学、生物学、工程学和物理学等诸多领域，学科交叉性强，在时间、空间和分析对象的精密操控上进行突破，能够解决生命分析的许多关键问题。作为芯片实验室(Lab on chip)的典型**技术，微流控技术发展迅速，目前已经发展成为一门涵盖分离分析、分子生物学研究...

微流控技术作为影响人类未来**重要的发明之一，科学利用好微流控芯片应用在全新领域，有助于我国多个产业学科快速发展。但是我国目前微流控芯片技术研究水平有待提高，以方便未来发展和产业化方向。许多科研工作者期待，会有越来越多的科研人员可以加入到微流控芯片技术的研究应用的队伍中，这样微流控芯片技术才能更加成熟...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

微流控的优点： 芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不干扰。 　　检测试剂消耗少，样本量需求少 　　微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...

掩膜版的种类 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃（Quartz Glass）苏打玻璃（Soda-lime Glass）低膨胀玻璃（Low Expansion Glass） 2、透明树脂 遮光膜 （1）硬质遮光膜：铬膜氧化铁硅化钼硅。 （2）乳胶。 掩膜版的制作方法 溅镀法（Sputtering）： ...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...