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    。MicroelectromechanicalSystems，这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展，是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器，在体积、价格、产能上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至**的需求。上世纪80年代末，随着集成电路工业的迅速发展，把驱动器和传感器和集成电路芯片集成在一起，就成为了科技发展的必然趋势，这也就促成了MEMS的诞生。【使用MEMS技术的好处】列举几个**重要的：原材料价格低廉，产量充足。大部分集成电路和MEMS的原材料是硅（Si），这个神奇的VI族元素可以从二氧化硅中大量提取出来。而二氧化硅是什么？说的通俗一点，就是沙子。沙子君在经历了一系列复杂的加工过程之后，就变成了单晶硅，长这个样子：这个长长的大柱子，直径可以是1inch（cm）到12inch（30cm），被切成一层层500微米厚的硅片（英文：wafer，和威化饼同词），长这个样子：批量生产-产能高，良品率高MEMS驱动器和传感器大部分都含有微机械机构。试想一下，我们要检测一个一微米长的弹簧移动了一纳米（微米尺度的悬臂梁在纳米尺度的范围内移动），这种加工精度在传统机械加工工艺上面是难以实现的。正因为有了MEMS技术。辽宁正规mems芯片欢迎来电

    MPU-60X0运动处理单元是世界上***个集成了9轴传感器融合的运动处理解决方案，它使用其现场验证和专有的MOTIONFusion引擎，用于手机和平板应用、游戏控制器、运动指针遥控器和其他消费设备。MPU-60X0具有嵌入式三轴MEMS陀螺仪、三轴MEMS加速度计和数字运动处理器（DMP）硬件加速器引擎，其具有与第三方数字传感器（如磁强计）接口的辅助I2C端口。当连接到一个3轴磁力仪，MPU-60X0提供一个完整的9轴MOTIONFION输出到其主要的I2C或SPI端口（SPI*在MPU-6000上可用）。MPU-60X0将加速度和旋转运动以及航向信息结合到一个单独的应用数据流中。与离散陀螺仪和加速度计解决方案相比，这种Motiocessing™技术集成提供了更小的占地面积和固有的成本优势。MPU-60X0也被设计成与多个非惯性数字传感器（例如压力传感器）连接在其辅助设备上。I2C端口。MPU-60X0是第二代运动处理器，与MPU-30X0系列兼容。MPU-60X0具有三个16位模数转换器（ADC），用于将陀螺仪输出数字化，以及三个16位ADC，用于将加速度计输出数字化。对于快速和慢速运动的精确**，零件具有用户可编程陀螺仪满刻度范围为±250°、±500°、±1000°/sec和±2000°/sec。中国香港官方授权经销mems芯片值得信赖

    现在我们可以使数以万计的MEMS芯片（有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工）出现在了每一片wafer上面，如下图所示。这种批量生产（batchcess）的过程目前已经全自动化控制，隔离了人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。纳米技术本身的优势。曾几何时，微米和纳米技术被称为了科技的代言词，但大部分人根本不理解微米和纳米技术是什么。其实对于MEMS传感器来讲，比较大的优势是体积和表面积的比数值小（体积：表面积）。我们都知道体积是跟长度的三次方，而面积是长度的二次方。所以把一个MEMS器件等比例缩小的结果就是体积：表面积会缩小，这样会使得MEMS器件的信噪比增加（也就是有好处）。

  航向陀螺仪（directiONalgyroscope）就是利用陀螺特性测量飞机航向的飞行仪表，测量飞机转弯时航向角的变化。由于陀螺自转轴不能自动**经线，因此测量航向需要对自转轴进行校正，并使其稳定在经线方向上，航向指标指示的角就是航向角。   航向陀螺仪的组成   航向陀螺仪主要有陀螺电机、万向支架、随动托架系统、水平修正装置、信号输出装置、输电装置、减震装置、电连接器、外壳等组成。   航向陀螺仪的类型   1、直读式航向陀螺仪，又称陀螺半罗盘。   2、远读式航向陀螺仪，输出飞机航向角变化的信息，供指示器指示或作为陀螺磁罗盘和航向系统的一个主要部件。   航向陀螺仪的功能   1、航向陀螺仪用于陀螺磁罗盘时，用来稳定来自磁航向传感器的磁航向信号。   2、用于陀螺半罗盘时，本身就是**的航向传感器，处处陀螺航向信号。   3、输出有效地信号。   航向陀螺仪的特点   1、具有良好的稳定性。   2、就有较高灵敏度。

    由于自己对步长的估计和实际走的距离存在误差，走的步数越来越多时，自己估计的位置与实际的位置相差会越来越远。走***步时，估计位置与实际位置还比较接近；但随着步数增多，估计位置与实际位置的差别越来越大。根据此方法推广到三维，就是惯性测量单元的原理。学术上的表述是：以牛顿力学定律为基础，通过测量载体在惯性参考系的加速度，将它对时间进行积分，且把它变换到导航坐标系中，就能够得到在导航坐标系中的速度、偏航角和位置等信息。因此，通俗来讲，惯性测量装置IMU属于捷联式惯导，该系统有三个加速度传感器与三个角速度传感器（陀螺）组成，加速度计用来感受相对于地垂线的加速度分量，速度传感器用来感受角度信息。值得注意的是，IMU提供的是一个相对的定位信息，它的作用是测量相对于起点物体所运动的路线，所以它并不能提供你所在的具**置的信息，因此，它常常和GPS一起使用，当在某些GPS信号微弱的地方时，IMU就可以发挥它的作用，可以让汽车继续获得***位置的信息，不至于“迷路”。IMU的分类目前来说，市面上存在的IMU以6轴与9轴为主。6轴IMU包含一个三轴加速度传感器，一个三轴陀螺仪；9轴IMU则多了一个三轴的磁力计。另外，对于采用MEMS技术的IMU。中国澳门厂家mems芯片值得信赖

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    用加速度计就够了嘛，为什么一定要用陀螺仪呢？因为加速度计测量的物理量是比力，而非加速度，加速度是通过比力计算得到的。加速度计不能分辨出是地球引力还是运动外力。所以在被测量物体运动的时候将无法得到准确的倾角。这个时候陀螺仪就起作用了，因为陀螺仪对运动加速度不敏感。陀螺仪短时间内计算的角度很准确，但时间长了会产生累计误差，加速度计长时间内的稳定弥补了陀螺仪的短缺。加速度计在运动的情况下测量有误差，陀螺仪对运动不敏感。所以可以用两者的互补关系，来设计一个倾角传感器。那这里面怎么用到PID的性质呢？我们把加速度求得的角度θ作为目标量，我们把陀螺仪积分角度θgyro作为输出量。让陀螺仪角度跟随着加速度角度。设计PI跟随器，调节参数，让陀螺仪积分角度θgyro慢慢跟随加速度计算的角度θ。下图是计算周期为50ms时，kp=，ki=。角速度噪声±。加速度受到运动的影响，角度噪声为±2度。在0秒时以角速度10度/秒运动2秒，在2秒时角速度以-10度/秒运动4秒。下面是6s到10s的放大图。真实角度（蓝色）为-21度，陀螺仪积分角度（紫色）漂移了2度左右，加速度计计算角度（绿）噪声为±2度，组合角度（红。辽宁正规mems芯片欢迎来电

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