微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

dps）和用户可编程加速度计满刻度范围为±2g、±4g、±8g和±16**上1024字节的FIFO缓冲区有助于降低系统功耗，它允许系统处理器读取突发的传感器数据，然后在MPU收集更多数据时进入低功耗模式。由于支持许多基于运动的用例所需的所有必要的片上处理和传感器组件，MPU-60X0独特地...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...