磁控溅射设备的主要用途 （1）各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低温沉积氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。 （2）装饰领域的应用，如各种全反射膜及半透明膜等，如手机外壳，鼠标等。 （3） 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积（C...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

采用磁控溅射镀膜方法，由于沉积电流和靶电压可以控制，也即是溅射功率可以调节并控制，因此膜厚的可控性和重复性较好，并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。 溅射原子能量比蒸发原子能量高1-2个数量级。高能量的溅射原子沉积在基片上进行的能量转换比蒸发原子高得多，产生较高的热能，部分高能量的溅射原子产生不同...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...

磁控溅射的晶粒较大还有一个好处，减小了晶界面积，从而减少电迁移短路通道的数目，有利于增强Al膜的抗电迁移能力，延长Al膜的平均寿命。但晶粒尺寸不可太大，否则影响铝膜细线条图形的光刻质量。同时，溅射的铝膜晶粒虽大，但可以通过的后面的热处理使之细化并使性能更加优越。 电阻率随结晶粒径的减小而增加。由于电...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...