聚酰亚胺(PI)薄膜被业界称为“黄金薄膜”，可以在-270℃～400℃宽温度范围内长期使用，同时具有**度、高绝缘、抗辐射、耐腐蚀等优异的综合性能。聚酰亚胺薄膜按照用途分为一般绝缘和耐热为目的的电工级应用、附有挠性等要求的电子级应用、航空航天应用和柔性显示光电应用等领域。聚酰亚胺薄膜品种较多，使用范...

聚酰亚胺(Polyimides简称PI)是一大类主链上含有酞酰亚胺或丁二酰亚胺环的耐高温聚合物，通常由二酐或二胺合成。目前是已经工业化的聚合物中使用温度比较高的材料之一，其分解温度达到550~600℃，长期使用温度可达到200~380℃。此外还具有优良的尺寸和氧化稳定性、耐辐照性能，绝缘性能、耐化学...

微纳加工集成工艺，用于加工采用金属薄片的精密仪器，包括以下步骤：优先选取若干金属薄片，采用冷冲模工艺对所述金属薄片分别进行引伸、冲孔、剪切与折弯，使其形成需要的结构；其次，将上述的金属薄片进行冷冲模加工，在其中的金属薄片上形成引伸凸起结构；***，将加工完成的金属薄片通过焊接，从而粘结成具有微腔室或微...

光掩膜除了应用于芯片制造外，还***的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度...

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分***，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成电路）、FPD（Flat Panel Display，平板显示器）、PCB（Pr...

微流控芯片技术是个多学科交叉大融合的技术，物理、材料、食品、化学、生物、医疗等多领域的**均为微流控芯片技术做出了很多贡献，可谓万花齐放，一起让微流控芯片领域生机勃勃。微流控芯片技术也在不断发展过程中逐渐成长壮大，并作为快速发展的颠覆性技术之一被写入“十三五”规划。我国来自不同领域的**慷慨地分享自...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

微流控分析芯片**初只是作为纳米技术**的一个补充，在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后，**终却实现了商业化生产。微流控分析芯片**初在美国被称为“ 芯片实验室”（lab-on-a-chip），在欧洲被称为“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），随着材料科学、微纳...

激光微纳加工制造是微纳制造技术的重要部分。激光微纳制造是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复...

微流控的优点： 芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不干扰。 　　检测试剂消耗少，样本量需求少 　　微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

微流控技术作为影响人类未来**重要的发明之一，科学利用好微流控芯片应用在全新领域，有助于我国多个产业学科快速发展。但是我国目前微流控芯片技术研究水平有待提高，以方便未来发展和产业化方向。许多科研工作者期待，会有越来越多的科研人员可以加入到微流控芯片技术的研究应用的队伍中，这样微流控芯片技术才能更加成熟...

微流控的优点： 芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不干扰。 　　检测试剂消耗少，样本量需求少 　　微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

基于光刻工艺的微纳加工技术主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成...

微流控技术优势 　　生命分析技术不断发展，在新的时代背景下，又面临新挑战和发展机遇：要求在特别小的空间，特定的时间，特定的外界条件进行物质定性、定量、结构分析、形貌分析等工作。 　　而微流控技术的出现为生命分析面临的三大特殊挑战提供了有力的操控工具。微流控技术具有如下特点： 　　集成小型化与自动化 ...

微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量*****制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障**安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。很显然，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系...

微纳技术一般指微米、纳米级(0. 1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术.在基础科研以及制造行业中,微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的前列位置.那么,我国的微纳制造技术研究现状怎样?面临着哪些急需解决的问题?微纳制造技术属于高、精、尖技术研究,...

基于光刻工艺的微纳加工技术主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成...

微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量*****制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障**安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。很显然，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系...

微流控技术优势 　　生命分析技术不断发展，在新的时代背景下，又面临新挑战和发展机遇：要求在特别小的空间，特定的时间，特定的外界条件进行物质定性、定量、结构分析、形貌分析等工作。 　　而微流控技术的出现为生命分析面临的三大特殊挑战提供了有力的操控工具。微流控技术具有如下特点： 　　集成小型化与自动化 ...

微流控分析芯片**初只是作为纳米技术**的一个补充，在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后，**终却实现了商业化生产。微流控分析芯片**初在美国被称为“ 芯片实验室”（lab-on-a-chip），在欧洲被称为“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），随着材料科学、微纳...

电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。 目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相当于人头发丝的千分之一。随着微纳器件的小型化、精细化发...

微流控的优点：芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不***。 检测试剂消耗少，样本量需求少 微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 污染少 芯片集成功能避免了人工操作的污染。 微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。 目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相当于人头发丝的千分之一。随着微纳器件的小型化、精细化发...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...

光刻掩膜版的工艺过程： 1） 绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件（GDS格式） 2） 使用无掩模光刻机读取版图文件，对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光（曝光波长405nm），照射掩膜版上所需图形区域，使该区域的光刻胶（通常为正胶）发生光化学反应 3） 经过显影、定影后，曝光区域的光刻胶溶解脱落，暴...