纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

微纳测试与表征技术是微纳加工技术的基础与前提，它包括在微纳器件的设计、制造和系统集成过程中，对各种参量进行微米/纳米检测的技术。微米测量主要服务于精密制造和微加工技术，目标是获得微米级测量精度，或表征微结构的几何、机械及力学特性；纳米测量则主要服务于材料工程和纳米科学，特别是纳米材料，目标是获得材料...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...

微纳技术一般指微米、纳米级(0. 1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术.在基础科研以及制造行业中,微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的前列位置.那么,我国的微纳制造技术研究现状怎样?面临着哪些急需解决的问题?微纳制造技术属于高、精、尖技术研究,...

基于光刻工艺的微纳加工技术主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成...

PI的制造工艺 消泡后的聚酰胺酸溶液，由不锈钢溶液储罐经管路压入前机头上的流涎嘴储槽中。钢带以图所示方向匀速运行，将储槽中的溶液经流涎嘴前刮板带走，而形成厚度均匀的液膜，然后进入烘干道干燥。 洁净干燥的空气由鼓风机送入加热器预热到一定温度后进入上、下烘干道。热风流动方向与钢带运行方向相反，以便使液膜...

微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其**主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列**技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具...

聚酰亚胺(Polyimides简称PI)是一大类主链上含有酞酰亚胺或丁二酰亚胺环的耐高温聚合物，通常由二酐或二胺合成。目前是已经工业化的聚合物中使用温度比较高的材料之一，其分解温度达到550~600℃，长期使用温度可达到200~380℃。此外还具有优良的尺寸和氧化稳定性、耐辐照性能，绝缘性能、耐化学...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

微流控芯片研究的主流已从平台构建和方法发展转为不同领域的广泛应用，并从应用的需求中寻求科学问题，进而带动产业化的迅速发展。微流控芯片非常具有灵活性，一方面芯片应用具有灵活性，除了应用于检测还可以用于细胞分析、样品筛选、组织工程等领域。另一方面芯片材质的灵活性，即芯片可以拉伸、弯曲、折叠，并可与穿戴性...

微流控技术作为影响人类未来**重要的发明之一，科学利用好微流控芯片应用在全新领域，有助于我国多个产业学科快速发展。但是我国目前微流控芯片技术研究水平有待提高，以方便未来发展和产业化方向。许多科研工作者期待，会有越来越多的科研人员可以加入到微流控芯片技术的研究应用的队伍中，这样微流控芯片技术才能更加成熟...

微流控分析芯片**初只是作为纳米技术**的一个补充，在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后，**终却实现了商业化生产。微流控分析芯片**初在美国被称为“ 芯片实验室”（lab-on-a-chip），在欧洲被称为“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），随着材料科学、微纳...

微流控芯片技术是个多学科交叉大融合的技术，物理、材料、食品、化学、生物、医疗等多领域的**均为微流控芯片技术做出了很多贡献，可谓万花齐放，一起让微流控芯片领域生机勃勃。微流控芯片技术也在不断发展过程中逐渐成长壮大，并作为快速发展的颠覆性技术之一被写入“十三五”规划。我国来自不同领域的**慷慨地分享自...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

微流控的优点： 芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不干扰。 　　检测试剂消耗少，样本量需求少 　　微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备**技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

聚酰亚胺(Polyimides简称PI)是一大类主链上含有酞酰亚胺或丁二酰亚胺环的耐高温聚合物，通常由二酐或二胺合成。目前是已经工业化的聚合物中使用温度比较高的材料之一，其分解温度达到550~600℃，长期使用温度可达到200~380℃。此外还具有优良的尺寸和氧化稳定性、耐辐照性能，绝缘性能、耐化学...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

微流控周边学科/产业发展 　　微流控技术作为一门交叉性学科，其技术进步将带动多学科的共同发展： 　　物理学科：研究内容包括微纳尺度结构-流体相互作用；软物质物理；石油开采；晶体物理模拟；流体力学。 　　工程学：研究内容包括微纳加工、3D打印、4D材料、折叠技术、人工智能、智能控制。 　　仪器：微型化...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

国内目前大约有50家规模大小不等的PI薄膜制造厂商，其中约80%采用流延工艺制造，*有少量厂商采用双轴定向工艺制造。在我国高性能聚酰亚胺薄膜流延法及浸渍法工艺均较为成熟，其中浸渍法由于产品绝缘性能较差，正逐渐被淘汰。而技术难度较高的喷涂法、挤出法以及沉积法目前主要由日本先进企业掌握。 目前我国绝大部...

芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合便携...

PI的制造工艺 消泡后的聚酰胺酸溶液，由不锈钢溶液储罐经管路压入前机头上的流涎嘴储槽中。钢带以图所示方向匀速运行，将储槽中的溶液经流涎嘴前刮板带走，而形成厚度均匀的液膜，然后进入烘干道干燥。 洁净干燥的空气由鼓风机送入加热器预热到一定温度后进入上、下烘干道。热风流动方向与钢带运行方向相反，以便使液膜...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上**干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并***除尘毯，方得进入洁净室。...

微流控技术作为影响人类未来**重要的发明之一，科学利用好微流控芯片应用在全新领域，有助于我国多个产业学科快速发展。但是我国目前微流控芯片技术研究水平有待提高，以方便未来发展和产业化方向。许多科研工作者期待，会有越来越多的科研人员可以加入到微流控芯片技术的研究应用的队伍中，这样微流控芯片技术才能更加成熟...

掩膜版的种类 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃（Quartz Glass）苏打玻璃（Soda-lime Glass）低膨胀玻璃（Low Expansion Glass） 2、透明树脂 遮光膜 （1）硬质遮光膜：铬膜氧化铁硅化钼硅。 （2）乳胶。 掩膜版的制作方法 溅镀法（Sputtering）： ...