微流控芯片研究的主流已从平台构建和方法发展转为不同领域的广泛应用，并从应用的需求中寻求科学问题，进而带动产业化的迅速发展。微流控芯片非常具有灵活性，一方面芯片应用具有灵活性，除了应用于检测还可以用于细胞分析、样品筛选、组织工程等领域。另一方面芯片材质的灵活性，即芯片可以拉伸、弯曲、折叠，并可与穿戴性...

PI包括均苯型聚酰亚胺薄膜和联苯型聚酰亚胺薄膜两类.前者为美国某公司产品，由均苯四甲酸二酐与二苯醚二胺制得。后者由日本某公司生产，由联苯四甲酸二酐与二苯醚二胺(R型)或间苯二胺(S型)制得。薄膜制备方法为：聚酰胺酸溶液流延成膜、拉伸后，高温酰亚胺化。聚酰亚胺薄膜呈黄色透明,相对密度1.39～1.45...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

PI包括均苯型聚酰亚胺薄膜和联苯型聚酰亚胺薄膜两类.前者为美国某公司产品，由均苯四甲酸二酐与二苯醚二胺制得。后者由日本某公司生产，由联苯四甲酸二酐与二苯醚二胺(R型)或间苯二胺(S型)制得。薄膜制备方法为：聚酰胺酸溶液流延成膜、拉伸后，高温酰亚胺化。聚酰亚胺薄膜呈黄色透明,相对密度1.39～1.45...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键**技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

PI的制造工艺 消泡后的聚酰胺酸溶液，由不锈钢溶液储罐经管路压入前机头上的流涎嘴储槽中。钢带以图所示方向匀速运行，将储槽中的溶液经流涎嘴前刮板带走，而形成厚度均匀的液膜，然后进入烘干道干燥。 洁净干燥的空气由鼓风机送入加热器预热到一定温度后进入上、下烘干道。热风流动方向与钢带运行方向相反，以便使液膜...

激光微纳加工制造是微纳制造技术的重要部分。激光微纳制造是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复...

微纳加工集成工艺，用于加工采用金属薄片的精密仪器，包括以下步骤：优先选取若干金属薄片，采用冷冲模工艺对所述金属薄片分别进行引伸、冲孔、剪切与折弯，使其形成需要的结构；其次，将上述的金属薄片进行冷冲模加工，在其中的金属薄片上形成引伸凸起结构；***，将加工完成的金属薄片通过焊接，从而粘结成具有微腔室或微...

微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其**主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列**技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具...

通常有四种材料必须进行刻蚀处理：硅（惨杂硅或非惨杂硅）、电介质（如SiO2或SiN）、金属（通常为铝、铜）以及光刻胶。每种材料的化学性质都各不相同。等离子体刻蚀为一种各向异性刻蚀工艺，可以确保刻蚀图案的精确性、对特定材料的选择性以及刻蚀效果的均匀性。等离子体刻蚀中，同时发生着基于等离子作用的物理刻蚀...

《半导体微纳加工技术》是电子学院开设的专业普及课，内容主要基于微纳加工平台的研发实例与***成果，重点介绍纳米光刻技术、干法刻蚀技术、薄膜制备技术、聚焦离子束技术、晶片键合技术等与科研工作直接相关的关键微纳加工技术。课程所讲述的内容是各类半导体及其他信息功能器件研发制造中的关键技术，如光电子、微电子...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...

微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其**主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列**技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具...

虽然浸入式光刻已受到很大的关注，但仍面临巨大挑战，浸入式光刻的挑战在于控制由于浸入环境引起的缺点，包括气泡和污染;抗蚀剂与流体或面漆的相容性，以及面漆的发展;抗蚀剂的折射指数大于1.8;折射指数大于1.65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求;折射指数大于1.65的透镜材料满足透镜设计的吸收和双折射要...

微纳加工集成工艺，用于加工采用金属薄片的精密仪器，包括以下步骤：优先选取若干金属薄片，采用冷冲模工艺对所述金属薄片分别进行引伸、冲孔、剪切与折弯，使其形成需要的结构；其次，将上述的金属薄片进行冷冲模加工，在其中的金属薄片上形成引伸凸起结构；***，将加工完成的金属薄片通过焊接，从而粘结成具有微腔室或微...

电子束曝光技术简称“光刻”，是当前**常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响**终结果。 目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相当于人头发丝的千分之一。随着微纳器件的小型化、精细化发...

按照反应原理来划分，干法刻蚀分为三种： 1）物理性刻蚀，又称离子束溅射刻蚀，原理是使带能粒子在强电场下加速，这些带能粒子通过溅射刻蚀作用去除未被保护的硅片表面材料。 2）化学性刻蚀，又称等离子体刻蚀，纯化学刻蚀作用中，通过等离子体产生的自由基和反应原子与硅片表面的物质发生化学反应达到刻蚀的效果。 3...

《半导体微纳加工技术》是电子学院开设的专业普及课，内容主要基于微纳加工平台的研发实例与***成果，重点介绍纳米光刻技术、干法刻蚀技术、薄膜制备技术、聚焦离子束技术、晶片键合技术等与科研工作直接相关的关键微纳加工技术。课程所讲述的内容是各类半导体及其他信息功能器件研发制造中的关键技术，如光电子、微电子...

微流控芯片技术是个多学科交叉大融合的技术，物理、材料、食品、化学、生物、医疗等多领域的**均为微流控芯片技术做出了很多贡献，可谓万花齐放，一起让微流控芯片领域生机勃勃。微流控芯片技术也在不断发展过程中逐渐成长壮大，并作为快速发展的颠覆性技术之一被写入“十三五”规划。我国来自不同领域的**慷慨地分享自...

光刻主要有以下几个步骤。 首先是准备基质：在涂布光阻剂之前，硅片一般要进行处理，需要经过脱水烘培蒸发掉硅片表面的水分，并涂上用来增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物。 涂布光阻剂(photo resist)：将硅片放在一个平整的金属托盘上，托盘内有小孔与真空管相连，硅片就被吸在托盘上，这样硅片就可以...

微流控技术的起源 　　微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 　　MEMS技术全称Micro Electromechanical ...

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。 随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫...

微流控分析芯片**初只是作为纳米技术**的一个补充，在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后，**终却实现了商业化生产。微流控分析芯片**初在美国被称为“ 芯片实验室”（lab-on-a-chip），在欧洲被称为“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），随着材料科学、微纳...

按照反应原理来划分，干法刻蚀分为三种： 1）物理性刻蚀，又称离子束溅射刻蚀，原理是使带能粒子在强电场下加速，这些带能粒子通过溅射刻蚀作用去除未被保护的硅片表面材料。 2）化学性刻蚀，又称等离子体刻蚀，纯化学刻蚀作用中，通过等离子体产生的自由基和反应原子与硅片表面的物质发生化学反应达到刻蚀的效果。 3...

微流控芯片技术是个多学科交叉大融合的技术，物理、材料、食品、化学、生物、医疗等多领域的**均为微流控芯片技术做出了很多贡献，可谓万花齐放，一起让微流控芯片领域生机勃勃。微流控芯片技术也在不断发展过程中逐渐成长壮大，并作为快速发展的颠覆性技术之一被写入“十三五”规划。我国来自不同领域的**慷慨地分享自...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

　 芯片集成的单元部件越来越多，且集成的规模也越来越大，微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品，具有高通量的特点，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析样品所需要的试剂量*几微升至几十个微升，被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。廉价，安全，因此，微流控分析系统在微型化。集成化合...

微流控技术的起源 　　微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 　　MEMS技术全称Micro Electromechanical ...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

虽然浸入式光刻已受到很大的关注，但仍面临巨大挑战，浸入式光刻的挑战在于控制由于浸入环境引起的缺点，包括气泡和污染;抗蚀剂与流体或面漆的相容性，以及面漆的发展;抗蚀剂的折射指数大于1.8;折射指数大于1.65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求;折射指数大于1.65的透镜材料满足透镜设计的吸收和双折射要...