原子层刻蚀（ALE）是一种先进的刻蚀技术，通过将反应气体注入和离子轰击步骤分离并周期循环，能够以原子层级的精度（约0.4纳米）控制刻蚀深度，具有极低的材料损伤率 [17] [25]。ALE设备通常可在同一腔体内集成ICP、RIE、DRIE等多种功能，适用于先进逻辑制程及硅化合物、金属等多种材料的精密加工 [17]。中国厂商在刻蚀**技术领... 【查看详情】

进一步发展1948年J.巴丁、W.H.布拉坦和W.B.肖克莱发明了晶体管，带来了现代电子学的**，同时也促进了半导体物理、材料、器件研究的蓬勃发展。从那以后的几十年间，半导体微电子技术和半导体光电子技术已经成为现代社会的重要技术基础，引起了世界范围的信息**，对人类文明的发展产生深远的影响。 [21]1954年，半导体有效质量理论的提出是... 【查看详情】

第四部分：用数字表示序号第五部分：用汉语拼音字母表示规格号例如：3DG18表示NPN型硅材料高频三极管日本半导体分立器件型号命名方法日本生产的半导体分立器件，由五至七部分组成。通常只用到**个部分，其各部分的符号意义如下：***部分：用数字表示器件有效电极数目或类型。0-光电（即光敏）二极管三极管及上述器件的组合管、1-二极管、2三极或具... 【查看详情】

2022年，科研人员发现立方砷化硼是科学界已知的比较好的半导体之一，被称为***半导体。 [12]2024年11月5日，半导体的小型化已经发展到只有头发丝直径10万分之一的“纳米”级别。 [14]同月，2024福布斯中国创新力企业50强发布，半导体类企业上海超硅、海光信息、瀚博半导体、华为海思、长鑫存储、中微公司入选。 [15]2026年... 【查看详情】

场效应晶体管场效应晶体管依靠一块薄层半导体受横向电场影响而改变其电阻（简称场效应），使具有放大信号的功能。这薄层半导体的两端接两个电极称为源和漏。控制横向电场的电极称为栅。根据栅的结构,场效应晶体管可以分为三种：①结型场效应管(用PN结构成栅极)；②MOS场效应管（用金属-氧化物－半导体构成栅极,见金属－绝缘体－半导体系统）；③MES场效... 【查看详情】

该技术采用低电容耦合LCC 3D线圈等创新设计，已应用于5纳米及更先进的逻辑芯片产线 [7]。此外，北方华创的12英寸深硅刻蚀机PSE V300通过快速气体和射频切换控制系统，能在50:1高深宽比刻蚀中准确控制侧壁形貌，其TSV刻蚀速率达到国际主流水平，已成为国内TSV量产生产线主力机台 [19] [26]。干法刻蚀（等离子体刻蚀）根据等... 【查看详情】

按化学成分半导体材料按化学成分可分为元素半导体、化合物半导体和固溶半导体。 [28]元素半导体元素半导体是指单一元素构成的半导体，其中对硅、硒的研究比较早。它是由相同元素组成的具有半导体特性的固体材料，容易受到微量杂质和外界条件的影响而发生变化。只有硅、锗性能好，运用的比较广，硒在电子照明和光电领域中应用。硅在半导体工业中运用的多，这主要... 【查看详情】

主要服务于半导体产业链下游的质量控制环节：半导体测试仪的应用贯穿半导体产业链从设计、制造、封测到终端应用的全过程，是确保半导体器件性能、可靠性与良率的关键设备 [4]。根据功能与测试对象的不同，其应用场景主要包括以下几个环节：元件特性分析：完整测试功率半导体元件的电气特性工业质检流程：设备制造商执行进料检验汽车电子元件故障诊断分析研发验证... 【查看详情】

多技术集成与自动化现代半导体参数分析仪通常采用模块化架构，集成多个SMU、CVU和PMU模块。通过多通道切换模块（如4200A-CVIV）实现I-V与C-V测量间的快速切换，无需重新布线。系统配备测试软件（如Clarius、EasyEXPERT），内置数百种可修改的测试应用程序，支持自动实时参数提取、数据绘图与分析功能 [2] [10]，... 【查看详情】

电子在电子学中，用得**多的半导体是硅和锗。它们都是4价元素。外层电子受原子核的束缚力**小，称为价电子。物质的化学性质是由**外层的价电子数决定的，半导体的导电性质也与价电子有关。由于原子之间靠得很近，这样，每个价电子个别的轨道就变成两个相邻原子之间两个价电子的公共的轨道，形成了晶体***价键结构。共价键内的两个电子称为束缚电子。一般情... 【查看详情】

这偶极层阻止了空穴和电子的继续扩散而使PN结达到平衡状态。当PN结的P端（P型半导体那边）接电源的正极而另一端接负极时，空穴和电子都向偶极层流动而使偶极层变薄，电流很快上升。如果把电源的方向反过来接，则空穴和电子都背离偶极层流动而使偶极层变厚，同时电流被限制在一个很小的饱和值内(称反向饱和电流)。因此，PN结具有单向导电性。此外，PN结的... 【查看详情】

国产刻蚀设备在成熟制程领域已实现突破并进入主流生产线，国产化率已提升至约20%，以中微公司、北方华创为**的国内厂商市场份额合计约2.36%，但在**制程（如5纳米及以下）的部分关键步骤仍一定程度依赖进口设备 [14] [20] [25]。中微公司在等离子体刻蚀技术领域持续突破，其ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star®实现了... 【查看详情】