在通信和雷达等***装备中，主要靠高灵敏度、低噪声的半导体接收器件接收微弱信号。随着微波 通信技术的迅速发展，微波半导件低噪声器件发展很快，工作频率不断提高，而噪声系数不断下降。微波半导体 器件由于性能优异、体积小、重量轻和功耗低等特性，在防空反导、电子战等系统中已得到广泛的应用 。晶体二极管晶体二极管的基本结构是由一块 P型半导体和一块... 【查看详情】

1958年，集成电路问世。1959年，赝势概念的提出，使得固体能带的计算大为简化。利用价电子态与原子**态正交的性质，用一个赝势代替真实的原子势，得到一个固体中价电子态满足的方程。用赝势方法得到了几乎所有半导体的比较精确的能带结构。1962年，半导体激光器发明。 [21]1968年，硅MOS（金属-氧化物-半导体）器件发明及大规模集成电路... 【查看详情】

鲁汶仪器有限公司研发了针对12英寸集成电路产业的特种金属膜层刻蚀系统，其**产品Herent® Chimera® M金属刻蚀设备可用于后道高密度铝导线互连工艺，同时该公司自主研发的磁存储器刻蚀机填补了国内相关技术的空白 [4] [21] [23]。全球半导体刻蚀设备市场呈现高度集中的格局，主要厂商包括泛林集团（Lam Research）、... 【查看详情】

刻蚀机在集成电路制造中用于刻蚀晶体管的栅极、源极和漏极等结构 [27]。在存储器制造中，如3D NAND，刻蚀机用于形成存储单元的高深宽比结构 [16] [25]。在先进封装领域，刻蚀机应用于硅通孔（TSV）、2.5D/3D封装等工艺 [19] [26]。刻蚀机还广泛应用于微机电系统（MEMS）、功率器件、图像传感器、LED、显示面板等领... 【查看详情】

半导体技术的演进，除了改善性能如速度、能量的消耗与可靠性外，另一重点就是降**作成本。降低成本的方式，除了改良制作方法，包括制作流程与采用的设备外，如果能在硅芯片的单位面积内产出更多的 IC，成本也会下降。所以半导体技术的一个非常重要的发展趋势，就是把晶体管微小化。当然组件的微小化会伴随着性能的改变，但很幸运的，这种演进会使 IC 大部分... 【查看详情】

砷化镓（gallium arsenide）是一种无机化合物，化学式为GaAs，为黑灰色固体，熔点1238℃。它在600℃以下能在空气中稳定存在，并且不被非氧化性的酸侵蚀。其工业化生长工艺主要包括直拉法、水平布里其曼法、垂直布里其曼法以及垂直梯度凝固法等，也可通过计算机模拟生长工艺。 [3]砷化镓是一种重要的半导体材料。属Ⅲ－Ⅴ族化合物半导... 【查看详情】

典型产品：真空泵（干泵、分子泵）、气体流量计（MFC）、真空阀。技术难点：真空泵耐腐蚀性（如CF4气体）、MFC响应速度（<100ms）。国产化进展：新莱应材突破高纯气体管路，汉钟精机干泵进入中微公司供应链，但**真空阀仍依赖瑞士VAT。光学类功能：控制和传输光源（如EUV光刻机需13.5nm波长）。典型产品：光学镜头、激光源、光栅。技术... 【查看详情】

但因组件的微缩，使得这层材料需要越做越薄。在纳米尺度时，如果继续使用这个材料，这层薄膜只能有约 1 纳米的厚度，也就是 3 ~ 4 层分子的厚度。但是在这种厚度下，任何绝缘材料都会因为量子穿隧效应而导通电流，造成组件漏电，以致失去应有的功能，因此只能改用其它新材料。但二氧化硅已经沿用了三十多年，几乎是集各种优点于一身，这也是使硅能够在所有... 【查看详情】

因为投入者众，竞争也剧烈，进展迅速，造成良性循环。一个普遍现象是各大学电机、电子方面的课程越来越多，分组越细，并且陆续从工学院中**成电机电子与信息方面的学院。其它产业也纷纷寻求在半导体产业中的应用，这在全世界已经变成一种普遍的趋势。总而言之，半导体技术已经从微米进步到纳米尺度，微电子已经被纳米电子所取代。半导体的纳米技术可以**以下几层... 【查看详情】

刻蚀机在集成电路制造中用于刻蚀晶体管的栅极、源极和漏极等结构 [27]。在存储器制造中，如3D NAND，刻蚀机用于形成存储单元的高深宽比结构 [16] [25]。在先进封装领域，刻蚀机应用于硅通孔（TSV）、2.5D/3D封装等工艺 [19] [26]。刻蚀机还广泛应用于微机电系统（MEMS）、功率器件、图像传感器、LED、显示面板等领... 【查看详情】

**应用领域集成电路（IC）：微处理器、存储器、逻辑芯片等，是计算机、手机、智能设备的**。2025年全球集成电路市场规模超5000亿美元，台积电、三星、英特尔为主要厂商。光电子器件：发光二极管（LED）：照明、显示（如OLED屏幕）。激光器：光纤通信、数据存储（如蓝光光驱）。太阳能电池：硅基电池效率达22%-24%，薄膜电池（如CIGS... 【查看详情】

半导体（semiconductor）指室温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 [24]半导体材料导电性能可通过掺杂来改变，掺杂进入本质半导体的杂质浓度与极性皆会对半导体的导电特性产生很大影响。掺入施主杂质的半导体，导电载流子主要是导带中的电子，掺入受主杂质的半导体，属空穴型导电。 [25]半导体材料的发现可以追溯到19世纪。1833年... 【查看详情】