发展初期20世纪初的物理学**（相对论和量子力学）使得人们认识了微观世界（原子和分子）的性质，随后这些新的理论被成功地应用到新的领域（包括半导体），固体能带理论为半导体科技奠定了坚实的理论基础，而材料生长技术的进步为半导体科技奠定了物质基础（半导体材料要求非常纯净的基质材料，非常精细的掺杂水平）。 [11]1906年，邓伍迪发明了碳化硅检... 【查看详情】

半导体发光二极管半导体发光二极管的结构是一个PN结，它正向通电流时，注入的少数载流子靠复合而发光。它可以发出绿光、黄光、红光和红外线等。所用的材料有 GaP、GaAs、GaAs1-xPx、Ga1-xAlxAs、In1-xGaxAs1-yPy等。半导体激光器如果使高效率的半导体发光管的发光区处在一个光学谐振腔内，则可以得到激光输出。这种器件... 【查看详情】

制冷1834年，法国科学家帕尔帖发现了半导体制冷作用。帕尔帖原理又被称为是”帕尔贴效益“，就是将两种不同的导体充分运用起来，使用A和B组成的电路，通入直流电，在电路的接头处可以产生焦耳热，同时还会释放出一些其它的热量，此时就会发现，另一个接头处不是在释放热量，而是在吸收热量。这种现象是可逆的，只要对电流的方向进行改变，放热和吸热的运行就可... 【查看详情】

主要服务于半导体产业链下游的质量控制环节：半导体测试仪的应用贯穿半导体产业链从设计、制造、封测到终端应用的全过程，是确保半导体器件性能、可靠性与良率的关键设备 [4]。根据功能与测试对象的不同，其应用场景主要包括以下几个环节：元件特性分析：完整测试功率半导体元件的电气特性工业质检流程：设备制造商执行进料检验汽车电子元件故障诊断分析研发验证... 【查看详情】

鲁汶仪器有限公司研发了针对12英寸集成电路产业的特种金属膜层刻蚀系统，其**产品Herent® Chimera® M金属刻蚀设备可用于后道高密度铝导线互连工艺，同时该公司自主研发的磁存储器刻蚀机填补了国内相关技术的空白 [4] [21] [23]。全球半导体刻蚀设备市场呈现高度集中的格局，主要厂商包括泛林集团（Lam Research）、... 【查看详情】

商业航天产业的发展对卫星能源系统提出了更高要求，太阳电池技术路线的选择与任务成本效益等相关。砷化镓技术路线因其综合性能、环境可靠性及降本潜力，是商业航天任务中的一种技术选择。 [7]与P型异质结和P型HJT/钙钛矿叠层等技术路线相比，三结砷化镓电池具有效率较高、可靠性好和比功率较高的特点，但成本也较高。其降本路径包括采用聚光光伏技术减少材... 【查看详情】

第三部分：美国电子工业协会（EIA）注册标志。N-该器件已在美国电子工业协会（EIA）注册登记。第四部分：美国电子工业协会登记顺序号。多位数字-该器件在美国电子工业协会登记的顺序号。第五部分：用字母表示器件分档。A、B、C、D、┄┄-同一型号器件的不同档别。如：JAN2N3251A表示PNP硅高频小功率开关三极管，JAN-军级、2-三极管... 【查看详情】

20世纪初期，尽管人们对半导体认识比较少，但是对半导体材料的应用研究比较活跃。20世纪50年代，为了改善晶体管特性，提高其稳定性，半导体材料的制备技术迅速发展。从20世纪80年代开始，量子线材料及其半导体量子器件的研究成为材料科学研究领域的热点，在国际上掀起了纳米科技的研究高潮。20世纪90年以后，随着通信的飞速发展、第二代半导体材料开始... 【查看详情】

在C-V测试方面，带宽不低于10MHz，并支持激励电平电容压型测试。直流电流测量最高分辨率可达0.1fA [7]。根据不同的SMU单元配置，也可提供电压分辨率达0.5μV及电流分辨率分别为10fA、1fA、0.1fA的解决方案，并能检测1 kHz至5 MHz范围内的多频交流电容 [8]。主流半导体参数分析仪普遍采用模块化硬件架构以支持灵活... 【查看详情】

深硅刻蚀（DRIE）是实现高深宽比硅结构的关键技术，其**是Bosch工艺（反应离子刻蚀RIE的一种）。该工艺采用刻蚀与钝化交替进行的脉冲循环模式：在刻蚀阶段，通入SF6等气体产生等离子体，通过离子轰击和化学反应去除硅材料；在钝化阶段，通入C4F8等气体，在侧壁沉积一层聚合物薄膜进行保护 [15]。通过精确控制循环参数，可在保持侧壁垂直度... 【查看详情】

功能：构建设备框架、晶圆反应环境，保障反应良率。典型产品：反应腔、传输腔、匀气盘、静电吸盘（ESC）、陶瓷轴承等。技术难点：高精度加工（如表面粗糙度≤0.1μm）、耐腐蚀材料（如氧化铝陶瓷）、真空环境密封性。国产化进展：富创精密、江丰电子等实现腔体、靶材等国产替代，但**静电吸盘仍依赖日本京瓷、美国CoorsTek。电气类（占比10%-2... 【查看详情】

半导体技术进入纳米时代后，除了水平方向尺寸的微缩造成对微影技术的严苛要求外，在垂直方向的要求也同样地严格。一些薄膜的厚度都是 1 ~ 2 纳米，而且在整片上的误差小于 5%。这相当于在100个足球场的面积上要很均匀地铺上一层约1公分厚的泥土，而且误差要控制在 0.05 公分的范围内。蚀刻：另外一项重要的单元制程是蚀刻，用化学反应结合高能等... 【查看详情】