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实际上,由于液体介质的折射率相比空气介质更接近曝光透镜镜片材料的折射率,等效地加大了透镜口径尺寸与数值孔径(NA),同时可以 ***提高焦深(DOF)和曝光工艺的宽容度(EL),浸没式光 刻 技 术 ...
准分子光刻技术作为当前主流的光刻技术,主要包括:特征尺寸为0.1μm的248 nm KrF准分子激光技术;特征尺寸为90 nm的193 nm ArF准分子激光技术;特征尺寸为65 nm的193 nm ...
光刻系统SUSS是一种应用于半导体制造领域的工艺试验仪器,其比较大基片尺寸为6英寸,可实现0.5μm的分辨率和1μm的**小线宽 [1]。该系统通过精密光学曝光技术完成微电子器件的图形转移,为集成电路...
● 仪表盘面为MPa刻度值直接读取● 精度等级0.25% 0.4%● 双层镜面表盘● 设有度盘调零装置● 铁喷塑表壳● 铜合金内机部件● 测量范围-0.1至60MPa 外型尺寸示意图精密压力表的测量范...
鱼眼镜头通常采用内置滤光镜的方式,根据拍摄需要,由摄影者操纵镜头上的滤光镜转换环,使需要的滤光镜转换至镜头的摄影光路中。鱼眼镜头的前镜片是整个镜头中相当重要的镜片,由于它向镜头前部抛出,故摄影者在拍摄...
扫描投影曝光(Scanning Project Printing)。70年代末~80年代初,〉1μm工艺;掩膜板1:1,全尺寸;步进重复投影曝光(Stepping-repeating Project ...
决定光刻胶涂胶厚度的关键参数:光刻胶的黏度(Viscosity),黏度越低,光刻胶的厚度越薄;旋转速度,速度越快,厚度越薄;影响光刻胶均匀性的参数:旋转加速度,加速越快越均匀;与旋转加速的时间点有关。...
前方的转盘可能至少有三个指针,***个指针指示日期,另外两个则分别指示太阳和月球位置。月球的指针已被调整过**月球轨道的变化,因此相信太阳的指针也有过类似的调整,但相关机制的齿轮(如有)已经不存。前方...
艾伦·布隆莱一个和普赖斯有差异的重建模型是由澳大利亚悉尼大学的计算机科学家艾伦·布隆莱和悉尼的一位钟表师法兰克·帕西瓦尔建立。布隆莱和麦可·莱特合作使用更精密的X光影像重建新的模型。麦可·莱特曾担任伦...
其主要成像原理是光波波长为10~14nm的极端远紫外光波经过周期性多层膜反射镜投射到反射式掩模版上,通过反射式掩模版反射出的极紫外光波再通过由多面反射镜组成的缩小投影系统,将反射式掩模版上的集成电路几...
广角镜头是一种焦距短于标准镜头、视角大于标准镜头、焦距长于鱼眼镜头、视角小于鱼眼镜头的摄影镜头。广角镜头又分为普通广角镜头和超广角镜头两种。普通广角镜头的焦距一般为38-24毫米,视角为60-84度;...
光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。...
纠偏装置(Deviation rectifying device)是由美国美塞斯公司旗下FIFE品牌于1898年发明的机械装置,主要用于修正卷材在传输过程中产生的横向偏移。作为工业生产中的基础设备,其...
46、垫板垫板是介于固定板(或凹模)与模座间的淬硬板状零件,用以减低模座承受的单位压缩应力。A.每使用1500-2000小时维护保养应执行项目:1.滑润油脂吐出油量及压力检知功能测试与调整.2.空气系...
用长焦头拍摄远处景物,影像质量受天气影响较大,紫外线、尘埃和水汽都会使影像清晰度下降、反差变弱和色彩不饱和。因此,用长焦头拍摄远处景物时,比较好要选择反差较大、色彩较饱和的景物做拍摄对象。此外,摄影时...
01:50光刻机为什么难造?看看他的黑科技!提高光刻技术分辨率的传统方法是增大镜头的NA或缩 短 波 长,通 常 首 先 采 用 的 方 法 是 缩 短 波长。早在80年代,极紫外光刻技术就已经开始理...
集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2~3个数量...
选购广角数码相机时除了要注意相机的整体性能外,还需要着重考察其镜头表现。镜头畸变情况是我们首先需要考虑的因素。一般来说广角下拍摄更容易产生畸变,但不同的相机所拍摄的照片变形的程度也不同,总体而言畸变越...
EUV光刻技术的发展能否赶得上集成电路制造技术的要求?这仍然是一个问题。当然,EUV光刻技术的进步也是巨大的。截止2016年,用于研发和小批量试产的EUV光刻机,已经被安装在晶圆厂,并投入使用 [1]...
普莱斯在以上文章中发表的模式是较早基于放射影像所见该机械内部结构之后,提出的较早理论重建模式。他的模式中,机械前方的转盘**太阳和月球在古埃及历法上黄道带的位置。在仪器后面的上方转盘则显示一个四年周期...
1971年,当时是耶鲁大学科学史**阿瓦隆讲座教授的普莱斯和希腊德谟克利特国家科学研究中心的核物理学家哈拉兰伯斯·卡拉卡洛斯合作。卡拉卡洛斯使用伽马射线和X射线对安提基特拉机械摄影,得知了其内部配置的...
半导体器件和集成电路对光刻曝光技术提出了越来越高的要求,在单位面积上要求完善传递图像的信息量已接近常规光学的极限。光刻曝光的常用波长是3650~4358 埃,预计实用分辨率约为1微米。几何光学的原理,...
广角镜头又分为普通广角镜头和超广角镜头两种。135照相机普通广角镜头的焦距一般为38-24毫米,视角为60-84度;超广角镜头的焦距为20-13毫米,视角为94-118度。由于广角镜头的焦距短,视角大...
⒉较小的畸变:畸变是变焦镜头比较大的软肋,几乎所有涉及广角的变焦镜头都存在明显的畸变问题,而定焦镜头因为只需对一个焦段的成像进行纠正与优化,所以往往很少会出现畸变现象。另外值得一提的是,旁轴相机在广角...
19.超负荷保护装置之油路清洁,油室清洗,油品换新及压力动作与功能测试调整.20.主马达V型皮带磨耗及张力状况检查,调整.21.离刹机构各部件拆卸分解(飞轮不含)清洁保养,间隙检查调整及装复调试.22...
由测量系统、指示部分和表壳部分等组成。2.测量系统——由接头,弹簧管和齿轮转动机构等组成。3.由被测介质的压力作用,使弹簧管的末端(自由端)相应地产生位移,借助连杆带动机构中的扇形齿轮产生一角位移,而...
由英国、希腊和美国**组成的安提基特拉机械研究计划成员于2008年7月时,在机械上的一个青铜转盘发现了一个字 "Olympia",相信是用来指示卡利巴斯周期(Callippic cycle);另外也发...
凸模是冲模中起直接形成冲件作用的凸形工作零件,即以外形为工作表面的零件。18、凹模凹模是冲模中起直接形成冲件作用的凹形工作零件,即以内形为工作表面的零件。19、防护板防护板是防止手指或异物进入冲模危险...
安提基特拉机械,是为了计算天体在天空中的位置而设计的古希腊青铜机器,属于模拟计算机。该机器于1900年在希腊安提基特拉岛附近的安提基特拉沉船里被发现。制造年代约在西元前150年到100年之间。现藏于希...
鱼眼镜头的体积较大。以适用于35毫米单镜头反光照相机的鱼眼镜头为例,当将这种鱼眼镜头安装在体积较小的35毫米单镜头反光照相机机身上时,有一种“头(镜头)大身体(机身)小”的感觉,且由于鱼眼镜头重量不轻...
2025.08.07 高新区购买光刻系统量大从优
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