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46、垫板垫板是介于固定板(或凹模)与模座间的淬硬板状零件,用以减低模座承受的单位压缩应力。A.每使用1500-2000小时维护保养应执行项目:1.滑润油脂吐出油量及压力检知功能测试与调整.2.空气系...
33、固定板固定板是固定凸模的板状零件。34、固定卸料板固定卸料板是固定在冲模上位置不动的卸料板。(参阅“卸料板”)。35、固定挡料销(板)固定挡料销(板)是在模具内固定不动的挡料销(板)。(参阅“挡...
③缩短图像传递链,减少工艺上造成的缺陷和误差,可获得很高的成品率。④采用精密自动调焦技术,避免高温工艺引起的晶片变形对成像质量的影响。⑤采用原版自动选择机构(版库),不但有利于成品率的提高,而且成为能...
能强调前景和突出远近对比。这是广角镜头的另一个重要性能。所谓强调前景和突出远近对比,是指广角镜头能比其他镜头更加强调近大远小的对比度。也就是说,用广角镜头拍出来的照片,近的东西更大,远的东西更小,从而...
在曝光过程中,需要对不同的参数和可能缺陷进行跟踪和控制,会用到检测控制芯片/控片(Monitor Chip)。根据不同的检测控制对象,可以分为以下几种:a、颗粒控片(Particle MC):用于芯片...
光学镜头是机器视觉系统中必不可少的部件,直接影响成像质量的优劣,影响算法的实现和效果。光学镜头从焦距上可分为短焦镜头、中焦镜头,长焦镜头;从视场大小分为广角、标准,远摄镜头;从结构上分为固定光圈定焦镜...
实际上,由于液体介质的折射率相比空气介质更接近曝光透镜镜片材料的折射率,等效地加大了透镜口径尺寸与数值孔径(NA),同时可以 ***提高焦深(DOF)和曝光工艺的宽容度(EL),浸没式光 刻 技 术 ...
由测量系统、指示部分和表壳部分等组成。2.测量系统——由接头,弹簧管和齿轮转动机构等组成。3.由被测介质的压力作用,使弹簧管的末端(自由端)相应地产生位移,借助连杆带动机构中的扇形齿轮产生一角位移,而...
EUV光刻技术的发展能否赶得上集成电路制造技术的要求?这仍然是一个问题。当然,EUV光刻技术的进步也是巨大的。截止2016年,用于研发和小批量试产的EUV光刻机,已经被安装在晶圆厂,并投入使用 [1]...
浸没式光刻技术所面临的挑战主要有:如何解决曝光中产生的气泡和污染等缺陷的问题;研发和水具有良好的兼容性且折射率大于1.8的光刻胶的问题;研发折射率较大的光学镜头材料和浸没液体材料;以 及 有 效 数 ...
光刻系统是一种用于半导体器件制造的精密科学仪器,是制备高性能光电子和微电子器件不可或缺的**工艺设备 [1] [6-7]。其技术发展历经紫外(UV)、深紫外(DUV)到极紫外(EUV)阶段,推动集成电...
光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、...
浸没式光刻技术所面临的挑战主要有:如何解决曝光中产生的气泡和污染等缺陷的问题;研发和水具有良好的兼容性且折射率大于1.8的光刻胶的问题;研发折射率较大的光学镜头材料和浸没液体材料;以 及 有 效 数 ...
远摄镜头也称为长焦距镜头,是指比标准镜头的焦距长的摄影镜头。长焦距镜头分为普通远摄镜头和超远摄镜头两类,普通远摄镜头的焦距长度接近标准镜头,而超远摄镜头的焦距却远远大于标准镜头。远摄镜头是摄影辅助镜头...
边缘光刻胶的去除光刻胶涂覆后,在硅片边缘的正反两面都会有光刻胶的堆积。边缘的光刻胶一般涂布不均匀,不能得到很好的图形,而且容易发生剥离(Peeling)而影响其它部分的图形。所以需要去除。方法:a、化...
此前人们认为该装置是古希腊人使用的一种计算器,用来描绘天空中行星的运行轨迹,以帮助当时的人识别方向。然而,科学家们现在**了这部装置表面破损的铭文后发现,它实际上是用来研究**的。安提基特拉机械装置是...
极紫外光刻系统是采用13.5纳米波长极紫外光源的半导体制造**设备,可将芯片制程推进至7纳米、5纳米及更先进节点。该系统由荷兰阿斯麦公司于2019年推出第五代产品,突破光学衍射极限,将摩尔定律物理极限...
其主要成像原理是光波波长为10~14nm的极端远紫外光波经过周期性多层膜反射镜投射到反射式掩模版上,通过反射式掩模版反射出的极紫外光波再通过由多面反射镜组成的缩小投影系统,将反射式掩模版上的集成电路几...
●加工自动化可搭配任何的自动送料机构,进行自动化生产、降低成本,提高效率。●环保、节能且外形美观,低噪音、低消耗、节省能源,流畅简洁的外观更能体现出先进的设计理念。1.上模上模是整副冲模的上半部,即安...
28、顶板顶板是在凹模或模块内活动的板状零件,以向上动作直接或间接顶出工(序)件或废料。29、齿圈齿圈是精冲凹模或带齿压料板上的成圈齿形突起,是凹模或带齿压料板的局部结构而不是单独的零件。30、限位套...
电动三可变镜头与自动光圈电动变焦镜头相比,只是将对光圈调整电机的控制由自动控制改为由控制器来手动控制。按焦距(约50度左右),广角镜头和特广角镜头(100-120度)标准镜头视角约50度,也是人单眼在...
按接口C型镜头法兰焦距是安装法兰到入射镜头平行光的汇聚点之间的距离。法兰焦距为17.526mm或0.690in。安装罗纹为:直径1in,32牙.in。镜头可以用在长度为0.512in (13mm)以内...
实际上,由于液体介质的折射率相比空气介质更接近曝光透镜镜片材料的折射率,等效地加大了透镜口径尺寸与数值孔径(NA),同时可以 ***提高焦深(DOF)和曝光工艺的宽容度(EL),浸没式光 刻 技 术 ...
按接口C型镜头法兰焦距是安装法兰到入射镜头平行光的汇聚点之间的距离。法兰焦距为17.526mm或0.690in。安装罗纹为:直径1in,32牙.in。镜头可以用在长度为0.512in (13mm)以内...
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