刻蚀是半导体制造工艺中的一个重要步骤，在半导体刻蚀设备中，等离子刻蚀机工艺腔和腔体内部件在刻蚀过程中会受到高密度、高能量的等离子体轰击而造成严重腐蚀，一方面会缩短部件的使用寿命，降低设备的使用性能，另一方面腐蚀过程中产生的反应物会挥发脱落，在腔体内产生杂质颗粒，影响腔体洁净度。先进陶瓷材料具有较好的耐腐蚀性能，已被广泛应用于晶圆加工设备的耐等离子体刻蚀材料，通常采用高纯氧化铝涂层或氧化铝陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除此之外，等离子体刻蚀设备上采用的精密陶瓷部件还有窗视镜，气体分散盘，喷嘴，绝缘环，盖板，聚焦环和静电吸盘等。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！敬请关注2025上海國際精密陶瓷展览会，品牌精英齐聚盛会，倾情见证行业新辉煌，3月10日我们上海见！2025年3月10-12日华东区国际精密陶瓷展
随着新能源汽车和光伏、风电行业的快速发展，功率模块需求激增，推动了高性能陶瓷基板市场的快速发展。在传统的IGBT模块中，氧化铝陶瓷基板已不再适合作为封装材料，AlN、Si3N4等陶瓷基板逐步替代。由于氧化铝陶瓷基片相对低的热导率、与硅的热膨胀系数匹配不好，随着新能源汽车向着高压化、高功率化发展，氧化铝已不再适合作为封装材料。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！2025年3月10-12日华东区国际精密陶瓷展深耕行业市场，拓展业务网络，2025年3月10日上海國際精密陶瓷展览会，与您相约上海世博展览馆！
注塑成型技术相较传统成型工艺具有独特的技术优势：可制备体积小、形状复杂、尺寸精度高的异形件，由于流动充模，坯体密度均一，烧结产品性能优异；另外近净成型，制备的零件几乎不需要再进行机加工后处理，降低了加工对陶瓷材料带来的残余应力，既能够大幅缩减加工成本，又能够保证材料的稳定性和可靠性。注塑成型作为一种净成型技术，因其克服了粉末压制的成型能力、等静压的生产效率、机加工的成本，已成为精密陶瓷产业zuì具潜力的成型技术[2-3]。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！
精密陶瓷是一类高度纯净、结构均匀且具有优异物理、化学和机械性能的陶瓷材料。它通常由氧化铝、氧化锆等无机化合物制成，具有高硬度、耐磨、耐腐蚀、绝缘等特点。精密陶瓷广泛应用于医疗设备和医疗器械等方面，用于制造高精度零件、传感器、绝缘体等产品。由于其稳定性和可控性，精密陶瓷在一些特殊环境下表现出色，是现代医疗和科技中的重要材料之一。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！上海國際先進陶瓷展览会，汇聚众多国内外杰出供应商和制造商，3月10日诚邀您莅临上海探索精密陶瓷商机。
精密陶瓷表面精加工根据加工手段可分为两大类。一类是切削加工原理为主的单纯机械作用精密陶瓷光整加工方法，被称为传统精密陶瓷光整加工技术，主要分为镜面磨削、珩磨、超精研、研磨以及抛光等；另一类高能加工以及多种加工原理复合的精密陶瓷光整加工方法，称为非传统精密陶瓷光整加工技术，其内容主要包括化学机械抛光、电化学抛光、脉冲电化学精密陶瓷光整加工、电化学机械精密陶瓷光整加工以及超声波加工等[8-9]。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！“上海國際先進陶瓷展”助力精密陶瓷产业高质量发展。2025年3月10日与你相聚上海，共襄行业盛会！3月10日至12日华东国际精密陶瓷行业技术峰会
第十七届中國國際先進陶瓷展览会，3月10-12日与业内精英相聚盛会，共同探索精密陶瓷产业发展趋势！2025年3月10-12日华东区国际精密陶瓷展
精密/超精密制造技术对于先進陶瓷在航空航天以及半导体领域等gāo端领域的应用具有重要意义。以半导体领域为例，将先進陶瓷件加工至规定精度，那这些精加工制品能应用于精密设备上替代昂贵的合金，包括陶瓷手臂、陶瓷劈刀、陶瓷真空吸盘、陶瓷喷嘴、陶瓷光纤接管等。第十七届中國國際先進陶瓷展览会；同期展会：粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展；展览面积将超过50,000平方米，中外展商约900家，参展品牌1500个，国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕；诚邀您莅临参观！展览范围：精密陶瓷粉体及原材料。氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等陶瓷成型烧结与精加工设备备料、制粉、混合、成型、烧结、干燥、热工、后处理、测量/控製、实验设备等各类先進陶瓷产品和零部件。结构陶瓷、电子陶瓷、高温陶瓷、陶瓷轴承、陶瓷刀jù、光学陶瓷、陶瓷膜、陶瓷催化剂载体、生wù医用陶瓷、陶瓷基复合材料、人工晶体、耐火材料等陶瓷精密分析与检测仪器。粉末化学成分分析仪器、粉末物理性能分析仪器、合金性能分析仪器、合金微观組織分析仪器等。2025年3月10-12日华东区国际精密陶瓷展
