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超结MOS的工艺原理在传统的高压MOSFET中，导通电阻随着器件耐压的增加呈现出立方关系增长，这意味着在高压下，器件的导通电阻非常高，影响效率。而超结MOS通过在漂移区内构建纵向的P型和N型层，使得电场在纵向方向上得到优化。这种结构可以在保持高耐压的同时，大幅降低导通电阻。具体的工艺流程可分为以下几个步骤：

1、掺杂与离子注入在超结MOS的漂移区，**重要的部分是形成交替的P型和N型掺杂区。这个过程需要精细的掺杂控制：

（1）离子注入通过离子注入工艺，分别在器件的漂移区进行P型和N型杂质的注入。离子注入的深度和浓度需要非常精确的控制，确保后续的超结结构能够均匀分布。

（2）多次掺杂与注入通常需要多次重复掺杂和注入过程，以在漂移区形成多个交替的P型和N型区域。 由于MOSFET是电压控制器件，具有很高的输入阻抗，因此其驱动功率很小，对驱动电路要求较低.温州专业选型功率器件MOS产品选型欢迎选购

无锡商甲半导体MOS 管封装形式及散热性能分析

TO-247 封装

TO-247 封装与 TO-220 封装类似，同样属于直插式封装，但体积更大，引脚更粗。其散热片面积也相应增大，散热能力更强，在自然对流条件下，热阻约为 40 - 60℃/W 。TO-247 封装能够承受更高的功率，常用于功率在 50 - 150W 的大功率电路中，如工业电源、电动汽车的电机驱动电路等。不过，由于其体积较大，在一些对空间要求严格的电路板上使用会受到限制。

SOT-23 封装

SOT-23 封装是一种表面贴装封装（SMT），具有体积小、占用电路板面积少的优势。它的引脚数量较少，一般为 3 - 5 个，采用塑料材质封装。但受限于较小的体积，SOT-23 封装的散热能力相对较弱，热阻通常在 150 - 200℃/W 左右，适用于小功率电路，如消费电子产品中的电源管理芯片、信号放大电路等。在这些场景中，MOS 管的功率消耗较小，产生的热量有限，SOT-23 封装能够满足基本的散热需求。 上海代理功率器件MOS产品选型参数选型功率器件属于分立器件，单独封装且功能不可拆分（如IGBT单管）；

MOSFET的原理

MOSFET的原意是：MOS（MetalOxideSemiconductor金属氧化物半导体），FET（FieldEffectTransistor场效应晶体管），即以金属层（M）的栅极隔着氧化层（O）利用电场的效应来控制半导体（S）的场效应晶体管。

功率场效应晶体管也分为结型和绝缘栅型,但通常主要指绝缘栅型中的MOS型（MetalOxideSemiconductorFET）,简称功率MOSFET（PowerMOSFET）。结型功率场效应晶体管一般称作静电感应晶体管（StaticInductionTransistor——SIT）。其特点是用栅极电压来控制漏极电流，驱动电路简单，需要的驱动功率小，开关速度快，工作频率高，热稳定性优于GTR，但其电流容量小，耐压低，一般只适用于功率不超过10kW的电力电子装置。

超结MOS也是为了解决额定电压提高而导通电阻增加的问题，超结结构MOSFET在D端和S端排列多个垂直pn结的结构，其结果是在保持高电压的同时实现了低导通电阻。超级结的存在突破了硅的理论极限，而且额定电压越高，导通电阻的下降越明显。以下图为例，超结在S端和D端增加了长长的柱子，形成垂直的PN结，交替排列。N层和P层在漂移层中设置垂直沟槽，当施加电压时耗尽层水平扩展，很快合并形成与沟槽深度相等的耗尽层。耗尽层扩展至沟槽间距的一半，因此形成厚度等于沟槽深度的耗尽层。耗尽层的膨胀小且良好，允许漂移层杂质浓度增加约5倍，从而可以降低RDS(ON)。SO-8（Small Outline） 翼形引脚，体积较TO封装缩小60%，支持自动化贴片（如逻辑电平MOSFET）。

功率器件是专门用来处理和控制高电压、大电流电能的半导体器件，是电力电子电路的重要执行元件。

它的主要作用和特点包括：

高功率处理能力：能够在高电压（可达数千伏甚至更高）和大电流（可达数百甚至数千安培）的条件下工作。主要作用是转换、分配和管理电能，而非处理微弱信号。

开关作用：最常见的功能是作为开关。它需要能快速地开启（导通）或关闭（关断）高功率的电能流，控制电能输送到负载的时间或大小。效率是关键：理想状态下导通时电阻极小（压降低、损耗小），关断时电阻极大（漏电流极小、损耗小）。

承受大功耗，需要高效散热：由于工作在高压大电流下，即使效率很高，器件本身也会产生较大的热量（功耗）。因此，功率器件通常需要配备专门的散热系统（如散热片、风扇、液冷等）来确保工作温度在安全范围内，避免损坏。 TO-Leadless（如TOLL） 无引脚封装，减少电迁移，占用空间较D²PAK减少30%（如电动工具）。南通推荐功率器件MOS产品选型近期价格

对于高功率场景，优先考虑散热能力强的TO系列或D2PAK；温州专业选型功率器件MOS产品选型欢迎选购

1、超级结的性能提升方法使沟槽和沟槽间距尽可能小和深。SJ-MOS可以设计为具有较低电阻的N层，从而实现低导通电阻产品。2、超级结存在的问题本质上超级结MOSFET比平面MOSFET具有更大的pn结面积，因此trr比平面MOSFET快，但更大的irr流动。内部二极管的反向电流irr和反向恢复时间trr会影响晶体管关断开关特性。

二、超结MOS的结构超结MOSFET的创新在于其“超结”结构。这个结构通过在垂直方向上交替排列的P型和N型区域来实现。每个P型区域和其旁边的N型区域共同构成一个“超结单元”，这些单元在整个器件中交替排列。这种结构设计使得在导通状态下，电流可以通过较低的电阻路径流动，同时在关断状态下仍然能够承受高电压。 温州专业选型功率器件MOS产品选型欢迎选购