微纳测试与表征技术是微纳加工技术的基础与前提，它包括在微纳器件的设计、制造和系统集成过程中，对各种参量进行微米/纳米检测的技术。微米测量主要服务于精密制造和微加工技术，目标是获得微米级测量精度，或表征微结构的几何、机械及力学特性；纳米测量则主要服务于材料工程和纳米科学，特别是纳米材料，目标是获得材料...

基于光刻工艺的微纳加工技术主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成...

微纳技术一般指微米、纳米级(0. 1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术.在基础科研以及制造行业中,微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的前列位置.那么,我国的微纳制造技术研究现状怎样?面临着哪些急需解决的问题?微纳制造技术属于高、精、尖技术研究,...

微流控技术优势 　　生命分析技术不断发展，在新的时代背景下，又面临新挑战和发展机遇：要求在特别小的空间，特定的时间，特定的外界条件进行物质定性、定量、结构分析、形貌分析等工作。 　　而微流控技术的出现为生命分析面临的三大特殊挑战提供了有力的操控工具。微流控技术具有如下特点： 　　集成小型化与自动化 ...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...

微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量*****制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障**安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。很显然，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系...

PDMS器件 加工精度取决于模具的精度，原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅，SU-8，刻蚀玻璃。 SU-8器件 胶厚范围在2-400um之间，胶厚和线宽比为1:1，精度误差小于10%。 硅流道器件 **小线宽在百纳米级别，流道陡直度高，线宽精度高，可控精度5%以内，流道比较大深宽比可达20:1。 玻...

微流控技术的起源 微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 MEMS技术全称Micro Electromechanical ...

微流控芯片中流体的操控尺度在微米量级，介于宏观尺度和纳米尺度之间，这种尺度***体运动显示出二重性。一方面，微米尺度仍然远大于通常意义上分子的平均自由程，因此，对于其中的流体而言，连续介质定理成立，连续性方程可用，电渗和电泳淌度与尺寸无关。另一方面，相对于宏观尺度，微米尺度上的惯性力影响诚小，黏性力...

聚酰亚胺(Polyimides简称PI)是一大类主链上含有酞酰亚胺或丁二酰亚胺环的耐高温聚合物，通常由二酐或二胺合成。目前是已经工业化的聚合物中使用温度比较高的材料之一，其分解温度达到550~600℃，长期使用温度可达到200~380℃。此外还具有优良的尺寸和氧化稳定性、耐辐照性能，绝缘性能、耐化学...

微流控的优点： 芯片设计多流道、多个反应单元的相互隔离，使各个反应互不干扰。 　　检测试剂消耗少，样本量需求少 　　微流控芯片反应单元腔体特别小，试剂使用量远远低于常规操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技术将持续推动生命分析化学的发展。我国微流控技术持续高速发展，...

掩膜版，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下***业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。通俗点理解，掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。 掩膜版主要用于下游电子元器件制造业的批量生产，是下***业生产流程衔接的关键部分，是下游产品...