掩膜版，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下***业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。通俗点理解，掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。 掩膜版主要用于下游电子元器件制造业的批量生产，是下***业生产流程衔接的关键部分，是下游产品...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上最干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并踩踏除尘毯，方得进入洁净室。...

微流控周边学科/产业发展 　　微流控技术作为一门交叉性学科，其技术进步将带动多学科的共同发展： 　　物理学科：研究内容包括微纳尺度结构-流体相互作用；软物质物理；石油开采；晶体物理模拟；流体力学。 　　工程学：研究内容包括微纳加工、3D打印、4D材料、折叠技术、人工智能、智能控制。 　　仪器：微型化...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

基于光刻工艺的微纳加工技术主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成...

纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备领先技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通...

生命研究 　　微流控器件芯片。微流控芯片是只有手机记忆卡大小的人体***微缩模型，可以使研究人员用前所未有的方式检验生物机制和行为、检验过程、控制过程，能够为医学研究和***制造带来彻底变革。 　　DNA分析和测序。Illumina、赛默飞等公司基因测序仪也使用了微流控技术来流动细胞。 　　当然除了...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前最常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响最终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...

激光微纳加工制造是微纳制造技术的重要部分。激光微纳制造是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复...

应用于不同领域的PI售价及利润水平相差较大，如传统的低端电工级PI绝缘薄膜经过多年的发展，目前售价约为300-400元/kg，而电子级聚酰亚胺绝缘基膜的售价则达到1000元/kg，毛利率达到约70%。技术难度更高的轨交用薄膜售价在2000元/kg以上，微电子封装用以及航空航天用聚酰亚胺薄膜售价则高达...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca™400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而...

应用于不同领域的PI售价及利润水平相差较大，如传统的低端电工级PI绝缘薄膜经过多年的发展，目前售价约为300-400元/kg，而电子级聚酰亚胺绝缘基膜的售价则达到1000元/kg，毛利率达到约70%。技术难度更高的轨交用薄膜售价在2000元/kg以上，微电子封装用以及航空航天用聚酰亚胺薄膜售价则高达...

应用于不同领域的PI售价及利润水平相差较大，如传统的低端电工级PI绝缘薄膜经过多年的发展，目前售价约为300-400元/kg，而电子级聚酰亚胺绝缘基膜的售价则达到1000元/kg，毛利率达到约70%。技术难度更高的轨交用薄膜售价在2000元/kg以上，微电子封装用以及航空航天用聚酰亚胺薄膜售价则高达...

原位芯片掌握先进的光刻技术，为企业提供光刻代加工服务。电子束曝光技术简称“光刻”，是当前最常用的微纳加工方案，充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米，但是实际情况下很难，仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响最终结果。“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右，相...

PI包括均苯型聚酰亚胺薄膜和联苯型聚酰亚胺薄膜两类.前者为美国某公司产品，由均苯四甲酸二酐与二苯醚二胺制得。后者由日本某公司生产，由联苯四甲酸二酐与二苯醚二胺(R型)或间苯二胺(S型)制得。薄膜制备方法为：聚酰胺酸溶液流延成膜、拉伸后，高温酰亚胺化。聚酰亚胺薄膜呈黄色透明,相对密度1.39～1.45...

超短脉冲激光微细加工技术指的是利用超短脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切以及微观改性。相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等，超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场，在太阳能电池、LCD、医疗、精密加工、透明材料及微电子学等领域具有很好的应用前景。随着超短脉冲激光器件趋向更为成熟的工业应用，超...

光掩膜概述： 光掩膜一般也称光罩，是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形，并通过曝光将图形转印到产品基板上。光掩膜主要由两部分组成：基板和不透光材料。 作为半导体、液晶显示器制造过程中转移电路图形“底片”的高精密工具，光掩膜是半导体制程中非常关键的一环。...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上最干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并踩踏除尘毯，方得进入洁净室。...

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验...

生命研究 　　微流控器件芯片。微流控芯片是只有手机记忆卡大小的人体***微缩模型，可以使研究人员用前所未有的方式检验生物机制和行为、检验过程、控制过程，能够为医学研究和***制造带来彻底变革。 　　DNA分析和测序。Illumina、赛默飞等公司基因测序仪也使用了微流控技术来流动细胞。 　　当然除了...

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上最干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并踩踏除尘毯，方得进入洁净室。...

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键核心技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，...

微流控芯片技术是个多学科交叉大融合的技术，物理、材料、食品、化学、生物、医疗等多领域的专家均为微流控芯片技术做出了很多贡献，可谓万花齐放，一起让微流控芯片领域生机勃勃。微流控芯片技术也在不断发展过程中逐渐成长壮大，并作为快速发展的颠覆性技术之一被写入“十三五”规划。我国来自不同领域的专家慷慨地分享自...

微流控技术的起源 微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 MEMS技术全称Micro Electromechanical ...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...

PI包括均苯型聚酰亚胺薄膜和联苯型聚酰亚胺薄膜两类.前者为美国某公司产品，由均苯四甲酸二酐与二苯醚二胺制得。后者由日本某公司生产，由联苯四甲酸二酐与二苯醚二胺(R型)或间苯二胺(S型)制得。薄膜制备方法为：聚酰胺酸溶液流延成膜、拉伸后，高温酰亚胺化。聚酰亚胺薄膜呈黄色透明,相对密度1.39～1.45...

微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊...

《微纳加工科学原理》基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、***地论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以...