均匀性：片内均匀性≤±3%（Oxford PlasmaPro 100），其他型号可达±5%（Oxford PlasmaPro 100） [1]温度控制：-150℃~110℃（Oxford PlasmaPro 100） [1]选择比：对光刻胶选择比≥30:1（Oxford PlasmaPro 100） [1]刻蚀机的结构可分为主体和附属设备... 【查看详情】

半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的物质，其导电性可通过外部条件（如温度、光照、电场或掺杂）进行调节，是现代电子技术的**材料。**特性导电性可控：纯净的半导体（如硅、锗）导电性较弱，但通过掺入杂质（如磷、硼）可***改变其导电性。掺入施主杂质（如磷）形成N型半导体，导电载流子为电子；掺入受主杂质（如硼）形成P型半导体，导电载流子为空穴... 【查看详情】

半导体技术进入纳米时代后，除了水平方向尺寸的微缩造成对微影技术的严苛要求外，在垂直方向的要求也同样地严格。一些薄膜的厚度都是 1 ~ 2 纳米，而且在整片上的误差小于 5%。这相当于在100个足球场的面积上要很均匀地铺上一层约1公分厚的泥土，而且误差要控制在 0.05 公分的范围内。蚀刻：另外一项重要的单元制程是蚀刻，用化学反应结合高能等... 【查看详情】

1990年，英国的L.T.坎汉***在室温下观测到多孔硅的可见光光致发光，使人们看到全硅光电子集成技术的新曙光。纳米微粒，纳米固体与纳米薄膜材料开辟了材料研究的新领域。这类包含有大量表面或界面原子的新型功能材料具有许多独特的物理、化学和力学性能，被誉为21世纪**有前途的材料。 [21]2019年10月，一国际科研团队称与传统霍尔测量中*... 【查看详情】

温度特性本征半导体电阻率具有负的温度系数，即随着温度升高，电阻率下降。杂质半导体的电阻率温度系数可正可负，源于周期性势场的偏移对载流子的散射作用。例如，掺杂硅在温度极低时，本征激发可忽略，载流子由杂质电离提供，因此电阻率随温度升高而下降;在室温时杂质全部电离，本征激发也不***，随着温度升高，晶格振动更加剧烈，导致迁移率降低，因此电阻率随... 【查看详情】

源测量单元用于提供精确的电压/电流源并同步测量响应，是进行电流-电压特性测试的**模块。电容-电压单元**于电容-电压测量，例如吉时利的4215-CVU模块集成了1 V AC电源，可在1 kHz至10 MHz频率下进行低噪声电容测量，分辨率可达飞法级。多通道切换模块用于提高测试效率，例如4200A-CVIV多通道切换模块可自动在I-V和C... 【查看详情】

据业绩快报显示，中微公司2024年营业收入约90.65亿元，刻蚀设备收入约72.77亿元 [7]。目前全球刻蚀机市场大多被海外巨头占据，中国国内企业中微公司，北方华创和屹唐半导体合计占据2.36%的市场份额 [14]，占据**地位的中国企业包括中微公司、北方华创、屹唐股份，占比分别为1.37%、0.89%和0.1% [25]，国产刻蚀机的... 【查看详情】

热传导半导体中存在温度梯度的话，热能将由半导体的高温部分传导到低温部分，单位时间内通过单位面积的热量与温度的梯度固体的热传导由传导载流子和晶格振动（声子运动）的贡献组成。对于非简并半导体，晶格振动对热导率的贡献比载流子的贡献大几个数量级。 [35]压阻效应“压阻效应”是指当对半导体材料施加应力作用时，半导体材料的电阻率将随着应力的变化而发... 【查看详情】

***零度时，固体中的电子按能量从低到高依次占据各个不同的能带，芯电子占满了所有低能量的一系列能带，处于满能带的芯电子紧紧束缚在各自原子核的周围，因此，在一般实验条件下不需要考虑芯电子对晶体物理性质的贡献。在芯电子能带之上的能带是价电子所在的能带，称为价带，价带之上有一系列没有电子占据的能带，称为空带。依价电子在价带中的占据情况，固体有金... 【查看详情】

电容-电压（C-V）测量电容-电压（C-V）测量用于分析半导体器件的电容特性，如氧化层厚度、掺杂浓度、平带电压等 [12]。该技术通过**的电容-电压单元（CVU）实现，通常在1 kHz至10 MHz的频率范围内进行低噪声测量，支持±30V的直流偏置 [2] [7]，并能够测量低至飞法（fF）级的微小电容 [2]。脉冲I-V测量脉冲I-V... 【查看详情】

功能：构建设备框架、晶圆反应环境，保障反应良率。典型产品：反应腔、传输腔、匀气盘、静电吸盘（ESC）、陶瓷轴承等。技术难点：高精度加工（如表面粗糙度≤0.1μm）、耐腐蚀材料（如氧化铝陶瓷）、真空环境密封性。国产化进展：富创精密、江丰电子等实现腔体、靶材等国产替代，但**静电吸盘仍依赖日本京瓷、美国CoorsTek。电气类（占比10%-2... 【查看详情】

第三部分：用数字或字母加数字表示登记号。三位数字-**通用半导体器件的登记序号、一个字母加二位数字-表示**半导体器件的登记序号。第四部分：用字母对同一类型号器件进行分档。A、B、C、D、E┄┄-表示同一型号的器件按某一参数进行分档的标志。除四个基本部分外，有时还加后缀，以区别特性或进一步分类。常见后缀如下：1、稳压二极管型号的后缀。其后... 【查看详情】