以KrF激光为光源的248 nm光刻，已...

复旦大学陆雄等采用先激光开槽后机械刀片划...

X射线光刻胶X射线对物质的化学作用类似电...

1.金属氧化物类型：其特点是金属氧化物的...

抗蚀性（Anti-etching; Et...

进入2026年，行业涨价趋势延续，全球*...

157 nm F2激发态光刻工艺有可能成...

5.其他：（1）树枝状聚合物体系：由树枝...

1890年。德国人格林（Green）和格...

在乙烯基的α-位置上具有甲基或其他原子团...

（4）酚醛树脂体系：线性酚醛树脂**早是...

由于未经感光的光致抗蚀剂仍然保持它在紫外...