杭州大楼气体管道设计服务

高纯气体管路的设计要点：1.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。2.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。3.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。杭州大楼气体管道设计服务

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。洁净室气体管道设计服务商可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

不同管件产生的压力损失可以通过折算成等效直管长度（米）进行计算。除了上述公式外，也可以使用列线图（见下图）来匹配较合适的管径进行管网管路总长的计算。其中流量、压力、允许压降和管道长度是使用列线图的必要数据。然后为安装要选择较接近、较大直径的标准管道。对管网中各个配件和管道组件折算为等效直管长度，然后将对应的管路损失折算为直管中的压力损失。将这些“额外”的管道长度增加到初始直管的长度中，然后通过管网允许压损再反算管网所需的管道尺寸。在大型的管网中，管网中各个区块的管道（供气主管、支管、连接管）应该单独计算。

外购气体钢瓶供气，外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中，气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。为确保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调压装置；4－气体纯化装置； 5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点，其他：实验室气体管路系统规范，实验室集中供气工程要求。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

高纯气体管路设计要点：01设备分布情况，根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长；宜采用不封闭的环形管路，在末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。02减少管路“死区”，管路中不应设有盲管，减少不流动气体的“死区”，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。杭州大楼气体管道设计服务

放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。杭州大楼气体管道设计服务

医用气体常用参数：常用气体管径的选用，氧气管径的计算式：式中：d=0.0188d—— 管道内径（m），v—— 气体流速（m/s），Q—— 气体在工作状态下的实际体积流量（m3/h ），Q=Q2—— 自由状态下的体积流量（m3/h ），t —— 气体工作状态时温度，p —— 气体工作状态时的尽对压力（MPa），氧气管道中流速较大不应超过下表中数值：氧气工作压力 （MPa） 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10，氧气较大流速 （m/s） 20以下 15 12 10 8 4，真空管道管径：，由于负压管道不易方便精确计算，可参考下表经验数据选取：，吸引管道管径估算表，管径 （mm） 15 20 25 32 40 50，吸引嘴数 （个） 12 21 24 62 84 140。杭州大楼气体管道设计服务