企业商机
气体管道设计基本参数
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  • VIGOUR,HG-LOK
  • 型号
  • 齐全
气体管道设计企业商机

近20年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,已不亚于对纯度和干燥度的要求,凡工艺气体,无一不对其中的粒子提出限制。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况(如温度、压力等)都不完全一致,所以,如何确定高纯气体的“三度”(纯度、干燥度、洁净度),还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制,我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出,“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm气体。”气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。上海药厂气体管道设计哪家好

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气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体,如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5M;交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。镇江厂房气体管道设计在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体。

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高纯气体管路设计要点:01输送系统“分等级”,对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”,为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度,在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。

管网管道选型因为压缩空气输送过程中空气与管壁的摩擦而产生压力损失,所以空压机的出口压力与终端用气压力不等同。此外,输送管网中的阀门和弯头会造成压缩空气的节流效应和和流向的变化而产生压力损失。由此产生的压力损失会转化为热量,将其转化为直管的压降可以用以下公式进行计算:压降 (bar); qc = 空气流量, FAD (l/s);d = 管道内径 (mm);l = 管道长度 (m);p = 初始压力(绝压) bar(a)在计算压缩空气网络的不同管路的压损时,下表的值可作为允许的压降的参考值:管网的不同区块所需的管道长度(供气主管、支管、连接管)如何确定呢?设计供气管管网的比例图就是很好的办法。其中管网中的阀门、弯管、连接处等的等效长度可用下表进行折算。采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

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气体管道敷设要求 :1、输送干燥气体的管道宜水平安装,输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设,其间距不得小于0.25m,氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.50m;交叉敷设时,其间距不应小于0.25m。分层敷设时,氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地,不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。 应有可靠的泄漏检测系统和应急预案,确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。扬州铝合金气体管道设计

高纯气体管道应采用承插焊接。上海药厂气体管道设计哪家好

当供气系统有若干台压缩机组成的时候,储气罐的大小需要基于排量较大的压缩机排量进行选型。这些管路辅件的尺寸选择对整个官网压损有非常大的影响,因为通常系统压损大正是因为辅件选型不当而导致的。下面这个公式可以用于计算供气管网系统在指定允许压损时管路较长尺寸:管网系统总体管路长度 (m); ∆p = 管网系统指定允许的压损 (bar); p = 进气压力(绝压 (bar(a)); qc = 空压机自由排气流量 (l/s); d = 管网管道直径 (mm)供气管网较好采用围绕终端用气点的闭式环形管网设计,然后通过供气支管从环形主管道送往各个用气点。这样的设计实现了单一供气的目的,同时避免了严重的间歇性用气问题,因为气源可以同时从两个方向向用气点供气。除了较大用气点位于离空压机较远的情况,所有供气系统都应该采用此设计。当上述情况出现时,应该用单独的供气管道向较远端的较大用气点供气。上海药厂气体管道设计哪家好

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