真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得明显技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为较具发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保等领域。磁控溅射一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀。贵州真空镀膜平台
首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色卡片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都比较需要。增透膜则大量用于照相和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都比较需要。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器,约瑟夫逊器件、电荷耦合器件(CCD)也都甬道各种薄膜。贵州真空镀膜平台真空镀膜的操作规程:平时酸洗槽盆应加盖。
多弧离子真空镀膜机镀膜膜层不易脱落。由于离子轰击基体产生的溅射作用,使基体受到清洗,启动及加热,既可以去除基体表面吸附的气体和污染层,也可以去除基体表面的氧化物。离子轰击时铲射的加热和缺陷可引起基体的增强扩散效应。多弧离子真空镀膜设备镀膜既提高了基体表面层组织结晶性能,也提供了合金相形成的条件。多弧离子真空镀膜机由于产生良好的绕射性。多弧离子真空镀膜设备镀膜在压力较高的情况下(≧1Pa)被电离的蒸汽的离子或分子在到达基体前的路程上将会遇到气体分子的多次碰撞。多弧离子真空镀膜机镀膜还会在电厂的作用下沉积在具有负电压基体表面的任意位置上。因此,这一点蒸发镀是无法达到的。
溅射化合物膜可用反应溅射法,即将反应气体(O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上,绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地,一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后,高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子,绝缘靶表面带负电,在达到动态平衡时,靶处于负的偏置电位,从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。真空镀膜机的优点:可采用屏蔽式进行部分镀铝,以获得任意图案或透明窗口,能看到内装物。
装饰领域的真空镀膜机,一部分采用的是真空蒸发镀膜法,真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基材表面沉积的过程。是在真空室中加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流入射到固体(称为衬底或基片)表面凝结形成固态薄膜。关于蒸发源的形状可根据蒸发材料的性质,结合考虑与蒸发材料的湿润性,制作成不同的形式和选用不同的蒸发源物质。真空蒸镀有三层:底漆层(6~12um)+镀膜层(1~2um)+面漆层(10um)装配前处理。将基材表面杂质、灰尘等用布擦拭干净,提高喷射良率。将基材装配在专属挂具上,用以固定于流水线上,并按设计要求实现外观和功能的遮镀。真空镀膜的操作规程:工作完毕应断电、断水。甘肃低压气相沉积真空镀膜工艺
真空镀膜机在集成电路制造中的应用:PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。贵州真空镀膜平台
真空镀膜的功能是多方面的,这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说,真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果,在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能,提供优异的电磁屏蔽和导电效果。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法较早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。贵州真空镀膜平台