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电子束曝光的成本主要受设备性能、加工复杂度、晶圆尺寸及批量等影响。生物芯片的设计常包含微纳米级的复杂结构,要求曝光设备具备较高的分辨率和稳定性,这直接关系到加工的难度和时间。设备型号、电子枪类型和曝光...