真空镀膜机阻止EMI的环保新工艺——连续式磁控溅射塑料金属化工程塑料以优于金属的可加工性,为各类电子产品提供了更高的设计灵活性与生产力,已经成为当代电子设备外壳的主要材料。塑料是绝缘体,但是电磁干扰波(EMI)却能自由地穿透没有加屏蔽层的塑料,当电子装置,特别是数字电路在运作时,所产生的EMI会干扰其它装置的正常运行。因此,必须对电子设备的塑料外壳加设抗EMI的屏蔽层。目前常用的工艺为喷涂导电漆、化学电镀、真空蒸发。化学气相沉积技术是借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法。贵州低压气相沉积真空镀膜技术
溅射化合物膜可用反应溅射法,即将反应气体(O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上,绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地,一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后,高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子,绝缘靶表面带负电,在达到动态平衡时,靶处于负的偏置电位,从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。中山贵金属真空镀膜服务化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体。
首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色卡片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都比较需要。增透膜则大量用于照相和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都比较需要。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器,约瑟夫逊器件、电荷耦合器件(CCD)也都甬道各种薄膜。
许多人配眼镜时,要求在镜片上加膜。光学镀膜机给镜片加膜主要有两种:一种是抗反射膜,即通过在镜片前表面镀上多层不同折射率与不同厚度的透明材料,利用光干涉的原理来减少镜片表面多余的反射光。镜片加了抗反射膜后,对光线的通透性会增加,佩戴者感觉眩光减少了,视物也更加真切和明亮。另一种是加硬膜,主要用于树脂镜片。它一般加在镜片前表面,使树脂镜片抗磨能力增强,同时光的通透性也有所加强。使用者在清洁加硬膜镜片时,应先用清水将镜片前后表面洗净,再用干净软布吸干,注意不要在镜片干燥时擦拭。如果普通的镜片可以看得比较清楚,就不需要加膜,如果要加,树脂镜片可以加抗反射膜,也可以加硬膜,玻璃镜片一般只加抗反射膜。利用PECVD生长的氮化硅薄膜均匀性和重复性好,可大面积成膜。
磁控溅射的优势在于可根据靶材的性质来选择使用不同的靶qiang进行溅射,靶qiang分为射频靶(RF)、直流靶(DC)、直流脉冲靶(DC Pluse)。其中射频靶主要用于导电性较差的氧化物、陶瓷等介质膜的溅射,也可以进行常规金属材料溅射。直流靶只能用于导电性较好的金属材料,而直流脉冲靶介于二者之间,可溅射硅、锗等半导体材料。利用PECVD生长的氮化硅薄膜具有以下优点:1.均匀性和重复性好,可大面积成膜2.可在低温下成膜3.台阶覆盖性比较好 4.薄膜成分和厚度容易控制 5.应用范围广,设备简单,易于产业化。真空镀膜的操作规程:在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。河南反射溅射真空镀膜外协
PECVD当中沉积速率过快,会导致氧化硅薄膜速率过快,说明薄膜质量比较差。贵州低压气相沉积真空镀膜技术
真空镀膜的操作规程:1.在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。3.在用电子头镀膜时,应在钟罩周围上铝板。观察窗的玻璃较好用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。8.工作完毕应断电、断水。贵州低压气相沉积真空镀膜技术
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