真空镀膜机镀层之间的结合力主要与以下因素有关:(1)真空镀膜机底镀层的种类与性质。一般认为,铜层与多种金属都具有好的结合力。含铁量高达30%左右的高铁镍铁合金,在酸铜液中也会产生置换铜层,故不能用于光亮酸铜打底。(2)真空镀膜机底镀层的光亮性。真空镀膜镀层越是光亮,与其他镀层的附着力可能越差。(3)真空镀膜机底镀层表面的清洁性。典型的是镀硫酸盐光亮酸铜后,往往形成有机膜钝化层,应作脱膜处理。不要轻信声称镀后无需除膜的酸铜光亮剂的宣传,而在工艺流程设计时不考虑除膜工序。因为即使新配液时可以不脱膜,随着亮铜液中有机杂质的积累或加入的光亮剂比例失调时,也会产生憎水的有机膜层。众所周知,聚乙二醇几乎是所有酸铜光亮剂中不可缺少的组分,而镀层中聚乙二醇的夹附量越大,越容易生成憎水膜层。利用PECVD生长的氮化硅薄膜均匀性和重复性好,可大面积成膜。广州贵金属真空镀膜
真空镀膜机镀铝薄膜与铝箔复合材料相比具有以下特点:(1)较大减少了用铝量,节省了能源和材料,降低了成本,复合用铝箔厚度多为7~gpm,而镀铝薄膜的铝层厚度约为0.05n左右,其耗铝量约为铝箔的1/140~1/180,且生产速度可高达450m/min。(2)具有优良的耐折性和良好的韧性,比较少出现小孔和裂口,无揉曲龟裂现象,因此对气体、水蒸汽、气味、光线等的阻隔性提高。(3)具有较佳的金属光泽,光反射率可达97%;且可以通过涂料处理形成彩色膜,其装潢效果是铝箔所不及的。(4)可采用屏蔽式进行部分镀铝,以获得任意图案或透明窗口,能看到内装物。(5)真空镀膜机镀铝层导电性能好,能消除静电效应;其封口性能好,尤其包装粉末状产品时,不会污染封口部分,保证了包装的密封性能。(6)对印刷、复合等后加工具有良好的适应性。辽宁贵金属真空镀膜公司真空镀膜技术一般分为两大类,即物理的气相沉积技术和化学气相沉积技术。
LPCVD工艺在衬底表面淀积一层均匀的介质薄膜,在微纳加工当中用于结构层材料、xi牲层、绝缘层、掩模材料,LPCVD工艺淀积的材料有多晶硅、氮化硅、磷硅玻璃。不同的材料淀积采用不同的气体。磁控溅射方向性要优于电子束蒸发,但薄膜质量,表面粗糙度等方面不如电子束蒸发。但磁控溅射可用于多种材料,适用性普遍,电子束蒸发则只能用于金属材料蒸镀,且高熔点金属,如W,Mo等的蒸镀较为困难。所以磁控溅射常用于新型氧化物,陶瓷材料的镀膜,电子束则用于对薄膜质量较高的金属材料。
磁控溅射一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glowdischarge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。PECVD等离子增强化学气相沉积,等离子体是物质分子热运动加剧,相互间的碰撞会导致气体分子产生电离,物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。PECVD,等离子体化学气相沉积法是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离。
PECVD生长氧化硅薄膜是一个比较复杂的过程,薄膜的沉积速率主要受到反应气体比例、RF功率、反应室压力、基片生长温度等。在一定范围内,提高硅烷与笑气的比例,可提供氧化硅的沉积速率。在RF功率较低的时候,提升RF功率可提升薄膜的沉积速率,当RF增加到一定值后,沉积速率随RF增大而减少,然后趋于饱和。在一定的气体总量条件下,沉积速率随腔体压力增大而增大。PECVD在低温范围内(200-350℃),沉积速率会随着基片温度的升高而略微下降,但不是太明显。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。福建等离子体增强气相沉积真空镀膜加工厂
真空镀膜机类金刚石薄膜通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜。广州贵金属真空镀膜
真空镀膜机EMI溅射镀膜具有以下特点:磁控溅射是一种高速率低基片温升的成膜技术。1.被溅射基材几无限制(PC、ABS、PC+ABS、陶瓷、、玻璃等)2.膜质致密均匀、膜厚容易控制。3.溅射粒子的初始动能大,溅射薄膜的结合力强(D3359-93方法测试)。4.溅射薄膜的致密度高、小孔少、品质因数高。5.在反应气氛中可以直接获得化合膜。6.溅射时基片的温升低。7.在相同的工艺条件、溅射功率下,溅射速率几乎不变,故可以用时间来估算沉积的膜厚。8.价格低。9.真空溅射加工的金属薄膜厚度只有0.5~2μm,一定不影响装配。10.真空溅射是彻底的环保制程,一定环保无污染。广州贵金属真空镀膜
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