光刻胶所属的微电子化学品是电子行业与化工行业交叉的领域,是典型的技术密集行业。从事微电子化学品业务需要具备与电子产业前沿发展相匹配的关键生产技术,如混配技术、分离技术、纯化技术以及与生产过程相配套的分析检验技术、环境处理与监测技术等。同时,下游电子产业多样化的使用场景要求微电子化学品生产企业有较强的配套能力,以及时研发和改进产品工艺来满足客户的个性化需求。光刻胶的生产工艺主要过程是将感光材料、树脂、溶剂等主要原料在恒温恒湿 1000 级的黄光区洁净房进行混合,在氮气气体保护下充分搅拌,使其充分混合形成均相液体,经过多次过滤,并通过中间过程控制和检验,使其达到工艺技术和质量要求,较后做产品检验,合格后在氮气气体保护下包装、打标、入库。电子束入射到抗蚀剂及基片上时,电子会与固体材料的原子发生“碰撞”产生电子散射现象。广州PECVD真空镀膜
光刻胶按应用领域分类,可分为 PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶。全球市场上不同种类光刻胶的市场结构较为均衡。智研咨询的数据还显示,受益于半导体、显示面板、PCB产业东移的趋势,自 2011年至今,光刻胶中国本土供应规模年华增长率达到11%,高于全球平均 5%的增速。2019年中国光刻胶市场本土企业销售规模约70亿元,全球占比约 10%,发展空间巨大。目前,中国本土光刻胶以PCB用光刻胶为主,平板显示、半导体用光刻胶供应量占比极低。曝光光刻工艺电子束曝光技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术。
日本能把持光刻胶这么多年背后的深层次逻辑是什么?究其原因,主要是技术和市场两大壁垒过高导致的。首先,光刻胶作为半导体产业的基础材料,扮演着极其重要的角色,甚至可以和光刻机相媲美,但市场规模却很小。2019年的全球光刻胶市场的规模才90亿美元,不及一家大型IC设计企业的年营收,行业成长空间有限,自然进入的企业就少。另一方面,光刻胶又是一个具有极高技术壁垒的产业。由于不同的客户会有不同的应用需求,同一个客户也有不同的光刻应用需求。导致光刻胶的种类极其繁杂,必须通过调整光刻胶的配方,满足差异化应用需求,这也是光刻胶制造商较中心的技术。
边缘的光刻胶一般涂布不均匀,不能得到很好的图形,而且容易发生剥离(Peeling)而影响其它部分的图形。所以需要去除。方法:a、化学的方法(Chemical EBR)。软烘后,用PGMEA或EGMEA去边溶剂,喷出少量在正反面边缘处,并小心控制不要到达光刻胶有效区域;b、光学方法(Optical EBR)。即硅片边缘曝光(WEE,Wafer Edge Exposure)。在完成图形的曝光后,用激光曝光硅片边缘,然后在显影或特殊溶剂中溶解;对准方法:a、预对准,通过硅片上的notch或者flat进行激光自动对准;b、通过对准标志(Align Mark),位于切割槽(Scribe Line)上。早在80年代,极紫外光刻技术就已经开始理论的研究和初步的实验。
光刻胶若性能不达标会对芯片成品率造成重大影响。目前中国光刻胶国产化水平严重不足,重点技术差距在半导体光刻胶领域,有 2-3 代差距,随着下游半导体行业、LED及平板显示行业的快速发展,未来国内光刻胶产品国产化替代空间巨大。同时,国内光刻胶企业积极抓住中国晶圆制造扩产的百年机遇,发展光刻胶业务,力争早日追上国际先进水平,打进国内新建晶圆厂的供应链。光刻胶的国产化公关正在各方面展开,在面板屏显光刻胶领域,中国已经出现了一批有竞争力的本土企业。在半导体和面板光刻胶领域,尽管国产光刻胶距离国际先进水平仍然有差距,但是在政策的支持和自身的不懈努力之下,中国已经有一批光刻胶企业陆续实现了技术突破。ArF浸没式光刻技术在45nm节点上是大生产的主流技术。广州PECVD真空镀膜
边缘的光刻胶一般涂布不均匀,不能得到很好的图形,而且容易发生剥离而影响其它部分的图形。广州PECVD真空镀膜
近年来,国产面板得到了突破性发展,但是很多上游原材料配套不足,供应链都在海外,导致成本高企,所以这也给了国产光刻胶一个机会。再加上国内晶圆代工近两年取得较大的进步,对国产光刻胶需求也在明显上升,这些都为国产光刻胶发展创造了良好的条件。另一个层面来讲,国产光刻胶需要**自主。虽然光刻胶的市场不大,但是有些产业的存在不仅*是能否赚钱的问题,而是出于战略需求。回顾去年日本断供韩国光刻胶事件,强大如韩国,依然被一个小小的光刻胶所卡死。所以应该有国产光刻胶的存在,保证自身的战略安全,这也是较近发改委为何会发文,要加快光刻胶、大尺寸硅片等领域实现突破的原因所在。广州PECVD真空镀膜
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