惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。

柔性机械臂作为简单的非平凡多柔体系统，被用作多柔体系统的研究模型。惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好

背景技术：

晶圆的生产与制作属极为精密的加工技术，其通常需借助晶圆传输装置来进行运输传递等作业。例如，准备对晶圆进行刻蚀加工时，需要利用晶圆传输装置将晶舟内的待刻蚀晶圆传输至刻蚀机台内。

现有一种晶圆传输装置包括机械手臂，该机械手臂的表面设有卡槽，晶圆用于放置在该卡槽内，以防止机械手臂在传送晶圆时发生晶圆平移(即晶圆相对机械手臂运动)。然而，现有机械手臂易出现碰撞损伤，另外，机械手臂的传送晶圆效率较低，影响了生产效率。

惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好与刚性机械臂相比较，柔性机械臂具有结构轻、载重/自重比高等特性。

工业机械臂不应该称之为智能制造的未来，智能制造的概念与涵盖的范围不是工业机械臂这一种工业产品能够一言以蔽之的。高精度、多传感的三轴与五轴加工就不是智能制造了吗？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自适应、多传感信息融合等，将现有的制造水平提升到更高的层次，工业机械臂只是时下研究的热点，工业机械臂在未来智能场景中的角色目前还未能给出定论。简单的搬运与码垛，根本无法称之为智能制造。工业机械臂距离高精度的智能制造还有很长一段路要走，而且这条路是否能走得通，还是一个问号呢，目前各国的研究人员都比较看好这个方向，普遍认为机械臂是实现智能制造的很好的载体，可以实现五轴数控无法实现的大操作空间与灵活性。

研究背景近年来，随着机器人技术的发展，应用高速度、高精度、 高负载自重比的机器人结构受到工业和航空航天领域的关注。由于运动过程中关节和连杆的柔性效应的增加，使结构发生变形从而使任务执行的精度降低。所以，机器人机械臂结构柔性特征必须予以考虑，实现柔性机械臂高精度有效控制也必须考虑系统动力学特性。柔性机械臂是一个非常复杂的动力学系统，其动力学方程具有非线性, 强耦合, 实变等特点。而进行柔性臂动力学问题的研究，其模型的建立是极其重要的。柔性机械臂不仅是一个刚柔耦合的非线性系统，而且也是系统动力学特性与控制特性相互耦合即机电耦合的非线性系统。动力学建模的目的是为控制系统描述及控制器设计提供依据。一般控制系统的描述( 包括时域的状态空间描述和频域的传递函数描述) 与传感器/ 执行器的定位，从执行器到传感器的信息传递以及机械臂的动力学特性密切相关。在工业制造、医学***、娱乐服务、***、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影。

    区熔法分为两种：水平区熔法和立式悬浮区熔法。前者主要用于锗、GaAs等材料的提纯和单晶生长；后者主要用于硅。为什么有横着和竖着长的不同捏？这是由于硅的熔点高，化学性能活泼，容易受到异物的玷污，所以难以找到适合的器皿来盛方，自然水平区熔法不能用在硅的生长上啦。区熔法与直拉法比较大的不同之处在于：区熔法一般不使用坩锅，引入的杂质更少，生长的材料杂质含量也就更少。总而言之，单晶硅棒是圆柱形的，使用这种方法得到的单晶硅圆片自然也是圆形的了。就是下图这个样的——知道是两头的尖尖是如何造成的吗？Bingo，图左的尖尖是籽晶，图右的尖尖是晶棒长到***，从熔融态里出来后，由于复杂的流体力学原理，以及熔融态的硅迅速凝固而导致的。 柔性机械臂是一个非常复杂的动力学系统，其动力学方程具有非线性、强耦合、实变等特点。惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好

机械手的运动速度一般是根据产品的生产节拍要求来决定的，但不宜盲目追求高速度。惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好

    为圆柱的单晶硅晶锭更便于运输，有效的避免了在运输途中磕碰损坏，边角碎掉什么的造成材料损耗。而且，请仔细回想一下，你看到的晶圆是完全的圆的吗？非也！在硅棒做出来后，在200mm以下的硅棒上是切割一个平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，为了减少浪费，只裁剪个圆形小口，叫做Notch。***再进行切片，得到的晶圆如下。那么，这个小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。这样每片晶圆的晶向就能确定，在加工的时候也不容易出错了。所以，为什么“晶圆”没有方的？？？答案很简单，是一个历史遗留的问题，也是一个技术限制的问题。而且，真的没有必要做出来正方的硅片呢～。 惠州原装晶圆运送机械吸臂哪个牌子好

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