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广东省科学院半导体研究所微纳加工平台，面向半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、生物芯片等前沿领域，致力于打造公益性、开放性、支撑性枢纽中心。平台拥有半导体制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条实验室研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-...
产品中心
本公司从事微纳加工技术服务|真空镀膜技术服务|紫外光刻技术服务|材料刻蚀技术服务的销售
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