2026年3月，中微公司在SEMICON China 2026期间宣布推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova™和高选择性刻蚀机Primo Domingo™，进一步丰富了其刻蚀设备产品组合。 [28]高密度等离子体刻蚀机用于微电子、光电子器件的刻蚀 [10]。原子层蚀刻设备（ALE）是一种可精细控制蚀刻深度至原子... 【查看详情】

刻蚀机在集成电路制造中用于刻蚀晶体管的栅极、源极和漏极等结构 [27]。在存储器制造中，如3D NAND，刻蚀机用于形成存储单元的高深宽比结构 [16] [25]。在先进封装领域，刻蚀机应用于硅通孔（TSV）、2.5D/3D封装等工艺 [19] [26]。刻蚀机还广泛应用于微机电系统（MEMS）、功率器件、图像传感器、LED、显示面板等领... 【查看详情】

着功能的复杂，不只结构变得更繁复，技术要求也越来越高。与建筑物**不一样的地方，除了尺寸外，就是建筑物是一栋一栋地盖，半导体技术则是在同一片芯片或同一批生产过程中，同时制作数百万个到数亿个组件，而且要求一模一样。因此大量生产可说是半导体工业的比较大特色 。把组件做得越小，芯片上能制造出来的 IC 数也就越多。尽管每片芯片的制作成本会因技术... 【查看详情】

1990年，英国的L.T.坎汉***在室温下观测到多孔硅的可见光光致发光，使人们看到全硅光电子集成技术的新曙光。纳米微粒，纳米固体与纳米薄膜材料开辟了材料研究的新领域。这类包含有大量表面或界面原子的新型功能材料具有许多独特的物理、化学和力学性能，被誉为21世纪**有前途的材料。 [21]2019年10月，一国际科研团队称与传统霍尔测量中*... 【查看详情】

尽管价格不菲，国际上砷化镓半导体的年销售额仍在10亿美元以上。在“十五”计划中，我国将实现该产品的产业化，以占据国际市场。中国化工企业在工业研发投资方面表现活跃。 [8]主流的工业化砷化镓生长工艺包括：直拉法（Cz法）、水平布里其曼法（HB）、垂直布里其曼法（VB法）以及垂直梯度凝固法（VGF法）等。以上方法各有优劣，除了实际工艺制备的方... 【查看详情】

市场趋势市场规模持续增长2024年全球半导体测试耗材市场规模达260亿元，预计2029年将增至347亿元，年复合增长率（CAGR）为5.8%。驱动因素：先进制程迭代（如3nm/2nm）、AI/HPC需求增长、半导体产能扩张。技术升级推动耗材迭代光刻胶：从i-line到KrF、ArF，再到EUV光刻胶，分辨率要求不断提升。电子特气：从普通气... 【查看详情】

常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等。半导体按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。 [25]半导体的性质包括光学性质和运输性质等。 [21]半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。2026年1月17日消息，西安电子科技大学已成功将粗糙的“岛状”界面转变为... 【查看详情】

热传导半导体中存在温度梯度的话，热能将由半导体的高温部分传导到低温部分，单位时间内通过单位面积的热量与温度的梯度固体的热传导由传导载流子和晶格振动（声子运动）的贡献组成。对于非简并半导体，晶格振动对热导率的贡献比载流子的贡献大几个数量级。 [35]压阻效应“压阻效应”是指当对半导体材料施加应力作用时，半导体材料的电阻率将随着应力的变化而发... 【查看详情】

电子特气作用：参与蚀刻、掺杂、薄膜沉积等环节，如氯气用于蚀刻，磷烷/砷烷用于掺杂。关键性：纯度需达9N（99.9999999%）以上，杂质控制直接影响芯片良率。国产替代：华特气体、金宏气体等企业已实现部分电子特气国产化，但**气体如高纯三氟化氮仍依赖进口。CMP抛光材料作用：通过化学机械协同作用实现晶圆表面平坦化，确保后续制程精度。关键性... 【查看详情】

半导体（semiconductor）指室温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 [24]半导体材料导电性能可通过掺杂来改变，掺杂进入本质半导体的杂质浓度与极性皆会对半导体的导电特性产生很大影响。掺入施主杂质的半导体，导电载流子主要是导带中的电子，掺入受主杂质的半导体，属空穴型导电。 [25]半导体材料的发现可以追溯到19世纪。1833年... 【查看详情】

2020年12月 [1]：1.宽泛量程：支持1500安培大电流与10千伏高压测量2.复合测试能力：可在1200伏高偏置电压下稳定输出500毫安电流微欧姆级电阻量测精度达μΩ级别次微微安培级电流检测达sub-pA量级3.功率输出特性：高电流工作模组峰值功率达22.5千瓦高电压工作模组功率输出为900瓦在测量精度方面，高性能源测量单元（SMU... 【查看详情】

半导体设备零部件是指在半导体制造过程中使用的各种设备和组件。这些零部件在半导体的生产、测试和封装等环节中起着至关重要的作用。以下是一些常见的半导体设备零部件：光刻机（Lithography Equipment）：用于将电路图案转移到硅片上的设备。刻蚀机（Etching Equipment）：用于去除不需要的材料，以形成所需的电路图案。沉积... 【查看详情】