安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科承接的半导体EPC总包项目区分标准化撬装方案与全定制化方案，标准化方案针对行业通用电子特气、湿化学品产线，固化成熟工艺布局、设备型号、自控逻辑，交付周期短、造价可控，适合通用型量产项目；全定制化方案针对新型半导体前驱体、特种电子化学品，根据客户独有工艺路线从零开展工艺模拟、设备定制、安全设计，适配小众、高活性特殊物料工况。标准化撬装模块具备互换性，客户后期扩产可直接采购同款标准化撬块对接原有系统；定制化项目全部依据客户专属试验数据开发，工艺、设备不套用通用模板，同步完成专属HAZOP安全分析、材质腐蚀试验，保障适配特殊物料的腐蚀、反应特性。两种方案均完整覆盖EPC设计、制造、施工、调试全流程，只工艺标准化程度存在区分，客户可根据自身产品类型灵活选择。针对金属有机源瓶充装生产线 EPC 总包，设计密闭自动化灌装工位，维持灌装区域高洁净等级环境。安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单

半导体产线EPC总包项目环保配套工程由艾生科同步统筹设计施工，包含生产废水处理、工艺废气回收净化、固体危废暂存三大板块，所有环保装置工艺贴合半导体物料特性，确保排放指标符合地方环保管控标准。生产清洗废水采用多级沉淀、中和、过滤工艺，去除水中金属离子、有机溶剂，达标后循环回用或排放；工艺废气区分可回收、不可回收两类，可回收物料冷凝回流生产系统，有毒有害废气经吸附、中和、催化分解处理后排放；固体危废配套密闭暂存撬装，分类收集不同类型反应残渣、废过滤芯，配套防渗、泄漏收集结构。整套环保装置自控系统与主产线互通，主装置启停同步调节环保设备负荷，EPC交付时同步编制环保工艺技术资料，协助客户完成环评验收、排污许可相关材料准备。安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单半导体 EPC 项目配套完成三维 BIM 建模与管线碰撞校核，规避现场安装阶段管路排布所产生的问题。

半导体实验室小型精馏EPC装置适配高校、企业研发新品纯化试验，整套装置采用玻璃视镜观察段搭配不锈钢高纯主体，兼顾可视化试验观察与超高纯洁净要求，设备容积从5L至200L灵活定制，配套分段温控、真空调节、在线取样接口，方便研发人员实时观测分离效果、采集样品检测纯度。小型EPC装置配套简易DCS控制系统，可手动精细调节回流比、加热温度、真空度，自动记录试验参数；撬装底座带移动滚轮，可灵活放置于洁净实验室内部，无需固定土建基础，安装便捷。整套总包服务包含工艺模拟计算、小型设备加工、洁净管路装配、系统吹扫调试、试验操作指导，交付周期短，设备占地面积小，研发试验完成后可直接依托试验数据开展工业化EPC产线放大设计，打通研发到量产完整工程链路。

艾生科半导体 EPC 工程具备完整资质支撑，持有一类、二类中低压压力容器设计制造资质、GC2 压力管道安装资质、石油化工工程施工总承包贰级资质，可单独承接半导体材料厂区全套工程总包工作，无需外包重要设备制造与压力管道施工环节。企业配套万级、千级分层洁净生产车间，总面积超万平，划分高纯压力容器加工区、撬装装置集成区、不锈钢表面精密处理区，所有半导体设备加工、组装作业均在控尘、控油污环境下开展。承接 EPC 项目时，内部组建专属项目小组，包含工艺工程师、设备结构设计师、自控仪表工程师、现场施工管理、安全评价人员，从前期 HAZOP 风险分析到后期现场开车全程专人跟进，针对半导体高危化学品工况制定分级安全管控方案，规避泄漏、超温超压等生产隐患。半导体 EPC 总包可同步配套建设原料仓储、危废暂存间，统一规划厂区化学品安全存储区域布局。

半导体前驱体材料产线 EPC 总包是艾生科主要业务板块之一，服务对象包含 MO 源、CVD/ALD 前驱体生产企业，整套工程服务打通工艺研发、装备制造、模块化集成、现场安装调试全链条。多数前驱体物料具备易氧化、高活性、微量杂质影响芯片良率的特性，因此在 EPC 设计阶段会重点强化全系统密闭隔绝空气结构，所有管路、储罐、源瓶内表面统一执行不锈钢电解抛光工序，表面粗糙度指标满足半导体超高纯工况要求。项目采用工厂撬装预制模式，将精馏单元、气化输送单元、自动充装单元集成至标准撬座，出厂前完成水压、气密性、洁净度全套检测，运至客户厂区只需对接公用工程管线即可快速完成组装，大幅缩短现场施工周期，同时降低现场洁净施工污染风险。项目调试阶段分空载、半负荷、满负荷三段逐步测试半导体 EPC 整套系统，平稳验证长期运行稳定性。安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科半导体 EPC 施工环节严格管控洁净标准，高纯管路采用电化学抛光处理，降低金属杂质析出风险。安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科半导体EPC总包调试开车服务分为工厂预调试与现场联动调试两个阶段，设备在自有集成车间完成单机、单撬预调试，验证泵、阀门、仪表、自控动作无故障，完成洁净吹扫、气密性检测后再发往客户厂区；现场完成撬块对接、公用工程接驳后，开展全线联动调试，先使用惰性气体全系统置换检漏，再逐步投入模拟物料试运行，逐步优化工艺参数直至产出合格半导体级产品。调试期间安排工艺、自控、设备工程师驻场，同步对客户操作人员开展实操培训，内容包含设备启停、参数调节、日常巡检、杂质取样检测、简单故障处置、安全应急操作，培训完成后组织实操考核，考核通过方可单独上岗。项目稳定连续运行72小时无异常后完成整体竣工验收，交付后提供定期远程技术回访，出现工艺波动及时提供优化方案。安徽设计施工半导体-EPC工程总包项目清单

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