内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科半导体EPC项目洁净车间配套工程同步纳入总包范围，针对万级、千级不同洁净等级需求，统筹车间围护结构、净化空调、新风过滤、洁净地面、更衣缓冲区域全套设计施工。净化空调系统采用多级初效、中效、高效过滤，持续控制车间粉尘颗粒指标，洁净地面选用防静电耐腐蚀环氧材质，配套单独更衣、风淋缓冲间，区分洁净区、非洁净区人员通行路线。高纯撬装装置安装于洁净车间内部，车间温湿度、氧含量在线监测数据接入DCS系统，洁净度超标时自动提升新风循环风量。整套洁净车间工程与生产撬装设备同步施工、同步验收，竣工后第三方机构出具洁净度检测报告，满足半导体超高纯生产环境管控要求，无需客户单独对接净化工程服务商。半导体 EPC 装置内部管路统一采用低析出 EP 不锈钢管材，内壁粗糙度控制在工艺限定标准范围内。内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科半导体EPC总包采购环节实行分级供应商管控机制，主要高纯压力容器、特种抛光管件、高精度防爆阀门优先选用具备半导体行业供货经验的国产厂商，关键仪表、在线纯度检测设备根据工艺需求匹配合规品牌，所有采购物料进场前完成材质复检、洁净度抽检，不合格物料直接拒收，杜绝劣质部件混入高纯系统。企业内部设立采购技术审核岗，针对每台设备出具详细技术规格书，明确不锈钢材质标准、表面处理等级、承压参数、洁净度要求，供应商供货前需提交样品完成洁净度、杂质析出测试。完整EPC项目采购清单同步录入项目档案，设备材质证明、出厂检测报告、零部件合格证分类归档，竣工后全套资料移交客户，满足半导体工厂供应链溯源、第三方审核要求，同时国产化采购方案可有效控制项目整体建设成本，缩短设备交付周期。内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目直销项目调试阶段分空载、半负荷、满负荷三段逐步测试半导体 EPC 整套系统，平稳验证长期运行稳定性。

艾生科针对半导体电子特气产业化打造一体化 EPC 总包交付模式，区别于传统只做设备与施工的工程服务商，企业会在客户项目立项阶段提前介入，同步对接实验室小试数据完成工艺转化落地。针对氟类、硅基等主流电子特气项目，整套总包链路覆盖反应合成、深度分离提纯、高纯充装、尾气无害化处理全流程，交付标准为完整交钥匙工程。项目前期会使用 PROⅡ 化工模拟软件完成物料衡算、热量衡算，输出完整工艺计算书，再开展三维厂区布局、撬装模块排布设计，所有高纯设备均在自有洁净车间完成加工、电化学抛光、脱脂钝化处理，严格管控金属杂质析出量，整套系统配套 DCS 集中控制系统，实现工艺参数实时采集、历史曲线追溯与安全联锁自动触发，适配年产百吨级电子特气量产产线建设需求。

半导体中试放大装置 EPC 总包是艾生科面向新材料研发企业推出的轻量化工程服务，适配研发企业从小试工艺到百升级、千升级中试平台落地需求，整套工程规模灵活可调，兼顾试验多变性与量产工艺参考性。项目前期依托化工仿真软件搭建数字化模拟平台，复现客户实验室反应数据，测算放大后传热、传质变化，优化设备尺寸、物料配比、操作参数，规避放大效应带来的产品纯度下降、副产物增多问题。中试 EPC 装置同样采用小型撬装模块化设计，预留多组工艺接口，可快速更换精馏、萃取、吸附等纯化单元，适配多款半导体材料试验需求。配套小型 DCS 自控系统，支持手动、自动两种操作模式，方便研发人员调整试验参数，项目交付后同步提供试验数据采集、工艺优化技术指导，为客户后续工业化量产 EPC 项目积累成熟工艺数据。公司半导体 EPC 项目可承接实验室小试、中试放大到工业化量产全阶段装置成套工程交付业务。

艾生科半导体EPC工程设备运维配套服务贯穿项目全生命周期，竣工交付时同步交付全套设备运维手册，包含压力容器、精馏塔、泵阀、自控仪表、表面处理设备日常巡检、保养、检修周期、易损件更换清单；驻场调试阶段同步培训运维人员，讲解设备常见故障识别、简易维修、备件更换操作。项目交付后提供固定周期配套远程技术回访，协助客户排查工艺波动、设备运行异常；客户需要现场检修、系统改造、设备重新抛光处理时，可安排专业工程师上门服务。针对长期合作客户，建立专属项目运维档案，记录设备运行年限、检修记录、工艺优化调整内容，定期提供设备损耗评估、系统洁净度复测建议，提前预判设备老化、杂质析出风险，减少产线非计划停机时间。半导体 EPC 项目采用工厂模块化预制模式，在自有洁净车间完成撬装单元集成后整体运输至客户现场。内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目清单

半导体前驱体气化输送 LDS 系统可整合进整套 EPC 总包工程，实现源瓶到反应设备密闭输送配套。内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目清单

艾生科半导体 EPC 模块化撬装装置具备便捷运输、快速安装优势，单套撬装尺寸按照标准物流运输规格设计，大型多撬项目拆分多块单独撬座，出厂完成单独检漏、调试后分批次运输，抵达客户厂区后使用叉车、吊车快速吊装就位，撬块之间采用快速高纯法兰对接，大幅缩短现场安装工期。撬装底座集成设备支撑、管路桥架、仪表线槽、安全防护护栏，出厂前完成防腐防锈处理，适配室外、洁净车间两种放置环境，无需客户额外搭建设备基础平台，只需平整硬化地面即可安放。后期客户需要搬迁产线时，可拆分撬装模块整体转运，重新对接公用工程后快速恢复生产，相比传统土建固定设备，产线搬迁、改造灵活性大幅提升，减少搬迁重建投入成本。内蒙古前驱体材料半导体-EPC工程总包项目清单

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