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XYZ平台主要包括X轴移动部分，Y轴移动部分，Z轴移动部分。其结构如图1所示。各轴的联轴器可用于连接伺服电机，实现自动调节，也可以直接和旋转圆盘连接实现手动调节。三坐标精密移动平台的X、Y、Z三个方向的部件具有相同结构，都包括各自的传动系统、导向系统、驱动系统、基于容栅传感器的数显位移测量系统以及相应的支撑部件。平台在X、Y、Z三个方向的结构安排采用下述方案，即以X向的底板固定在基座上，Y向的底板固定在X向的移动拖板上，Z向的底板通过角铁与Y向的拖板固定。测量探针可以通过支架安装在2向的拖板上，由Z向的拖板的上下运动实现探针旷Z向移动。整个Z向的部件安装在Y向的拖板上，所以Y向的拖板能够实现探针的Y向移动。同样，平台也能够实现探针的X向移动。传感器：如光栅尺，用于测量和控制系统中的位置、运动和相对位移。吴江区智能化精密平台销售

XYZ高精密移动平台（XYZ high precision mobile platform），又称三坐标高精密移动平台，是一种三坐标精密定位设备，主要应用于微型涡轮喷气发动机实验、电主轴与测功机同轴度测量等工程技术领域。该平台由X轴、Y轴、Z轴移动部分构成，各轴通过联轴器连接伺服电机或旋转圆盘实现自动/手动调节。平台采用三层叠加结构设计，X向底板固定于基座，Y向底板置于X轴拖板，Z向底板通过角铁与Y轴拖板连接形成三维移动体系。其传动系统采用M10滑动丝杆副，具备自锁性能且无需润滑，X方向滑动丝杆副可满足轴向和径向刚度需求。该设备配备数显位移测量系统，可通过容栅传感器实现位移精确定位。在电主轴与测功机同轴度测量中，配合寻边器可将同轴度控制在0.02mm以内，但测量精度受平台自身精度直接影响工业园区国产精密平台销售应用：机械加工（如刀具或工件旋转）、航天器件测试等领域。

400XR系列精密定位平台产品简介：精密滚珠丝杠（5,10,20,25mm导程）方形直线滚动导轨不锈钢带防尘保护**度铝合金结构100-2000mm行程精密级重复性精度±1.3um标准级重复性精度±5um100%运行周期可选配步进电机或伺服电机电机安装可选同轴安装或平行安装可组合成一维，二维，三维精密定位运动可选精密级无回隙连轴器（波纹管）可选限位/回零传感器可选配精密光栅尺可选直线编码器反馈可选无尘室环境应用IP30额定条密封可选配内置直线伺服电机驱动，速度可达2米/秒

精密定位平台（又称电动滑台、精密定位滑台）是一种高精度工业定位设备，主要应用于半导体制造、液晶面板加工、微电子晶圆处理及自动化检测等领域。其通过集成滚珠螺杆、直线导轨等**组件实现亚微米至纳米级重复精度（≤100nm），支持垂直/水平多方向定位及真空环境作业 [6]。该平台采用模块化设计，融合有限元优化结构与多轴联动控制技术，包含X/Y/Z轴直线驱动、旋转对位等多自由度运动系统。部分型号采用压电陶瓷驱动或宏微双驱动方案，结合柔性铰链、预载丝杠等技术提升刚性与稳定性 [4-5]。典型结构通过分层布局、一体化加工工艺实现紧凑体积（最大负载10kg），并配备双光栅闭环检测、气动夹具等辅助系统 [3] [7]。其维护便捷性体现在防尘润滑设计、可拆卸组件及无摩擦传动结构，适用于视觉检测、高速点胶、曲面玻璃定位等高精度工业场景 [1-2] [8]结合传感器和物联网技术，未来的精密平台将具备自我监测和调节的能力，提高操作的自动化水平。

在经过刮研的平板平台上推动表座、工件比较顺畅，无发涩感觉，方便了测量，保证了测量准确度。铸铁平板（平台）的铸铁质量和热处理质量也对平板使用性能产生较大影响：或因残存较大内应力使工作面变形；或因不耐磨损使精度不能保持；或因刮削困难得不到数值小的粗糙度。因此使用铸铁平板（平台）必须注意生铁材料的选择，采用时效处理等方法消除铸铁平板（平台）的残余应力。铸铁平板平台总体结构基本上是箱体式和筋板式，工作面有长方形、正方形或圆形，材料为HT200-300，按精度加工划分有：精刨、刮研工艺两种，平板平台工作面上可加工V形、T形、 U形槽、燕尾槽、圆孔、长孔等，是用于工件、设备检测、划线、装配、焊接、组装、铆焊的平面基准量具。晶圆测试设备：通过高精度定位确保芯片封装质量。太仓国产精密平台哪里买

功能：实现物体的旋转运动。吴江区智能化精密平台销售

本实用新型由于三个柔顺机构以及三个位移传感器沿输出平台中心向外呈 120°角分布，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并且提高了输出平台移动的直线度；由于采用了柔顺机构，不仅使得输出平台能同时提供X、Y方向平移，Z方向旋转，而且使得输出平台和基座都在同一层次上；采用压电陶瓷驱动器作为压电驱动器，保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度，具有纳米级的分辨率和亚微米级的定位精度。本实用新型可广泛应用于精密定位领域。吴江区智能化精密平台销售

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