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结构:采用柔性结构或弯曲机构。应用:生物医学(如操控细胞或组织)、纳米技术等领域。特点:高度柔性、高精度、可变形。超高精密运动平台功能:满足更高精度和稳定性的需求。结构:采用先进的...
精密定位平台(又称电动滑台、精密定位滑台)是一种高精度工业定位设备,主要应用于半导体制造、液晶面板加工、微电子晶圆处理及自动化检测等领域。其通过集成滚珠螺杆、直线导轨等**组件实现...