江苏智能化精密平台供应商

XYZ平台主要包括X轴移动部分，Y轴移动部分，Z轴移动部分。其结构如图1所示。各轴的联轴器可用于连接伺服电机，实现自动调节，也可以直接和旋转圆盘连接实现手动调节。三坐标精密移动平台的X、Y、Z三个方向的部件具有相同结构，都包括各自的传动系统、导向系统、驱动系统、基于容栅传感器的数显位移测量系统以及相应的支撑部件。平台在X、Y、Z三个方向的结构安排采用下述方案，即以X向的底板固定在基座上，Y向的底板固定在X向的移动拖板上，Z向的底板通过角铁与Y向的拖板固定。测量探针可以通过支架安装在2向的拖板上，由Z向的拖板的上下运动实现探针旷Z向移动。整个Z向的部件安装在Y向的拖板上，所以Y向的拖板能够实现探针的Y向移动。同样，平台也能够实现探针的X向移动。功能：实现非刚性运动，适应不规则形状的工件或环境。江苏智能化精密平台供应商

花岗石平台：在使用中岩石工具即使遭重物磕碰，至多掉几粒石碴而已。花岗石平板其优于质量铸铁和钢材制作的精密测量基准零件，可以获得高而稳定的精度。我公司生产的花岗石平板1000×630mm的‘00’级花岗石平板，搁放一年后，仍能保持原精度不变。花岗石平台特性：精度高、不生锈、耐酸碱、不磁化、不变型、耐磨性好等优点。岗石平台能在重负荷及一般温度下保持稳定。我公司生产的花岗石平台精密量具，采用质量天然花岗石平台料经机械加工，人工精研而成。江苏智能化精密平台供应商光学：在光学实验和设备中，精密平台用于稳定和调整光学元件的位置。

XYZ高精密移动平台（XYZ high precision mobile platform），又称三坐标高精密移动平台，是一种三坐标精密定位设备，主要应用于微型涡轮喷气发动机实验、电主轴与测功机同轴度测量等工程技术领域。该平台由X轴、Y轴、Z轴移动部分构成，各轴通过联轴器连接伺服电机或旋转圆盘实现自动/手动调节。平台采用三层叠加结构设计，X向底板固定于基座，Y向底板置于X轴拖板，Z向底板通过角铁与Y轴拖板连接形成三维移动体系。其传动系统采用M10滑动丝杆副，具备自锁性能且无需润滑，X方向滑动丝杆副可满足轴向和径向刚度需求。该设备配备数显位移测量系统，可通过容栅传感器实现位移精确定位。在电主轴与测功机同轴度测量中，配合寻边器可将同轴度控制在0.02mm以内，但测量精度受平台自身精度直接影响。

方杰等 [2]通过利用寻边器和XYZ平台进行同轴度测量和调节，电主轴和测功机之间的同轴度能达到0.02mm以内，达到了联轴器、电主轴、测功机正常运行的同轴度要求。在实际的测量过程中，很好地避免了千分表重力对同轴度测量结果的影响，使实测值能反映电主轴和测功机真实的同轴度。由于借助第三方基准—XYZ平台，很好地避免由于被测轴和基准轴轴径比较小，轴阶多，轴阶较短，导致千分表的磁力表座很难平稳地吸附在基准轴上的情况。由于XYZ平台每轴的有效行程较大，数字式三维工件寻边器有很高的测量精度和显示精度，该同轴度测量和调节方法能很好地测量电主轴和测功机输出轴轴线夹角，使同轴度的调节工作变得简单。结构：由导轨系统、滑块、电机和传感器组成。

调节机构：配备水平调节装置，重复定位精度±0.05mm [4] [7]。截至2025年，复旦大学上海市超精密光学工程技术研究中心整合五个研发室，聚焦超精密光学制造与检测技术 [5]。典型应用案例包括：武汉中航世纪隔振设备有限公司生产的ZPT-G-M-24-12精密阻尼隔振光学平台 [4]；中国航天发动机厂的精密阻尼隔振光学平台测试 [4]；科研级气浮隔振平台（固有频率）在量子光学领域的应用 [8]。实验采用三点均布敲击法，通过位移传感器和采集软件检测隔振器垂直/水平固有频率、振幅、振动速度等参数，确保平台振幅≤55μm [2-3] [6]。它们能够提供稳定的实验环境，确保实验结果的可靠性。高新区销售精密平台销售厂

应用：半导体制造（如晶片切割、光掩模对准）、光电子、医疗设备等领域。江苏智能化精密平台供应商

平面三自由度精密定位平台是一种用于精密定位领域的机械装置，由输出平台、基座、三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、位移传感器及控制器等部件组成。该平台通过控制器驱动压电陶瓷产生位移，可实现X、Y方向平移及Z方向旋转的三自由度运动。该平台三个柔顺机构与位移传感器沿输出平台中心呈120°对称分布，其结构设计保障了运动传递的无间隙、无摩擦特性，同时提高了移动直线度与定位稳定性。采用柔顺机构使输出平台与基座保持同一层次，压电驱动器具备亚微米级定位精度和快速响应能力，分辨率可达纳米级。江苏智能化精密平台供应商

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