XYZ高精密移动平台(XYZ high precision mobile platform),又称三坐标高精密移动平台,是一种三坐标精密定位设备,主要应用于微型涡轮喷气发动机实验、电主轴与测功机同轴度测量等工程技术领域。该平台由X轴、Y轴、Z轴移动部分构成,各轴通过联轴器连接伺服电机或旋转圆盘实现自动/手动调节。平台采用三层叠加结构设计,X向底板固定于基座,Y向底板置于X轴拖板,Z向底板通过角铁与Y轴拖板连接形成三维移动体系。其传动系统采用M10滑动丝杆副,具备自锁性能且无需润滑,X方向滑动丝杆副可满足轴向和径向刚度需求。该设备配备数显位移测量系统,可通过容栅传感器实现位移精确定位。在电主轴与测功机同轴度测量中,配合寻边器可将同轴度控制在0.02mm以内,但测量精度受平台自身精度直接影响。纳米技术平台:实现纳米级材料沉积或检测。相城区节能精密平台销售方法

精密光学平台是一种通过特殊结构设计实现振动隔离的工艺试验仪器,其动态力学特性直接影响光学实验的准确性和可靠性 [2-4] [6] [8]。**结构采用蜂窝支撑、复合阻尼材料等设计,具有高刚性、低振幅和高平面度等特点,可适配M6安装孔阵列的精密部件固定 [2] [6-7]。主要分为气囊减振(0.7-3Hz)和机械阻尼减振(3-6Hz)两类,应用于光学、航天、精密机械制造等领域的精密实验及仪器搭载 [3-4]。2025年成立的复旦大学上海市超精密光学工程技术研究中心,标志着该领域的技术研发进入新阶段 [5]。苏州特色精密平台规格尺寸结构:由多组直线或旋转运动平台组合而成,通过控制系统协调运动。

XYZ平台主要包括X轴移动部分,Y轴移动部分,Z轴移动部分。其结构如图1所示。各轴的联轴器可用于连接伺服电机,实现自动调节,也可以直接和旋转圆盘连接实现手动调节。三坐标精密移动平台的X、Y、Z三个方向的部件具有相同结构,都包括各自的传动系统、导向系统、驱动系统、基于容栅传感器的数显位移测量系统以及相应的支撑部件。平台在X、Y、Z三个方向的结构安排采用下述方案,即以X向的底板固定在基座上,Y向的底板固定在X向的移动拖板上,Z向的底板通过角铁与Y向的拖板固定。测量探针可以通过支架安装在2向的拖板上,由Z向的拖板的上下运动实现探针旷Z向移动。整个Z向的部件安装在Y向的拖板上,所以Y向的拖板能够实现探针的Y向移动。同样,平台也能够实现探针的X向移动。
平面三自由度精密定位平台是一种用于精密定位领域的机械装置,由输出平台、基座、三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、位移传感器及控制器等部件组成。该平台通过控制器驱动压电陶瓷产生位移,可实现X、Y方向平移及Z方向旋转的三自由度运动。该平台三个柔顺机构与位移传感器沿输出平台中心呈120°对称分布,其结构设计保障了运动传递的无间隙、无摩擦特性,同时提高了移动直线度与定位稳定性。采用柔顺机构使输出平台与基座保持同一层次,压电驱动器具备亚微米级定位精度和快速响应能力,分辨率可达纳米级。未来的精密平台将趋向于模块化设计,用户可以根据具体需求进行组合和调整,提高灵活性和适应性。

本实用新型由于三个柔顺机构以及三个位移传感器沿输出平台中心向外呈 120°角分布,保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性,并且提高了输出平台移动的直线度;由于采用了柔顺机构,不仅使得输出平台能同时提供X、Y方向平移,Z方向旋转,而且使得输出平台和基座都在同一层次上;采用压电陶瓷驱动器作为压电驱动器,保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度,具有纳米级的分辨率和亚微米级的定位精度。本实用新型可广泛应用于精密定位领域。应用:半导体制造(如晶片切割、光掩模对准)、光电子、医疗设备等领域。工业园区品牌精密平台销售厂
特点:高度柔性、高精度、可变形。相城区节能精密平台销售方法
2020年技术参数显示,常规伺服平台M-L01.2A2可实现1μm步长定位,最大承载20公斤,而超长程纳米精度压电Z轴定位台N-664.3A的Z轴行程达30mm,线性度保持0.03% along 20um。纳米级旋转平台M-061.DG具备>360°转动范围,设计分辨率达1.2μrad(约0.000069°),**小步长:6urad,单向重复性:50urad,适用于光学元件微调场景 [1]。2024年***技术方案包含以下创新设计:三心精合结构:移动机构质量重心、驱动源推力中心与导向部件刚度中心三点共线,降低运动误差至纳米级 [2]相城区节能精密平台销售方法
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平面三自由度精密定位平台是一种用于精密定位领域的机械装置,由输出平台、基座、三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、位移传感器及控制器等部件组成。该平台通过控制器驱动压电陶瓷产生位移,可实现X、Y方向平移及Z方向旋转的三自由度运动。该平台三个柔顺机构与位移传感器沿输出平台中心呈120°对称分布,其结构设计保障了运动传递的无间隙、无摩擦特性,同时提高了移动直线度与定位稳定性。采用柔顺机构使输出平台与基座保持同一层次,压电驱动器具备亚微米级定位精度和快速响应能力,分辨率可达纳米级。纳米技术平台:实现纳米级材料沉积或检测。工业园区节能精密平台厂家直销特点:高精度、高速度、高稳定性。旋转运动...