本实用新型涉及光刻胶生产设备,具体是一种光刻胶废剥离液回收装置。背景技术:光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,其是由溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下,进行光化学反应,经曝光、显影等过程,将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上,然后进行蚀刻等工艺加工,终得到所需图像。其中,溶剂使光刻胶具有流动性,易挥发,对于光刻胶的化学性质几乎没有影响。感光树脂是惰性的聚合物,用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂,给予光刻胶其机械和化学性质。光引发剂是光刻胶中的光敏成分,对光能发生光化学反应。添加剂是控制光刻胶材料特殊方面的化学物质,用来控制和改变光刻胶材料的特定化学性质或响应特性。在光刻工艺中,一般步骤为匀胶—干燥—前烘--曝光—显影—后烘—蚀刻—剥离。在光刻胶剥离工序中会产生剥离废液,光刻胶价格昂贵,如不对废液中的光刻胶成分回收利用,会造成较大的资源浪费,因此企业通常将剥离废液中的光刻胶树脂进行有效回收并应用于再生产中。剥离液的特性是什么?惠州中芯国际用剥离液推荐厂家

湿电子化学品位于电子信息产业偏中上游的材料领域。湿电子化学品上游是基础化工产品,下游是电子信息产业(信息通讯、消费电子、家用电器、汽车电子、LED、平板显示、太阳能电池、**等领域)。湿电子化学品的生产工艺主要采用物理的提纯技术及混配技术,将工业级的化工原料提纯为超净高纯化学试剂,并按照特定的配方混配为具有特定功能性的化学试剂。湿电子化学品行业是精细化工和电子信息行业交叉的领域,其行业特色充分融入了两大行业的自身特点,具有品种多、质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、产品附加值高、资金投入量大等特点,是化工领域相当有发展前景的领域之一。安徽天马用的蚀刻液剥离液主要作用剥离液的配方是什么?

缩短了某些领域与发达国家技术上的差距.腾田化学技术团队具有丰富分析及研发经验,彻底解决了化工领域如金属表面处理剂、清洗剂、金属加工液、橡胶、塑料、胶黏剂、涂料、水处理药剂、纺织印染助剂等企业配方改进、新产品研发的切实问题;正是腾田化学质量的口碑,赢得多个领域**企业关注,成功地建立精细化学品研发平台;在腾田化学共同努力下,民营企业不断技术创新,有利于化工行业的良好发展.腾田化学温馨提示:当你有产品分析数据,但是无法后期生产的时候,可以联系腾田化学科技(上海)有限公司。腾田化学的业务范围:1.各类胶粘剂产品配方分析以及产品研发,为客户提供产品配方及生产;2.涂料及油墨产品配方分析,为客户提供产品配方及生产;3.塑料和橡胶制品配方分析,包括各种助剂,如增塑剂、抗氧剂、阻燃剂等,为客户提供产品配方及生产;4.水泥缓凝剂分析:民用和各类工业用水泥缓凝剂,金属表面处理剂等,为客户提供产品配方及生产;5.工业故障分析诊断,提供解决方案;未知物剖析,各种未知固体和液体,膏体等,为客户提供产品配方及生产;6.日化产品:洗发、护发、护肤产品等;光亮剂、杀虫剂、空气清新剂等,为客户提供产品配方及生产。
随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展,光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。特别是纵观近几年度的光电行业,风靡全球的智能手持设备、移动终端等简直成为了光电行业的风向标:与之相关的光电领域得到了飞速的发展,镜头模组、滤光片、LTPS液晶显示面板、触摸屏幕、传感器件等等。而光电行业的其他领域,虽然也有增长,但是远不及与智能手持设备相关的光电领域。工业上所使用的剥离液主要是有机胺和极性有机溶剂的组合物,通过溶胀和溶解方式剥离除去光刻胶。上述有机胺可包括单乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述极性有机溶剂可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇单丁醚(BDG),二甲亚砜(DMS0),羟乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有体积小、质量轻、清晰度高、图像色彩好等优点,被广泛应用于工业生产中,按目前使用的液晶电视、电脑显示屏等生命周期为6-8年计算,未来随着年代的更替,LCD的生产量液将会增加,从而导致剥离液的使用量也大量增加,剥离液大量使用的同时也产生大量剥离液废液。剥离液废液中除了含有少量高分子树脂和光敏剂外。剥离液有水性和溶剂型两种不同的区分。

实施例1~6:按照表1配方将二甲基亚砜、一乙醇胺、四甲基氢氧化铵、硫脲类缓蚀剂、聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂、n-甲基吡咯烷酮和去离子水混合,得到用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。表1:注:含量中不满100wt%的部分由去离子水补足余量。以cna披露的光刻胶剥离液作为对照例,与实施例1~6所得用于叠层晶圆的光刻胶剥离液进行比较试验,对面积均为300cm2的叠层晶圆上的光刻胶进行剥离并分别测定剥离周期、金属镀层的腐蚀率和过片量(剥离的面壁数量)。对比情况见表2:表2:剥离周期/s金属腐蚀率/ppm过片量/片实施例1130~15015376实施例2130~15016583实施例3130~15017279实施例4130~15015675实施例5130~15016372实施例6130~15017681对照例180~20022664由表2可知,本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液通过加入硫脲类缓蚀剂和聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,使剥离效率有明显的提升,对金属腐蚀率降低20%以上,而且让过片量提高10%以上。以上所述的*是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。天马微电子用哪家剥离液更多?江苏铜蚀刻液剥离液推荐厂家
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根据新思界产业研究中心发布的《2020-2024年中国剥离液行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示,剥离液属于湿电子化学品的重要品类,近几年受新能源、汽车电子等产业的快速发展,我国湿电子化学品市场规模持续扩增,2019年我国湿电子化学品市场规模达到100亿元左右,需求量约为138万吨。随着剥离液在半导体产业中的应用增长,剥离液产量以及市场规模随之扩大,2019年我国半导体用剥离液需求量约为,只占据湿电子化学品总需求量的。从竞争方面来看,当前全球剥离液的生产由湿电子化学品企业主导,主要集中在欧美、日韩以及中国,代表性企业有德国巴斯夫、德国汉高、美国霍尼韦尔、美国ATMI公司、美国空气化工产品公司、三菱化学、京都化工、住友化学、宇部兴产、关东化学,以及中国的江阴江化微、苏州瑞红、中国台湾联仕电子等企业。惠州中芯国际用剥离液推荐厂家