企业商机
减薄用清洗剂基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机碱
  • 产品性状
  • 液态
减薄用清洗剂企业商机

    本发明涉及半导体制造技术领域,更具体地说,涉及一种抛光减薄装置和抛光减薄方法。背景技术:采用iii-v族化合物制作的半导体器件和超高速数字/数模混合电路等凭借其优良的频率特性,已经成为通讯、雷达、制导、空间防御、高速智能化武器及电子对抗等现代化装备的部件之一。在众多的iii-v族化合物中,inp(磷化铟)化合物具有独特的优势,这主要得益于其优良的材料特性,例如,inp和ingaas(铟镓砷)之间的晶格失配很小,以及电子饱和速率很高等,所以不论是hemt(highelectronmobilitytransistor,高电子迁移率晶体管)结构还是hbt(heterojunctionbipolartransistor,异质结双极晶体管)结构,都具有非常优异的高频、大功率性能。但是,inp材料的物理性能却很差,非常易碎,很小的碰撞或振动都会导致晶圆碎裂而前功尽弃,因此,inp材料的制造加工面临着很多工艺上的难题。尤其是在超高频率、大功率的inp基rfic(射频集成电路)的制造工艺中,如何在对inp基晶圆进行减薄抛光时,减小或避免inp基晶圆的损伤是本领域技术人员亟待解决的问题之一。技术实现要素:有鉴于此,本发明提供了一种抛光减薄装置和抛光减薄方法,以减小或避免inp基晶圆的减薄抛光损伤。为实现上述目的。减薄清洗剂,让您的产品更加精致,提升市场竞争力。减薄用清洗剂订做价格

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    即两所述侧板422之间设置有一排所述固定板423,从而形成对应设置有所述侧支撑件44的所述竖直平板421,在各所述放置部内放置有一排玻璃,可实现所述放置部结构的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上设置若干所述放置部以使各所述放置部对应不同尺寸的玻璃。图4为所述调节槽的另一种实施方式,所述调节槽包括若干所述水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的所述竖直槽425,所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘;两所述竖直平板421均设置有所述侧支撑件44,同一所述水平槽424可设置两个所述固定卡块427,即两所述侧板422之间设置有两排所述固定板423,两所述固定板423分别对应两所述竖直平板421,使在同一所述放置部内分割处两个放置空间,从而在各所述放置部内可放置两排玻璃,便于节省所述玻璃加工治具4上的有限空间,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合设置于同一所述放置部内。较佳的,两相邻所述水平槽424之间还设置有至少两个定位槽428,所述固定板423两端设置有定位孔429,当所述固定卡块427设置于所述固定槽426内时,所述定位槽428和所述定位孔429位置对应;通过将螺钉穿过所述固定槽426螺纹固定在所述定位孔429中,保证所述固定卡块427在所述固定槽426内。江苏国产减薄用清洗剂厂家现货减薄用清洗剂,助您实现精密加工,提升产品品质。

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    在本发明的一个实施例中,抛光液110的主要成分包括:碳化硅颗粒,颗粒直径为50nm~200nm,体积比为3%~5%;次氯酸盐,体积比为30%~40%;氢溴酸,体积比为5%~7%,di水,体积比50~60%。本发明的一个实施例中,如图3所示,磁转子12包括截面为半圆形的柱状磁性结构120和位于柱状磁性结构120的底部平面的研磨层121,以通过研磨层121对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨。当然,本发明并不仅限于此,在其他实施例中,可以根据实际需求选择合适的磁转子形状。可选地,研磨层121为金属氧化物层,进一步可选地,金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,研磨层121的厚度为10μm。本发明实施例中,如图4所示,磁转子12沿箭头所示方向旋转,如沿逆时针或顺时针方向旋转,并且,磁转子12的长度近似等于待加工部件20如inp基晶圆的直径,以对整个待加工表面进行研磨。本发明实施例中,抛光减薄装置还包括控制部件。控制部件与磁转子12和喷头11相连,用于控制喷头11和磁转子12交替工作,以对待加工表面交替进行抛光和减薄。其中,控制部件通过脉冲方式控制喷头11和磁转子12交替工作。可选地,控制部件控制磁转子12的转速为80rpm~200rpm。如何区分减薄用清洗剂的的质量好坏。

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    通过旋紧螺钉使螺钉的端头部分与所述支撑条431或所述第二支撑条432接触,从而实现对所述连接部433的固定,避免所述连接部433在振动时发生脱离等情况。同时螺钉的设置,可实现所述底支撑件43结构的快速装卸,便于维修更换。值得指出的是,为达到防止所述连接部433脱离的效果,所述限位块438和所述第二限位块439并非于设置为螺钉,通过在所述限位块438和所述第二限位块439的端部设置横截面合适的部件,使所述限位块438、所述第二限位块439与所述连接部433卡接,即可实现螺钉的效果。所述接触部434设置有弧形槽,玻璃的下边缘设置于所述弧形槽内,从而实现所述底支撑件43对玻璃的位置固定。在进行减薄或其他加工过程中,玻璃通过所述玻璃加工治具4进行移动或放置时,均会产生振动;同时在进行蚀刻冲刷时,在酸液冲击的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃产生弯曲,通过所述底支撑件43的结构设置,可实现设置于所述接触部434上玻璃的悬浮柔性支撑,有效缓冲玻璃所受到的外界压力或冲击力,避免振动或冲击对玻璃带来的损伤;同时可有效降低所述玻璃加工治具4往复移动带来的振动,使玻璃底部在所述连接部433的限制下进行小幅度的移动,在保证玻璃在所述玻璃加工治具4上有效摆动。苏州哪家公司的减薄用清洗剂的口碑比较好?江苏国产减薄用清洗剂厂家现货

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    用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于激光束的预定部分并因此瞬时去除喷淋液,从而可得到更准确地玻璃厚度测量数据。一般的,所述目标厚度为减薄处理后所需求玻璃的理论厚度值,所述理论厚度值为具有公差的范围值。所述玻璃减薄生产线还包括辅助厚度测量仪,所述辅助厚度测量仪设置在所述冲洗区2中并用于再次测量经减薄处理后的玻璃厚度,所述辅助厚度测量仪将测得玻璃厚度发送到所述控制器。所述辅助厚度测量仪的设置可降低所述主厚度测量仪32失灵或因所述蚀刻区3中的阻碍因素不能正确测量玻璃厚度时异常操作而造成的玻璃减薄缺陷,所述阻碍因素可以为喷淋液的喷淋阻碍或所述玻璃加工治具4的振动。所述控制器基于所述辅助厚度测量仪测得的玻璃厚度确定在所述蚀刻区3中是否正常执行减薄处理或者所述主厚度测量仪32是否正确工作。一般的,从所述辅助厚度测量仪接收的玻璃的厚度超出目标厚度的公差范围,则所述控制器确定所述主厚度测量仪32无法正确工作或者在所述蚀刻区3中没有正常执行减薄处理。在这种情况下,所述控制器发出警报来通知管理者,所述主厚度测量仪32失灵或者所述蚀刻区3中的减薄处理异常。所述主厚度测量仪32失灵或所述者蚀刻区3中的减薄处理异常可能是暂时的。减薄用清洗剂订做价格

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