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    来对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括：在所述磁转子运行一段时间后，更换所述磁转子。可选地，将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将所述待加工部件固定在所述托盘上。可选地，对所述待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对所述待加工部件进行清洗；采用特定溶液对所述光刻胶进行腐蚀，以将所述待加工部件与所述托盘分离。与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：本发明所提供的抛光减薄装置和抛光减薄方法，采用托盘固定待加工部件，采用喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光，采用磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对所述待加工表面进行减薄，由于减薄过程中待加工部件如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件如inp基晶圆的挤压应力，降低待加工部件如inp基晶圆的机械加工损伤。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。选择高效减薄用清洗剂，为您的生产线注入新活力。苏州玻璃用减薄用清洗剂报价

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    即两所述侧板422之间设置有一排所述固定板423，从而形成对应设置有所述侧支撑件44的所述竖直平板421，在各所述放置部内放置有一排玻璃，可实现所述放置部结构的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上设置若干所述放置部以使各所述放置部对应不同尺寸的玻璃。图4为所述调节槽的另一种实施方式，所述调节槽包括若干所述水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的所述竖直槽425，所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘；两所述竖直平板421均设置有所述侧支撑件44，同一所述水平槽424可设置两个所述固定卡块427，即两所述侧板422之间设置有两排所述固定板423，两所述固定板423分别对应两所述竖直平板421，使在同一所述放置部内分割处两个放置空间，从而在各所述放置部内可放置两排玻璃，便于节省所述玻璃加工治具4上的有限空间，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合设置于同一所述放置部内。较佳的，两相邻所述水平槽424之间还设置有至少两个定位槽428，所述固定板423两端设置有定位孔429，当所述固定卡块427设置于所述固定槽426内时，所述定位槽428和所述定位孔429位置对应；通过将螺钉穿过所述固定槽426螺纹固定在所述定位孔429中，保证所述固定卡块427在所述固定槽426内。

    并控制磁转子12和喷头11每间隔20s旋转10s，也就是说，控制磁转子旋转10s，控制磁转子停止旋转后，控制喷头喷涂抛光液10s，停止喷涂抛光液10s后，控制磁转子旋转10s，以此类推。本发明实施例中，控制部件在脉冲工作模式下，实现减薄和抛光两种工艺交替作用，使得减薄和抛光一体化完成，整个过程稳定，速度快，控制性好，重复度高，无粉尘污染，衬底减薄终厚度达到20μm，抛光面ra＜2nm。还需要说明的是，本发明实施例中，在减薄的过程中，可以不断更换磁转子12，如磁转子12工作1小时后，将磁转子12更换为新的磁转子，以使磁转子与待加工表面贴合紧密，避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。此外，本发明实施例中，在完成抛光和减薄后，可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗，用di水冲洗干净，40℃的氮气吹干。之后，将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盘10自动分离，取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例还提供了一种抛光减薄方法，如图5所示，包括：s101：将待加工部件固定在托盘上，待加工部件包括inp基晶圆；可选地。苏州好的减薄用清洗剂的公司。

    从而在玻璃侧部提供支撑效果，通过所述底支撑件43和所述侧支撑件44实现玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撑稳定效果。较佳的，所述底支撑件43和所述侧支撑件44可均采用ptfe材质。较佳的，所述侧支撑件44设置为叉状型结构，即所述侧支撑件44包括两叉脚，所述玻璃侧边边缘设置于两所述叉脚间，两所述叉脚在一端连接，两所述叉脚间距离从连接端向非连接端的方向逐渐增大，两所述叉脚间的大距离大于玻璃的厚度，限制玻璃两对应侧部边缘的两所述侧支撑件44之间的水平距离大于玻璃两侧部边缘之间的水平距离，即当玻璃通过两侧的所述侧支撑件44进行支撑限制时，玻璃的两侧部边缘在两所述叉脚间空间内均具有一定的调整间隙，从而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31内往复运动，玻璃的两侧部边缘相较于所述侧支撑件44进行一定的位置移动，从而避免所述侧支撑件44长期于玻璃的同一位置接触紧贴。所述侧支撑件44的结构设置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31内沿直线往复运动的过程中，所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点发生变化，从而避免所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件44的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋，若接触点无法被喷淋，易造成玻璃的减薄缺陷。清洗剂的分类有哪些；惠州中芯国际用减薄用清洗剂销售厂家

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    用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于激光束的预定部分并因此瞬时去除喷淋液，从而可得到更准确地玻璃厚度测量数据。一般的，所述目标厚度为减薄处理后所需求玻璃的理论厚度值，所述理论厚度值为具有公差的范围值。所述玻璃减薄生产线还包括辅助厚度测量仪，所述辅助厚度测量仪设置在所述冲洗区2中并用于再次测量经减薄处理后的玻璃厚度，所述辅助厚度测量仪将测得玻璃厚度发送到所述控制器。所述辅助厚度测量仪的设置可降低所述主厚度测量仪32失灵或因所述蚀刻区3中的阻碍因素不能正确测量玻璃厚度时异常操作而造成的玻璃减薄缺陷，所述阻碍因素可以为喷淋液的喷淋阻碍或所述玻璃加工治具4的振动。所述控制器基于所述辅助厚度测量仪测得的玻璃厚度确定在所述蚀刻区3中是否正常执行减薄处理或者所述主厚度测量仪32是否正确工作。一般的，从所述辅助厚度测量仪接收的玻璃的厚度超出目标厚度的公差范围，则所述控制器确定所述主厚度测量仪32无法正确工作或者在所述蚀刻区3中没有正常执行减薄处理。在这种情况下，所述控制器发出警报来通知管理者，所述主厚度测量仪32失灵或者所述蚀刻区3中的减薄处理异常。所述主厚度测量仪32失灵或所述者蚀刻区3中的减薄处理异常可能是暂时的。苏州玻璃用减薄用清洗剂报价