采用此方法可以制备出负性光刻胶所能制备的任意结构,同时相比于传统的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且图形的结构越大相对的加工效率越高。本发明为微纳制造领域,光学领域,电学领域,声学领域,生物领域,mems制造,nems制造,集成电路等领域提供了一种新的有效的解决方案。附图说明图1为本发明制备用电子束在pmma上曝光出圆形阵列的轮廓;图2为本发明用黏贴层撕走pmma轮廓以外的结构后得到的圆形柱状阵列;图3为实施例1步骤三的结构图;图4为实施例1步骤四的结构图;图5为实施例1步骤五的结构图;图6为实施例1步骤六的结构图。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步详细的描述。实施例1一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法,包括以下步骤:步骤一、提供衬底,并清洗;步骤二、使用十三氟正辛基硅烷利用高温气体修饰法对衬底进行修饰;步骤三、利用旋涂的方法在衬底上旋涂光刻胶pmma得到薄膜,如图3。步骤四、在光刻胶上加工出所需结构的轮廓如圆形,如图4所示。步骤五、在加工出结构轮廓的薄膜上面覆盖一层黏贴层,如图5。步骤六、揭开黏贴层及结构轮廓以外的薄膜,在衬底上留下轮廓内的微纳尺度结构。哪家的剥离液比较好用点?杭州格林达剥离液推荐厂家
本发明涉及化学制剂技术领域:,特别涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。背景技术::随着半导体制造技术以及立体封装技术的不断发展,电子器件和电子产品对多功能化和微型化的要求越来越高。在这种小型化趋势的推动下,要求芯片的封装尺寸不断减小。3d叠层粉妆技术的封装体积小,立体空间大,引线距离短,信号传输快,所以能够更好地实现封装的微型化。晶圆叠层是3d叠层封装的一种形式。叠层晶圆在制造的过程中会对**外层的晶圆表面进行显影蚀刻,当中会用到光刻胶剥离液。以往的光刻胶剥离液对金属的腐蚀较大,可能进入叠层内部造成线路减薄,药液残留,影响产品的质量。因此有必要开发一种不会对叠层晶圆产生过腐蚀的光刻胶剥离液。技术实现要素:本发明的主要目的在于提供一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液,既具有较高的光刻胶剥离效率,又不会对晶圆内层有很大的腐蚀。本发明通过如下技术方案实现上述目的:一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液,配方包括10~20wt%二甲基亚砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氢氧化铵,~1wt%硫脲类缓蚀剂和~2wt%聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去离子水。具体的。无锡京东方用的蚀刻液剥离液批量定制如何挑选一款适合公司的剥离液?
微电子化学品***适用于先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB行业。类别品名英文名等级ELMOSUP溶剂类甲醇Methanol■ 甲苯Toluene■ 无水乙醇Ethanol■■ ■ 异丙醇IPA■■■**Acetone■■■N-甲基吡咯烷酮1-Methyl-2-pyrrolidinone■ ■ ■丙二醇甲醚PGME■ ■ ■丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA■ ■ ■酸碱类硫酸Sulfuric Acid■■■盐酸Hydrochloric Acid■■ 硝酸Nitric Acid■■■氢氟酸Hydrofluoric Acid■■■磷酸Phosphoric Acid■■ 冰乙酸Acetic Acid,Glacial■■■过氧化氢Hydrogen Peroxide■■■氟化铵Ammonium Fluoride■■■氨水Ammonium Hydroxide■■■氢氧化钾Potassium Hydroxide Liquid■ 氢氧化钠Sodium Hydroxide Liquid■ 功能化学品铜蚀刻液Copper Etchant■ 铝蚀刻液Aluminum Etchants■ BOE蚀刻液Amnonium Fluoride Etchants■■■ITO蚀刻液ITO Etchant■ IGZO蚀刻液IGZO Etchant■ 光刻胶剥离液(有机) Photoresist Stripper (Solvent)■ 光刻胶剥离液(水系)Photoresist Stripper (Aqueous) ■ 玻璃减薄液Glass Thinning Liquid■ 玻璃清洗液Glass cleaning solution■ 光刻胶显影液Photoresist Developer■■■玻璃切削液Glass cutting fluid■ 化学研磨液Chemical grinding fluid■
所述卷边辊与所述胶面收卷辊通过皮带连接,所述收卷驱动电机与所述胶面收卷辊通过导线连接。进一步的,所述电加热箱与所述干燥度感应器通过导线连接,所述电气控制箱与所述液晶操作面板通过导线连接。进一步的,所述主支撑架由合金钢压制而成,厚度为5mm。进一步的,所述干燥度感应器与所述电气控制箱通过导线连接。进一步的,所述防溅射挡板共有两块,倾斜角度为45°。进一步的,所述电气控制箱与所述表面印刷结构通过导线连接,所述电气控制箱与所述胶面剥离结构通过导线连接。本**技术的有益效果在于:采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离,同时能够对印刷品胶面进行回收,节约了大量材料,降低了生产成本。附图说明图1是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的主视结构简图;图2是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的电气控制箱外观结构简图;图3是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的表面印刷结构主视结构简图;图4是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的胶面剥离结构主视结构简图。附图标记说明如下:1、主支撑架;2、横向支架;3、伺服变频电机;4、电机减速箱;5、印刷品传送带;6、印刷品放置箱;7、表面印刷结构。剥离液使用时要注意什么?
缩短了某些领域与发达国家技术上的差距.腾田化学技术团队具有丰富分析及研发经验,彻底解决了化工领域如金属表面处理剂、清洗剂、金属加工液、橡胶、塑料、胶黏剂、涂料、水处理药剂、纺织印染助剂等企业配方改进、新产品研发的切实问题;正是腾田化学质量的口碑,赢得多个领域**企业关注,成功地建立精细化学品研发平台;在腾田化学共同努力下,民营企业不断技术创新,有利于化工行业的良好发展.腾田化学温馨提示:当你有产品分析数据,但是无法后期生产的时候,可以联系腾田化学科技(上海)有限公司。腾田化学的业务范围:1.各类胶粘剂产品配方分析以及产品研发,为客户提供产品配方及生产;2.涂料及油墨产品配方分析,为客户提供产品配方及生产;3.塑料和橡胶制品配方分析,包括各种助剂,如增塑剂、抗氧剂、阻燃剂等,为客户提供产品配方及生产;4.水泥缓凝剂分析:民用和各类工业用水泥缓凝剂,金属表面处理剂等,为客户提供产品配方及生产;5.工业故障分析诊断,提供解决方案;未知物剖析,各种未知固体和液体,膏体等,为客户提供产品配方及生产;6.日化产品:洗发、护发、护肤产品等;光亮剂、杀虫剂、空气清新剂等,为客户提供产品配方及生产。哪家剥离液质量比较好一点?杭州格林达剥离液推荐厂家
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添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂;s3:将步骤s1的剥离液废液与添加剂混合,重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻胶剥离液为纯有机溶剂体系,废液可通过蒸馏回收80-95%有效物,得出纯化液体,而在上述制备方式中,纯化液体所含的组分与添加剂所含的组分之间是具有相重复的,可以认为,添加剂是根据已知的剥离液新液的组分进行配制的,添加剂可以是对纯化液体与剥离液新液之间的组分的差别而进行的添加、补充,使得纯化液体和添加剂混合后,能够具有与剥离液新液相同的组分。那么,可以知道,在预先知道剥离液新液的组分的基础上,可以通过预先配制含有剥离液新液中的某些组分的添加剂,然后在制备回收的剥离液废液得出纯化液体时,可以将添加剂加入纯化液体中,再进行质量分数的调节。纯化液体是将剥离液废液进行加压、蒸馏,去除剥离液废液中的非剥离液新液的组分的物质,然后得出的纯化液体,纯化液体中所含的组分物质,都是剥离液新液所含有的组分物质。进一步技术方案中,所述的步骤1中得出的纯化液体中含有的酰胺化合物的质量分为:45%-60%;含有的醇醚化合物的质量分为:35%-50%。杭州格林达剥离液推荐厂家
苏州博洋化学股份有限公司是我国高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液专业化较早的股份有限公司之一,公司始建于1999-10-25,在全国各个地区建立了良好的商贸渠道和技术协作关系。公司主要提供危险化学品生产(按《安全生产许可证》所列范围明细生产);化学品销售(涉及危险化学品的按《危险化学品经营许可》核定许可范围经营);自营和代理各类商品及技术的进出口业务(国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外)。用于传染病防治的消毒产品生产(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)等领域内的业务,产品满意,服务可高,能够满足多方位人群或公司的需要。多年来,已经为我国精细化学品行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。