经过多年发展,硅光芯片耦合测试系统如今已经成为受到普遍关注的热点研究领域。利用硅的高折射率差和成熟的制造工艺,硅光子学被认为是实现高集成度光子芯片的较佳选择。但是,硅光子学也有其固有的缺点,比如缺乏高效的硅基有源器件,极低的光纤-波导耦合效率以及硅基波导明显的偏振相关性等都制约着硅光子学的进一步发展。针对这些问题,试图通过新的尝试给出一些全新的解决方案。首先我们回顾了一些光波导的数值算法,并在此基础上开发了一个基于柱坐标系的有限差分模式分析器,它非常适合于分析弯曲波导的本征模场。对于复杂光子器件结构的分析,我们主要利用时域有限差分以及波束传播法等数值工具。接着我们回顾了硅基光子器件各项主要的制造工艺和测试技术。重点介绍了几种基于超净室设备的关键工艺,如等离子增强化学气相沉积,电子束光刻以及等离子体干法刻蚀。为了同时获得较高的耦合效率以及较大的对准容差,本论文主要利用垂直耦合系统作为光子器件的主要测试方法。硅光芯片耦合测试系统优点:体积小。山西震动硅光芯片耦合测试系统报价
硅光芯片耦合测试系统的测试站包含自动硅光芯片耦合测试系统客户端程序,其程序流程如下:首先向自动耦合台发送耦合请求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道号,然后根据自动耦合台返回的相应反馈信息进入自动耦合等待挂起,直到收到自动耦合台的耦合结束信息后向服务器发送测试请求信息,以进行光芯片自动指标测试。自动耦合台包含输入端、输出端与中间轴三部分,其中输入端与输出端都是X、Y、Z三维电传式自动反馈微调架,精度可达50nm,满足光芯片耦合精度要求。特别的,为监控调光耦合功率,完成自动化耦合过程,测试站应连接一个PD光电二极管,以实时获取当前光功率。安徽硅光芯片耦合测试系统生产厂家当三维的粗耦合结束后,在计算机地控制下,将光纤阵列和波导端面的距离调整到预先设定的距离,进行微耦合。
硅光芯片耦合测试系统中半导体激光器芯片与硅光芯片的耦合结构及耦合方法,该耦合结构包括激光器单元,其包含有激光器芯片;硅光芯片,其上设有波导;以及刻蚀槽,其设置在硅光芯片的耦合端,用于连接激光器单元和硅光芯片。本发明能够实现半导体激光器芯片与硅光芯片的高效率耦合,有利于为硅光混合集成提供高品质光源,本发明在硅光芯片耦合端面镀了增透膜,同时减小了耦合损耗和激光器的RIN噪声,且在激光器芯片和硅光芯片的缝隙中填充折射率匹配胶,减小了光场散射损耗,进一步减小了耦合损耗。
硅光芯片耦合测试系统这些有视觉辅助地初始光耦合的步骤是耦合工艺的一部分。在此工艺过程中,输入及输出光纤阵列和波导输入及输出端面的距离大约是100~200微米,以便通过使用机器视觉精密地校准预粘接间隙的测量,为后面必要的旋转耦合留出安全的空间。旋转耦合技术的原理。大体上来讲,旋转耦合是通过使用线性偏移测量及旋转移动相结合的方法,将输出光纤阵列和波导的的第1个及结尾一个通道进行耦合,并作出必要的更正调整。输出光纤阵列的第1个及结尾一个通道和两个光探测器相联接。硅光芯片耦合测试系统优点:方便管理。
在光芯片领域,芯片耦合封装问题是光子芯片实用化过程中的关键问题,芯片性能的测试也是至关重要的一步骤,现有的硅光芯片耦合测试系统系统是将光芯片的输入输出端光纤置于显微镜下靠人工手工移动微调架转轴进行调光,并依靠对输出光的光功率进行监控,再反馈到微调架端进行调试。芯片测试则是将测试设备按照一定的方式串联连接在一起,形成一个测试站。具体的,所有的测试设备通过光纤,设备连接线等连接成一个测试站。例如将VOA光芯片的发射端通过光纤连接到光功率计,就可以测试光芯片的发端光功率。将光芯片的发射端通过光线连接到光谱仪,就可以测试光芯片的光谱等。硅光芯片耦合测试系统硅光芯片的好处:片内具有快速RAM,通常可通过单独的数据总线在两块中同时访问。山西震动硅光芯片耦合测试系统报价
硅光芯片耦合测试系统硅光芯片的好处:具有在单周期内操作的多个硬件地址产生器。山西震动硅光芯片耦合测试系统报价
硅光芯片耦合测试系统测试时说到功率飘忽不定,耦合直通率低一直是影响产能的重要的因素,功率飘通常与耦合板的位置有关,因此在耦合时一定要固定好相应的位置,不可随便移动,此外部分机型需要使用专属版本,又或者说耦合RF线材损坏也会对功率的稳定造成比较大的影响。若以上原因都排除则故障原因就集中在终测仪和机头本身了。结尾说一说耦合不过站的故障,为防止耦合漏作业的现象,在耦合的过程中会通过网线自动上传耦合数据进行过站,若MES系统的外观工位拦截到耦合不过站的机头,则比较可能是CB一键藕合工具未开启或者损坏,需要卸载后重新安装,排除耦合4.0的故障和电脑系统本身的故障之后,则可能是MES系统本身的问题导致耦合数据无法上传而导致不过站的现象的。山西震动硅光芯片耦合测试系统报价