探针台基本参数
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探针台企业商机

磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境,并进行高精度的直流/射频测量。我们生产各类磁场探针台,稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。详细参数:二维磁场探针台,包含两组磁铁,可同时提供垂直与面内磁场;面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得大的磁场,兼容性强;大兼容7组探针(4组RF,3组DC同时测试使用);Y轴提供大行程位移装置,在不移动探针情况下快速抽拉更换样品;配备样品台倾斜微调旋钮,确保样品平面平行于面内磁场方向;至多支持7组探针同时放置:直流探针(3组)+微波探针(4组);XY轴位移行程±12.5mm,T轴旋转±5°;面内磁场单独施加时,磁场垂直分量优于0.025%。如果是不合格的芯片,打点器立刻对这个不合格的芯片打点。山东磁场探针台供应商

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为什么要射频探测?由于器件小形化及高频谱的应用,电路尺寸不断缩小,类似微带线及PCB版本Pad的测试没有物理接口,使得仪表本身无法与待测物进行直接连接,如果人为的焊接射频接口难免会引入不确定的误差,所以射频探针的使用完美的解决了这个问题。射频探头和校准基板允许工程师进行精确、重复的测量与校准。且任何受过一定训练的工程师都可以进行探针台的架设与仪表的校准,以分钟为单位进行测量。同样一个Pad测试点,如果通过探针测量与通过焊接SMA接口引出测量线的方法进行测试对比会发现,探针的精度是高于焊接Cable的精度。北京自动探针台报价探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。

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半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafersort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(FinalTest):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/Opads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。

高精度探针台:目前世界出货量的型号吸收了很新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS-近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。

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有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。测试完成后,探针卡于芯片分离,如果芯片不合格,则会在其中间做上标记。天津芯片探针台生产

随着探针接触到焊点金属的亚表层,这些效应将增加。山东磁场探针台供应商

探针台由哪些部分组成?样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针尖锐端对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。卡盘:有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。山东磁场探针台供应商

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