探针台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格的芯片,并提供多个可调测试及探卡测试针台座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。根据导电性,材料被分为像铜一样导电的导体,像陶瓷一样不导电的绝缘体,还有导电性介于两者间的半导体。近,“半导体”也常被用来称呼利用半导体的特性制成的集成电路。在实际的芯测试中探针卡的状态是非常重要的。浙江全自动探针台配件厂家
探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到终器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。福建磁场探针台随着探针开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层,接触电阻减小而电流流动迅速开始。
“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。
探针卡上有细小的金属探针附着,通过降低探针高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盘接触,可以把卡上的线路和芯片的结合焊盘连起来。之后,运行测试程序检验芯片合格与否。测试完成后,探针卡于芯片分离,如果芯片不合格,则会在其**做上标记,然后圆片移动到下一个芯片的位置,这种方法可以让圆片上的每一个芯片都经过测试。这一检测过程会在芯片的每个焊盘上留下标记以表明该芯片被测试过了。通常我们作标记的方法是在不合格的芯片上打点。在探针台上装上打点器,打点器根据系统的信号来判断是否给芯片打点标记。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。如果是合格的芯片,打点器不动作;如果是不合格的芯片,打点器立刻对这个不合格的芯片打点。如果是合格的芯片,打点器不动作。
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(很低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。经济手动型根据客户需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选);移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选);chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离;显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选);显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选);探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关;可搭配Probe card测试;适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开。天津磁场探针台供应商
探针尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。浙江全自动探针台配件厂家
晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。浙江全自动探针台配件厂家