在MEMS微纳加工领域，公司通过“材料创新+工艺突破”双轮驱动，为医疗健康、生物传感等场景提供高精度、定制化的微纳器件解决方案。公司依托逾700平米的6英寸MEMS产线，可加工玻璃、硅片、PDMS、硬质塑料等多种基材的微纳结构，覆盖从纳米级（0.5-5μm）到百微米级（10-100μm）的尺度需求。其**技术包括深硅刻蚀、亲疏水改性、多重转印工艺等，能够实现复杂三维微流道、高深宽比微孔阵列及柔性电极的精密成型，满足脑机接口、类***电生理研究、微针给药等前沿医疗应用的严苛要求。台阶仪与 SEM 测量技术确保微纳结构尺寸精度，支撑深硅刻蚀、薄膜沉积等工艺质量管控。江西特殊MEMS微纳米加工
MEMS技术的主要分类：光学方面相关的资料与技术。光学随着信息技术、光通信技术的迅猛发展，MEMS发展的又一领域是与光学相结合，即综合微电子、微机械、光电子技术等基础技术，开发新型光器件，称为微光机电系统(MOEMS)。微光机电系统(MOEMS)能把各种MEMS结构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器件、光电检测器件等完整地集成在一起。形成一种全新的功能系统。MOEMS具有体积小、成本低、可批量生产、可精确驱动和控制等特点。高科技MEMS微纳米加工的传感器太赫兹柔性电极以 PI 为基底构建双面结构，适用于非侵入式生物检测与材料无损探测。
MEMS组合惯性传感器不是一种新的MEMS传感器类型，而是指加速度传感器、陀螺仪、磁传感器等的组合，利用各种惯性传感器的特性，立体运动的检测。组合惯性传感器的一个被广为熟悉的应用领域就是惯性导航，比如飞机/导弹飞行控制、姿态控制、偏航阻尼等控制应用、以及中程导弹制导、惯性GPS导航等制导应用。
惯性传感器分为两大类：一类是角速率陀螺；另一类是线加速度计。角速率陀螺又分为：机械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑气浮角速率陀螺；挠性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球谐振角速率陀螺等）；光纤角速率陀螺；激光角速率陀螺等。线加速度计又分为：机械式线加速度计；挠性线加速度计；MEMS硅﹑石英线加速度计（含压阻﹑压电线加速度计）；石英挠性线加速度计等。
驾驶辅助系统升级带动MEMS＆传感器价值提升。自动驾驶已成大趋势，环境信息的感知是实现自动驾驶的基础，越高级别的自动驾驶对信息感知能力的需求越高，对应的MEMS＆传感器用量和价值量也会相应提升。根据NXP和Strategyanalysis的数据，L1/2级别的自动驾驶只需要1个摄像头模组、1-3个超声波雷达和激光雷达，以及0-1个融合传感器，新增半导体价值在100-350美元，而至L4/5级别自动驾驶车辆将会引入7-13个超声波雷达和激光雷达、6-8个摄像头模组并会引入V2X模块以及多传感器融合方案，新增半导体价值在1000美元以上。另外，短期来看，现实条件暴露了ADAS的缺陷，导致了一些安全事故的发生，由此对ADAS系统的安全性需求猛增，这些缺点重新致力于改进LIDAR、RADAR和其他成像设备，将多面传感器系统集成到自动驾驶汽车中。弧形柱子点阵加工技术通过激光直写与刻蚀实现仿生结构，优化细胞黏附与流体动力学特性。
柔性 MEMS 器件因可弯曲、生物兼容的特性，在植入式医疗、可穿戴设备中极具潜力，深圳市勃望初芯半导体科技有限公司通过定制化 MEMS 微纳米加工工艺，攻克柔性材料加工难题。公司以 PI 为柔性基底，开发 “光刻 - 干法刻蚀 - 金属化 - 封装” 的全流程加工方案：首先通过光刻定义电极与结构图案，采用氧等离子体干法刻蚀实现 PI 薄膜的高精度图形化（线宽误差 ±2μm）；然后通过磁控溅射沉积金或铂金属层（厚度 50-100nm），制作柔性电极，确保电极在弯曲时的导电性稳定；采用生物兼容封装材料（如 PDMS）保护结构，避免体液腐蚀。这种工艺制作的柔性 MEMS 电极，可用于植入式生物电刺激 —— 在动物实验中，将电极植入大鼠脑内，可连续 14 天稳定记录脑电信号，且对脑组织的损伤率低于 5%；同时，依托 PI 材料的太赫兹波透过性，加工的柔性太赫兹调制器，可贴合皮肤表面，用于皮肤的太赫兹成像检测，通过微纳米结构调控太赫兹波相位，提升成像对比度。某可穿戴设备公司借助该工艺，开发出柔性心率监测贴片，电极通过 MEMS 加工实现微型化（面积 2mm×2mm），佩戴舒适度大幅提升，体现了柔性 MEMS 加工的创新价值。硅片、LN 等基板金属电极加工工艺，通过溅射沉积与剥离技术实现微米级电极图案化。高科技MEMS微纳米加工的传感器
有哪些较为前沿的MEMS传感器的供应厂家？江西特殊MEMS微纳米加工
主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成，但现在其主要都是传感器比较多。
特点：
1.和半导体电路相同，使用刻蚀，光刻等微纳米MEMS制造工艺，不需要组装，调整；
2.进一步的将机械可动部，电子线路，传感器等集成到一片硅板上；
3.它很少占用地方，可以在一般的机器人到不了的狭窄场所或条件恶劣的地方使用4.由于工作部件的质量小，高速动作可能；
5.由于它的尺寸很小，热膨胀等的影响小；
6.它产生的力和积蓄的能量很小，本质上比较安全。 江西特殊MEMS微纳米加工
