深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法。背景技术:硅基光电二极管由于其材料成本造工艺简单,响应度峰值波长为940nm,在3dsensor、红外测距、光通讯等领域有着广泛的应用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波长相关,波长越长,入射越深,因此为了提高响应度,传统光电二极管均选用高阻材料(电阻率2000~5000ohmcm)来提升耗尽区宽度,从而达到提高响应度的目的。随着光电二极管在光通讯中的广泛应用,光电二极管的响应速度要求越来越高,常规硅基光电二极管响应时间为纳秒级,已无法满足数据传输率1gbps以上的应用场景,因此。硅光电二极管厂家就找深圳世华高。上海硅光电二极管供应
二、2DU型硅光电二极管:2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的,从外形上分有2DUA,2DUB等类型,其中2DUA型管子体积较小些(见图1(b))。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装,入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条,分别称作前极、后极、环极(见图1(b))。前极即光敏区(N型区)的引线;后极为衬底(P型区)的引线;环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。这样的管子性能稳定,同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢?这要从硅光电二极管的制造工艺谈起。在制造硅光电二极管的管心时,将硅单晶片经过研磨抛光后在高温下先生长一层二氧化硅氧化层,然后利用光刻工艺在氧化层上刻出光敏面的窗口图形,利用扩散工艺在图形中扩散进去相应的杂质以形成P-N结。然后再利用蒸发、压焊、烧结等工艺引出电极引线。由于2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制造的,在高温生长氧化层的过程中,容易在氧化层下面的硅单晶表面形成一层薄薄的N型层。长沙进口硅光电二极管参数硅光电二极管参数哪家棒!世华高。
将上述sr掺杂batio3/znte工作电极放入光电化学反应器内,与铂片对电极组装成两电极体系,将该电极在+,所用溶液为碳酸丙烯酯,用去离子水清洗后,将光电极在真空条件下50℃干燥10h。之后,采用上海辰华chi660e电化学工作站,将极化后的sr掺杂batio3/znte工作电极和饱与铂片对电极、饱和甘汞电极组装成典型的三电极体系,电解质溶液为。光电流测试前,往电解质溶液中鼓co2半个小时,使溶液中的氧气排尽,co2浓度达到饱和。图4为本实施例制备的sr掺杂batio3/znte工作电极和水热法制备的znte薄膜电极在。由图可知,单独的znte光电催化难以产生co产物,说明znte光阴极的大部分载流子不能与co2发生相互作用,导致界面载流子严重复合,co产生量很低。但是,sr掺杂batio3/znte工作电极的co产量明显增加,说明sr掺杂batio3增加了znte表面的载流子浓度,间接证实了sr掺杂batio3的载流子分离作用。
硅光二极管还可以用于构建光传感器。例如,在环境监测中,可以利用硅光二极管检测空气中的污染物浓度;在医疗诊断中,可以利用硅光二极管检测生物组织的光学特性。硅光二极管的光电转换特性使其成为构建光传感器的理想选择。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富,公司的销售业绩稳步提升。硅光电二极管型号哪家棒!世华高。
其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。该结构中,衬底材料107不用进行背面处理,直接与金属形成良好的欧姆接触;外延层厚度取决于耗尽区宽度。进一步的,所述外延层101的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层101厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长;所述的高反层109由折射率~~;高反层109上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极106的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。具体的,高反层109可以为多孔结构,可采用矩阵排列(比如采用正方形阵列排列)。硅光电二极管电路图就找世华高!长沙进口硅光电二极管参数
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以p型离子注入形成有源区;所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层,所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层;所述的正面金属电极是在溅射后经刻蚀成形。所述外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长。一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法,包括以下操作:1)在衬底上溅射生成高反层;2)高反层开设刻蚀孔;3)高反层上通过淀积的方法生长外延层;4)在外延层上通过离子注入分别形成保护环和有源区;5)在保护环和有源区上生成sio2层,然后在sio2层上方生成si3n4层;6)在sio2层、si3n4层上刻出接触孔,然后溅射金属,溅射完成后刻蚀形成正面金属电极;7)在衬底的背面做金属化处理形成背面电极。所述的衬底采用电阻率20~100为ohm·cm的低电阻率硅材料;衬底直接与背面金属形成良好的欧姆接触;所述的高反层是由折射率~~,通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成;所述的外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层的厚度与耗尽区宽度相当;所述的保护环为as离子源注入,注入剂量为1e15~2e15。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳。上海硅光电二极管供应
硅光二极管的响应时间也是其性能的重要指标之一。在高速光通信系统中,需要选择具有快速响应时间的硅光二极管,以确保信号的准确传输和处理。随着技术的不断进步,硅光二极管的响应时间已经越来越短,为高速光通信技术的发展提供了有力保障。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售...