微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化学方法对其表面改性，然后可以使用光刻和蚀刻技术将微通道等微结构加工在上面。玻璃材料的加工步骤与硅材料加工稍有差异，主要步骤有:1)在玻璃基片表面镀一层 Cr，再用甩胶机均匀的覆盖一层光刻胶；2)利用光刻掩模遮挡，用紫外光照射，光刻胶发生化学反应；3)用显影法去掉已曝光的光胶，用化学腐蚀的方法在铬层上腐蚀出与掩模上平面二维图形一致的图案；4)用适当的刻蚀剂在基片上刻蚀通道；5)刻蚀结束后，除去光刻胶，打孔后和玻璃盖片键合。标准光刻和湿法刻蚀需要昂贵的仪器和超净的工作环境，无法实现快速批量生产。微流控芯片的发展历史。中国澳门微流控芯片之SAW器件
硬质塑料微流控芯片的耐候性设计与工业应用：在工业检测与环境监测领域，硬质塑料微流控芯片因耐高低温、抗化学腐蚀的特性成为优先。公司针对PMMA、PS等材料开发了紫外稳定化处理工艺，使芯片在-20℃至60℃温度范围内保持结构稳定，适用于户外水质监测与工业过程控制。表面亲疏水改性技术可根据检测需求调整，例如在油液杂质检测芯片中，疏水表面有效排斥油相，确保固体颗粒在流道内的高效捕获；在酸碱浓度检测芯片中，亲水性涂层促进电解液均匀分布，提升传感器响应速度。配合热压成型工艺的高精度复制能力，单芯片流道尺寸误差<1%，满足工业自动化设备对重复性的严苛要求。典型应用包括润滑油颗粒计数芯片、化工反应过程监测芯片，其低成本与高可靠性优势推动了微流控技术在非生物领域的规模化应用。海南微流控芯片检测利用微流控芯片对cancer标志物检测。
安捷伦在微流控技术平台上的三个主要产品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大学Stephen Quake研究小组开发的微流体控制因素大规模地综合应用和瑞士Spinx Technologies开发的激光控制阀门。澳大利亚墨尔本蒙纳士大学的研究者正在开发可在微通道内吸取、混合和浓缩分析样品的等离子体偏振方法。等离子体不接触工作流体便可产生“推力”，具有维持流体稳定流动，对电解质溶液不敏感也不受其污染的优点。瑞士苏黎士联邦工业大学的David Juncker认为，流体的驱动没有必要采用这类高新技术，利用简单的毛细管效应就可以驱动流体通过微通道。
ThinXXS公司Thomas Stange博士认为，虽然原型设计价格高且有风险，微制造技术已不再是微流控产品商业化生产的主要障碍。对于他们公司所操纵的高价药品测试和诊断市场，校准和工艺惯性才是主要的障碍。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片产品QPlate，同时宣称该产品结合了MEMS硅微处理、微铸技术以及印制电路板技术。QPlate是与丹麦Sophion Bioscience公司合作开发的，是QPatch-16 system的组成部分，QPatch-16 system可平行的测量16个细胞离子通道。微流控技术能够把样本检测整个过程集中在几厘米的芯片上。
公司独特的MEMS多重转印工艺：将硅母模上的微结构通过紫外固化胶转印至硬质塑料，可在10个工作日内完成从设计到成品的全流程开发。以器官芯片为例，通过该工艺制造的PMMA多层芯片，集成血管内皮屏障与组织隔室，可模拟肺、肝等的生理功能，用于药物毒性评估时，数据一致性较传统细胞实验提升80%。此外，PDMS芯片凭借优异的气体渗透性（O₂扩散系数达3×10⁻⁵cm²/s），广泛应用于气体传感领域，其标准化产线可实现月产10,000片的高效交付。
微流控芯片技术用于毛细管电泳分离。上海微流控芯片之声表面波器件加工
干湿结合刻蚀技术制备纳米级微针，可用于组织液提取与电化学检测器件。中国澳门微流控芯片之SAW器件
在过去的30年中，微流控芯片已经成为cancer therapy领域诊断和cure的重要工具。可以在微流控芯片上进行各种类型的细胞和组织培养，包括2D细胞培养、3D细胞培养和组织类apparatus培养。患者来源的cancer和组织以可见、可控和高通量的方式在微流控芯片上培养，这推进了个性化医疗的过程。此外，由于可定制的性质，微流控芯片的功能正在扩展。此外，已经发现它是较为方便快捷的，因为它能够处理少量样品，例如来自患者活组织检查的细胞，提供高水平的自动化，并允许建立用于cancer研究的复杂模型。在开发用于cure诊断用途的微流控芯片方面做出了各种努力。中国澳门微流控芯片之SAW器件
